半導体用語集について

半導体分野（デバイス・プロセス・技術・装置・材料）の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着半導体用語

ストレス誘起リーク電流

英語表記：Stress-induced Leakage Current : SILC

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Qʙᴅ　　

英語表記：charge-to-breakdown

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しきい値電圧変化

英語表記：threshold voltage shift

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サブスレッショルド係数

英語表記：subthreshold coefficient

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ホットキャリア効果

英語表記：hot-carrier effects

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輪帯照明

英語表記：annular illumination

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変形照明

英語表記：modified illumination

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超解像露光技術

英語表記：super-resolution method, resolution enhancement technology

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ストレス試験

英語表記：stress test

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プラズマ誘起ダメージ

英語表記：plasma induced damage

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よく見られている半導体用語（2026/07/26 ～ 2026/08/01）

サンプリング

英語表記：sampling

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方向性

英語表記：directional

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ディフェクト

英語表記：defect

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PFCガス

英語表記：PFC (perfluoro-compound）gas

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バルク

英語表記：bulk

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パッシベーション

英語表記：passivation

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TEOS

英語表記：tetra ethoxy silane

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サブストレート

英語表記：substrate

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RIE

英語表記：Reactive Ion Etching

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Overlay

英語表記：Overlay

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