半導体用語集について

半導体分野（デバイス・プロセス・技術・装置・材料）の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着半導体用語

指向性

英語表記：directivity

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線源径

英語表記：source Size

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放射光

英語表記：synchrotron radiation, synchrotron orbital radiation

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プラズマX線源

英語表記：plasma X-ray source

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電子衝撃型

英語表記：electron bombardment X-ray source

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X線源

英語表記：X—ray source

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プロセス余裕度

英語表記：process margm, process latitude

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重ね合わせ

英語表記：overlay

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近接ギャップ

英語表記：proximity gap

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ランアウト

英語表記：runout

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よく見られている半導体用語（2026/04/26 ～ 2026/05/02）

サセプタ

英語表記：susceptor

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パッシベーション

英語表記：passivation

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サブストレート

英語表記：substrate

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TEOS

英語表記：tetra ethoxy silane

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SC1

英語表記：Standard Clean 1

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ダマシン

英語表記：damascene

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アニール

英語表記：anneal

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ダイ

英語表記：die

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ケイ素（シリコン）

英語表記：silicon

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拡散

英語表記：diffusion

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