半導体用語集について

半導体分野（デバイス・プロセス・技術・装置・材料）の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着半導体用語

イオンアシスト反応

英語表記：lon¯assisted reactions

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自発反応

英語表記：spontaneous reaction

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物理的スパッタリング

英語表記：physical sputtering

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エッチング反応機構

英語表記：etching reaction mechanisms

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真空紫外光吸収分光

英語表記：vacuum ultra violet absorption spectroscopy

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真空紫外発光分析

英語表記：vacuum ultra Violet emissionspectroscopy

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イオンエネルギー分析

英語表記：ion energy analysis

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トムソン散乱法

英語表記：Thomson scattering

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FT-IR（フーリエ変換赤外分光法）

英語表記：Fourie Transform Infrared spectroscopy

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プラズマ振動法

英語表記：plasma oscillation method

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よく見られている半導体用語（2026/06/07 ～ 2026/06/13）

結晶粒界

英語表記：Grain Boundaries

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サブストレート

英語表記：substrate

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パッシベーション

英語表記：passivation

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TEOS

英語表記：tetra ethoxy silane

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誘電率

英語表記：dielectric constant

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SEAJ

英語表記：Semiconductor Equipment Association of Japan

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方向性

英語表記：directional

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ラジカル

英語表記：radical

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アニール

英語表記：anneal

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ディフェクト

英語表記：defect

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