カテゴリー

NQW-1

タツモ株式会社
最終更新日: 2020年07月20日

φ300mmウェーハに対応したダブルアーム搬送ロボット。高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデル。

・ダブルアームによりウェーハ交換時間を大幅な短縮を実現しています。
・軸にサーボモーターを使用し、S字加減速制御により、高速かつ高精度で滑らかな搬送を実現しています。
・マッピングセンサーも用意しております。

基本情報

適用ワーク Φ100㎜~Φ300㎜
SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲 R1,2軸:348㎜(アーム最大到達距離)
T軸:340deg(原点:±170deg)
Z軸:300㎜
繰返し精度 R1,2軸::±0.1㎜ (3σ)
T軸:±0.05㎜ (3σ)
Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認 デジタル表示付き真空センサー
制御方法 RS232C,RS-485
ユーティリティ 電源:単相AC208V 5A 1系統
  :単相AC100V 7.5A 1系統
真空:-80kPa以下 1系統
(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量 本体:約42kg
コントローラ(MCQ):約18kg

価格帯 10万円以上 50万円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

タツモ株式会社

業種:繊維  所在地:岡山県 岡山市北区芳賀 5311

タツモは半導体製造装置、液晶製造装置、クリーン搬送システム、精密金型などの事業を行っている。半導体製造装置では、塗布現像装置、貼合装置・剥離装置など。有機EL製造装置の販売も行っている。

NQW-1 へのお問い合わせ

お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。


ご依頼目的 必須

ご要望 必須

お問い合わせ ご意見等


※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス)が通知されます。

NQW-1