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タツモ株式会社
最終更新日: 2023年12月22日

サーボモータ仕様フリーアクセスロボット。300mmウェーハ対応。高速搬送、高クリーン度を実現したフラッグシップモデル

・3FOUPにレールレスで対応
・チェンジャー機構により、高速ウェーハ入れ替え動作を実現
・R・T軸とZ軸が分離構造であるため、メンテナンスが容易で、昇降ロングストロークにも対応可能。
・アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハ搬送にも対応したモデルをラインナップ

基本情報

適用ワーク  Φ100~300mm
動作範囲 R軸 590mm(アーム最大到達距離)
T軸:350°(±175°)
W軸:360°(±180°)
Z軸:300mm
P軸:180°
繰返し精度 XY方向:±0.1mm(3σ)
P軸:0.02°(3σ)
Z軸:±0.05mm(3σ)
ウェーハ把持方法 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
重量 本体:約50kg コントローラ:約18kg

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取扱企業

タツモ株式会社

業種:繊維  所在地:岡山県 岡山市北区芳賀 5311

タツモは半導体製造装置、液晶製造装置、クリーン搬送システム、精密金型などの事業を行っている。半導体製造装置では、塗布現像装置、貼合装置・剥離装置など。有機EL製造装置の販売も行っている。

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