露光の製品一覧

PARAGON ULTRA 300

Orbotech

FC-BGA/FC-CSPやBGA/CSP基板向けDI装置

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レチクル

東洋精密工業株式会社

ステッパー露光装置用レチクルです。(9インチまで可!)

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GT66A

ギガフォトン株式会社

さらなるテクノロジーの要求に応えるArF液浸露光光源

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G60K

ギガフォトン株式会社

従来の150%の高出力を実現し、将来のさらなる出力要求に対応するKrF露光用光源

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SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

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ウェハ直描加工

東洋精密工業株式会社

フォトマスクを使用せずにウェハ上にダイレクト露光いたします。

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DW-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置

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DW-6000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

優れた生産性と高解像度露光を両立した大型パネル用直接描画露光装置

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