カテゴリー

TT301A-WA

タツモ株式会社
最終更新日: 2023年12月22日

サーボモータ仕様大気用クリーンロボット。EFEMに開発した低価格・高性能な搬送ロボット。高速反動、高クリーン度を実現する同社搬送ロボットのフラッグシップ

従来機より、部品・モジュールの共通化を高め、低価格を実現
新制御システムの採用により、高速でなめらかな動作を実現
従来機より、ロボットフットプリントを15%、コントローラ容積50%のダウンサイズを実現
マッピングセンサを用意

基本情報

適用ワーク  Φ100~300mm
動作範囲 R軸 346mm(アーム最大到達距離)
T軸:370°(±185°)
Z軸:330mm
繰返し精度 R軸:±0.1mm(3σ)
T軸:0.02°(3σ)
Z軸:±0.05mm(3σ)
ウェーハ把持方法 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
重量 本体:約35kg コントローラ:約10kg

お問い合わせ

取扱企業

タツモ株式会社

業種:繊維  所在地:岡山県 岡山市北区芳賀 5311

タツモは半導体製造装置、液晶製造装置、クリーン搬送システム、精密金型などの事業を行っている。半導体製造装置では、塗布現像装置、貼合装置・剥離装置など。有機EL製造装置の販売も行っている。

TT301A-WA へのお問い合わせ

お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。


ご依頼目的 必須

ご要望 必須

お問い合わせ ご意見等


※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス)が通知されます。

TT301A-WA