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TT300A-WA

EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボット。高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデル。

・高信頼性設計による3年保証対象製品です。
・SEMI F47に対応しています。
・従来機より、部品・モジュールの共通化率を高め、低価格を実現しました。
・新制御システムの採用により、高速で滑らかな動作を実現しました。
・従来機より、ロボットフットプリント15%、コントローラ容積50%のサイズダウンを実現しました。
・高信頼設計による3年保証対象製品です。マッピングセンサーも用意しております。

基本情報

適用ワーク Φ100㎜~Φ300㎜
SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲 R軸:346㎜(アーム最大到達距離)
T軸:370deg(原点:±185deg)
Z軸:330㎜
繰返し精度 R軸:±0.1㎜ (3σ)
T軸:0.02deg (3σ)
Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認 デジタル表示付き真空センサ
制御方法 RS232C,ETHERNET
ユーティリティ 電源:単相AC200V~230V 7.5A 1系統
真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統
重量 本体:約35kg
コントローラ(TT300A):約10kg

価格帯 10万円以上 50万円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

タツモ 株式会社

業種:繊維  所在地:岡山県 岡山市北区芳賀 5311

タツモは半導体製造装置、液晶製造装置、クリーン搬送システム、精密金型などの事業を行っている。半導体製造装置では、塗布現像装置、貼合装置・剥離装置など。有機EL製造装置の販売も行っている。

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