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NSR-S322F

重ね合わせ精度と生産性をさらに向上させたArFスキャナー

NSR-322Fは、液浸装置で実績のあるStreamling Platformを搭載するとともに、重ね合わせ精度と生産性のさらなる向上を実現。お客様の生産ラインにおいて、高精度化と安定量産のニーズにこたえます。

基本情報

解像度 ≦ 65 nm
NA   0.92
露光光源   ArF excimer laser (193 nm wavelength)
縮小倍率   1:4
最大露光範囲 26 mm × 33 mm
重ね合わせ精度 SMO: ≦ 2 nm, MMO: ≦ 5 nm
スループット ≧ 230 wafers/hour (96 shots)

価格帯 1億円以上
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取扱企業

ニコン株式会社

業種:機械要素・部品  所在地:東京都 港区港南品川 インターシティC棟

露光装置で半導体,FPD産業を支える

液晶パネル・有機ELパネルを製造するFPD露光装置や、半導体を製造する半導体露光装置の開発・製造を通じて、超スマート社会の実現を支えています。

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