光学式ウェーハ外観検査装置の製品一覧

光(レーザを含む)によりパターン付ウェーハの異物、クラック、パターン欠陥などを検査、検出する装置。

SVシリーズ

株式会社アルバック

バッチ式スパッタリング装置

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SRHシリーズ

株式会社アルバック

裏面・実装用スパッタリング装置

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MLX-3000N

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半導体向け成膜…

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