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NSR-SF155

ニコン株式会社
最終更新日: 2021年02月10日

「スカイフック構造」とウェーハステージ高速化により、さらなる高スループット化を実現したi線スキャンフィールドステッパー

NSR-SF155は、次世代DRAMやMPUのノンクリティカルレイア露光に威力を発揮する、i線スキャンフィールドステッパーです。投影レンズを吊り下げ、振動を軽減する「スカイフック構造」をSF150に続いて採用。さらにウェーハステージの高速化とチャンバ―内の熱対策を実施したことで、300mmウェーハで毎時200枚以上という高スループットを実現しました。

基本情報

解像度 ≦ 280 nm
NA 0.62
露光光源 i-line (365 nm wavelength)
縮小倍率 1:4
最大露光範囲 26 mm × 33 mm
重ね合わせ精度 ≦ 25 nm
スループット ≧ 200 wafers/hour (76 shots)

価格帯 1億円以上
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取扱企業

ニコン株式会社

業種:機械要素・部品  所在地:東京都 港区港南品川 インターシティC棟

露光装置で半導体,FPD産業を支える

液晶パネル・有機ELパネルを製造するFPD露光装置や、半導体を製造する半導体露光装置の開発・製造を通じて、超スマート社会の実現を支えています。

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