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STCR4160S

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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サセプタ・トレイ搬送仕様4軸円筒座標型クリーンロボット

LED等の処理装置で使用されるサセプタ・トレイの搬送ができます。
システムのSSY-10020と組合せることによって、カセットからウェーハを供給されたサセプタ・トレイを装置に自動で搬送します。
処理装置やストッカーなどの仮置ステージからトレイを取出、収納します。ウェーハ搬送システムとトレイ搬送ロボットを1つのシステムとして提案可能
処理後、処理前のトレイをツインアームのロボットで同時入れ替えが可能。
アームの到達距離315mm (第3関節中心距離)、昇降距離200 mm / 300 mm / 400 mm / 450 mm / 500 mm / 550 mm / 600 mm。

基本情報

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価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
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取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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