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AGHeatpulse 8800(Refurbish品)

キヤノン株式会社
最終更新日: 2020年05月28日

実績のある高信頼性の本格量産対応ランプアニーリング装置。

・RTP市場のパイオニア、AGアソーシエイツ開発の急速昇温・降温システム。国内外の多大な納入実績をもとに、Refurbish装置として、廉価にて提供。
・コールドウォール設計による低コンタミネーション石英チャンバ採用。N2カーテンによりチャンバ内の酸素濃度を 抑制。
・上下にクロス配置されたハロゲンランプとゾーンコントロール方式の採用により、優れた温度均一性を実現。
・光学式パイロメータおよび熱電対による接触型温度センサ(ez-DTC)による2タイプの温度測定システム
・広範なアプリケーション対応:インプラ注入後の活性化・拡散、シャロージャンクション形成、Ti/Coシリサイド(サリサイド)、酸化膜・窒化膜形成
・ウエハー裏面の放射率に影響されない測温を実現するセラミックシールドや、透過性基板のアニールに対応するサセプタなどのオプションを用意。

基本情報

ウエハーサイズ(inch) 4″~8″
適応プロセス温度 400~1,200℃
昇温レート 10~200℃/sec
温度設定可能時間 0~600 sec/block
温度制御 パイロメータあるいは熱電対によるクローズドループ
プロセスガスライン 最大6ライン
装置サイズ W 1,020×D 1,070×H 2,080 mm

価格帯 5000万円以上 1億円未満
納期 1ヶ月以内
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取扱企業

キヤノン株式会社

業種:繊維  所在地:東京都 大田区下丸子 3-30-2

製造装置で半導体、FPD、有機EL産業をリード

IoT時代の到来により多様化が進む半導体チップ。キヤノンは自動車や通信機器向けなど、市場の拡大によってますます高まる半導体チップの需要に、高い生産性で貢献している。また、有機ELディスプレイの量産では、キヤノントッキの真空蒸着技術が世界をリードしている。

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