カテゴリー

GTCR5280

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2023年12月25日

300 mm対応5軸水平多関節型クリーンロボット

ロボットのみで2FOUP対応可能となっています。ツインチャック採用によりシングルアームでありながらツインアームの機能を確保、ウェーハ交換時間も短縮しています。シングルチャック仕様も選択可能
装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用、原点復帰が不要です。また、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送できます。
ウェーハ保持は真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャックに対応。チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能となっています。
被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

基本情報

ロボット型式 GTCR5280-300-AM
被搬送物 300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式 水平多関節型
制御軸 5軸
モータタイプ 全軸ACサーボモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離:953 mm
旋回角度(θ軸):335度
上下ストローク(Z軸):300 mm
搬送速度(平均)アーム(R軸):833 mm/sec
旋回角度(θ軸):250度/sec
上下ストローク(Z軸):300 mm/sec
繰り返し精度 ±0.2 mm以内
クリーン度 ISOクラス2以下(ISO14644)(駆動部排気時)
ユーティリティ 電源:単相AC200V±10% 2 kVA 真空:-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量 ロボット本体 約50 kg

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取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種:繊維  所在地:広島県 福山市草戸町 2-8-20

 ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
 拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
 本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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