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特集

• SiCデバイス製造プロセスとSiC製造装置の動向
• 実用化間近！BSPDN (Back Side Power Delivery Network)とは
• 半導体工場の自動化に関する現状とこれから
• 「Beyond 2nmのトランジスタはどうなる？・・・遷移金属ダイカコゲナイドFETとは？」
• 半導体材料ガスの企業動向

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