半導体用語集について

半導体分野（デバイス・プロセス・技術・装置・材料）の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着半導体用語

オーバルディフェクト

英語表記：Oval Defect

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結晶成長基礎

英語表記：basic of crystal growth

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陽極酸化法

英語表記：anodic oxidation

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酸化

英語表記：Oxidation

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不動体化

英語表記：passivation

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RTO

英語表記：Rapid Thermal Oxidation

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RTN

英語表記：Rapid Thermal Nitridation

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表面プロセス

英語表記：surface process

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レーザリソグラフィ

英語表記：laser lithography

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レーザビーム加工

英語表記：laser beam machining

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よく見られている半導体用語（2025/03/16 ～ 2025/03/22）

パッシベーション

英語表記：passivation

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TEOS

英語表記：tetra ethoxy silane

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コンタクトホール

英語表記：contact hole

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面間均一性

英語表記：wafer to wafer non-uniformity

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オーミックコンタクト

英語表記：Ohmic contact

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チャンバ

英語表記：chamber vessel

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アンダーフィル

英語表記：underfill

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SC1

英語表記：Standard Clean 1

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DHF洗浄

英語表記：dolute hydrogen fluoride cleaning

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TEG

英語表記：test elementary group

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