半導体用語集

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半導体用語集について

半導体分野（デバイス・プロセス・技術・装置・材料）の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着用語

温度プロファイル

英語表記：temperature profile

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温度リカバリタイム

英語表記：temperature recovery time

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均熱長

英語表記：flat zone length

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断面均熱

英語表記：radial temperature uniformity

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スカベンジャ

英語表記：scavenger

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ユーティリティ ボックス

英語表記：utility box

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ソースキャビネット

英語表記：source cabinet

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均熱管

英語表記：liner tube

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プロセスチューブ

英語表記：process tube

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内部燃焼装置

英語表記：internal torch unit

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外部燃焼装置

英語表記：external torch unit

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マルチステップ処理

英語表記：multi-step processing

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酸窒化酸化　N₂O酸窒化

英語表記：oxynitridation in N₂O(NO)

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高速昇降温炉

英語表記：fast thermal process system

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プラズマ陽極酸化装置

英語表記：plasma oxidations system

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高圧熱酸化装置

英語表記：high pressure hermal oxidation furnace

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常圧熱酸化装置

英語表記：atmospheric thermal oxidation furnace

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熱酸化装置

英語表記：thermal oxidation furnace

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酸化

英語表記：oxidation

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チョッパ機構

英語表記：chopper mechanism

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