ドライエッチング装置市場、2022年見通しと展望

高成長続くも、2022年後半から翳り

 2020年以降、20222年前半までは半導体企業の活発な設備投資に対応して、ドライエッチング装置市場も後述のように拡大を続けた。特に3D NAND型フラッシュメモリの多層化が進んでいることにより、層間接続用ホール形成用途を中心としたメモリ向け絶縁膜用装置が大きく成長した。ファンドリなどのロジック分野でも配線の多層化に伴う絶縁膜用装置の拡大、ゲート部分などの微細構造の精密加工に対応するためのコンダクタエッチング装置の需要増に伴い売上を伸ばした。また、高アスペクト比のホール構造を高精度に形成するためのSi深堀用エッチン装置の需要も拡大が続いている。
 ドライエッチング装置市場は、2020年には前年比22.6%増の1兆3,943億円に拡大、2021年にはメモリ、ロジック、さらにアナログ/パワーの分野でも売り上げを伸ばし、同45.5%増と大幅に成長、2兆円(2兆283億円)にまで拡大した。

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