半導体用語集

外部燃焼装置

英語表記:external torch unit

熱酸化装置を使って水蒸気酸化を行う場合に水素ガスと酸素ガスを反応炉外で燃焼させる水蒸気発生装置。水蒸気の量は水素ガス、酸素ガスをマスフローコントローラで調整し精密に制御する。燃焼部をパイロジェニック(pyrogenic)装置とも呼ぶ。酸素と水素を反応させる方式として着火源を設けて燃焼を促すものと触媒を用いるものとがある。


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