半導体用語集について

半導体分野（デバイス・プロセス・技術・装置・材料）の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着半導体用語

レジスト塗布処理装置

英語表記：resist coater

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集束イオンビーム露光

英語表記：focused ion-beam exposure

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ステンシルマスク

英語表記：stencil mask

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収差

英語表記：aberration

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投影レンズ

英語表記：proJection lens

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等倍露光

英語表記：proxnnity ion beam lithogra・ phy

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イオンビームリソグラフィ

英語表記：ion beam lithography

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大面積化

英語表記：enlargement Of the exposure field

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縮小露光系

英語表記：image reduction system

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多層膜

英語表記：multilayer

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よく見られている半導体用語（2026/05/10 ～ 2026/05/16）

サブストレート

英語表記：substrate

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SC1

英語表記：Standard Clean 1

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パッシベーション

英語表記：passivation

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TEOS

英語表記：tetra ethoxy silane

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TEG

英語表記：test elementary group

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ディフェクト

英語表記：defect

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アニール

英語表記：anneal

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サセプタ

英語表記：susceptor

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面間均一性

英語表記：wafer to wafer non-uniformity

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DHF洗浄

英語表記：dolute hydrogen fluoride cleaning

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