半導体用語集

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半導体用語集について

半導体分野(デバイス・プロセス・技術・装置・材料)の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着用語

温度プロファイル

英語表記:temperature profile

温度リカバリタイム

英語表記:temperature recovery time

均熱長

英語表記:flat zone length

断面均熱

英語表記:radial temperature uniformity

スカベンジャ

英語表記:scavenger

ユーティリティ ボックス

英語表記:utility box

ソースキャビネット

英語表記:source cabinet

均熱管

英語表記:liner tube

プロセスチューブ

英語表記:process tube

内部燃焼装置

英語表記:internal torch unit

外部燃焼装置

英語表記:external torch unit

マルチステップ処理

英語表記:multi-step processing

酸窒化酸化 N₂O酸窒化

英語表記:oxynitridation in N₂O(NO)

高速昇降温炉

英語表記:fast thermal process system

プラズマ陽極酸化装置

英語表記:plasma oxidations system

高圧熱酸化装置

英語表記:high pressure hermal oxidation furnace

常圧熱酸化装置

英語表記:atmospheric thermal oxidation furnace

熱酸化装置

英語表記:thermal oxidation furnace

酸化

英語表記:oxidation

チョッパ機構

英語表記:chopper mechanism