【世界半導体製造装置部品市場年鑑2024】

静電チャックやサーボモータなど、半導体製造装置に使用される主要な部品品目を、日本・米国・韓国・台湾・欧州・中国・その他アジア地域に分類し、それぞれの市場を分析!

通常価格 :99,880 円

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商品紹介

掲載品目:ポンプ(ドライ真空ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプ)、真空制御関連部品(Oリング、ベローズ)、ガス制御関連部品(マスフローコントローラ、高純度ガスバルブ、真空バルブ、ガス配管)、薬液制御関連部品(薬液バルブ、薬液配管、薬液供給ポンプ)、ロボット(大気ロボット、真空ロボット)、モータ(サーボモータ)、ステージ(精密位置合わせステージ、直動機構)電源(RF電源、整合器、DC電源、マイクロ波電源)静電チャック、ヒータ(ホットプレートヒータ、炉用ヒータ、ランプヒータ)チラー、リソグラフィ用光源(EUV用、ArF用、KrF用、g線用、i線用)、リテーナリング、プローブカード、キャピラリー、センサ・計測器(温度センサ、圧力センサ、真空計)

A4変形版 / 453ページ 書籍版 99,880円 (税込み) データ版129,800円 (税込み) 書籍+データ版 135,300円(税込み) 詳細・ご注文は https://global-net.co.jp/archives/9083

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