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TWINSCAN EXE-5000

次世代EUVリソグラフフィシステム

NAを0.55に高めた次世代EUVリソグラフィシステム
2022年から受注を開始している

基本情報

研究開発向けの出荷は2023年の予定。ユーザでの量産応用は2025年までに開始予定

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取扱企業

ASML Holding Ltd,.

業種:産業用機械 De Run 6501 5504 DR, Veldhoven The Netherlands 

EUVリソグラフィシステムの唯一の供給メーカ

EUVリソグラフィシステムを10nm以下の最先端プロセスラインに提供。ArF液浸でも大きな実績を持つ。AMAT 、Lam Research、東京エレクトロンと製造装置企業の売上高トップを争っている。

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