プラズマCVD
英語表記:PECVD : Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
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層間絶縁膜形成方法と特性
英語表記:ILD deposition and ILD characteristics
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層間絶縁膜
英語表記:ILD : Inter-Level Dielectric, IMD : Inter-Metal Dielectric
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メタライゼーション技術
英語表記:metallization technology
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STCセル構造
英語表記:STC cell structure
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FeRAM構造
英語表記:FeRAM structure
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低電圧化
英語表記:low voltage operation
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プロセス温度
英語表記:process temperature
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還元性
英語表記:deoxidization
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ドライエッチング性
英語表記:dry etching
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