カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
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- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
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- 真空バルブ
- オーリング
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- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
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- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
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- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
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- チラー
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- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
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- クリーニングガス
- イオンドーピングガス
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
FPA-6300ESW
大画角 高生産性KrFスキャナー
1.大画角レンズを搭載
投影倍率の変更（1:4 → 1:3.125）により、レチクルサイズは6インチのままで大画角化を実現しました。
33mm x 42.2mmを一括露光出来る事から、フルサイズCMOSイメージセンサーもスティッチングを行わずに露光出来る世界で唯一のKrFスキャナーです。
2.デバイスの一工程を露光するにあたり、スクライブライン領域を挟まずに二つ以上の露光領域を接続して露光する手法の事。接続部での位置ズレ精度が歩留まりに直接影響を及ぼす。
3.実績のあるFPA-6300ES6aプラットフォームを流用
既に半導体製造前工程KrFスキャナーに採用されており市場で好評を得ているFPA-6300ES6aを全面的に流用しており、FPA-6300ES6aと同等な稼働率と信頼性を実現します。 また、拡張性のあるプラットフォームである事から、生産性およびオーバーレイ精度に対する現地レトロ可能なアップグレードプランをご提供出来ます。
基本情報
解像力 ≦130nm
NA（開口数） 0.45～0.70（自動可変）
縮小比 1:3.125
画面サイズ 33mm × 42.2mm
焼付け波長 KrF 248nm
レチクルサイズ 6inch
ウエハーサイズ 300mm（12inch）
重ね合せ精度 ≦9nm
装置サイズ（本体）（W）2,300×（D）5,155×（H）2,900mm
主要オプション
AFIS照明系
SMIF OHT対応
PCリモートコンソール
GEM対応オンラインソフト
ペリクル検査装置
| 価格帯 | 1億円以上 |
|---|
取扱企業
キヤノン株式会社
業種：繊維 所在地：東京都 大田区下丸子 3-30-2
製造装置で半導体、FPD、有機EL産業をリード
IoT時代の到来により多様化が進む半導体チップ。キヤノンは自動車や通信機器向けなど、市場の拡大によってますます高まる半導体チップの需要に、高い生産性で貢献している。また、有機ELディスプレイの量産では、キヤノントッキの真空蒸着技術が世界をリードしている。
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FPA-6300ESW
