半導体用語集
エピタキシャル成長装置
英語表記：epitaxial growth system
ウエーハの結晶性を受け継いで単結晶層を成長させる装置。成長雰囲気により、分子線エピタキシャル成長装置、気相エピタキシャル成長装置、液相エピタキシャル成長装置に大別される。材料面から見た場合、ウエーハと成長層の材料が同じ場合（ホモエピタキシ）とウェーハと成長層の材料が異なる場合（ヘテロエピタキシ）に分類することができる。
関連製品
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
