半導体用語集について

半導体分野（デバイス・プロセス・技術・装置・材料）の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着半導体用語

選択性

英語表記：selectivity

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再現性

英語表記：repeatability

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エッチストップ

英語表記：etch stop

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終点検出

英語表記：endpoint detector

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下地ダメージ

英語表記：underlying damage layer

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レジスト・下地選択性

英語表記：selec tiV1 ty over resist and underlying materials

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高アスペクト比形状

英語表記：high aspect ratio profile

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シリコン酸化膜

英語表記：silicon dioxide

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シリコントレンチ

英語表記：silicon trench

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エッチングプロセス

英語表記：etching process

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よく見られている半導体用語（2026/06/07 ～ 2026/06/13）

結晶粒界

英語表記：Grain Boundaries

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サブストレート

英語表記：substrate

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パッシベーション

英語表記：passivation

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TEOS

英語表記：tetra ethoxy silane

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誘電率

英語表記：dielectric constant

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SEAJ

英語表記：Semiconductor Equipment Association of Japan

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方向性

英語表記：directional

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ラジカル

英語表記：radical

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アニール

英語表記：anneal

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ディフェクト

英語表記：defect

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