温度プロファイル
英語表記:temperature profile
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温度リカバリタイム
英語表記:temperature recovery time
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均熱長
英語表記:flat zone length
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断面均熱
英語表記:radial temperature uniformity
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ユーティリティ ボックス
英語表記:utility box
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ソースキャビネット
英語表記:source cabinet
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プロセスチューブ
英語表記:process tube
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内部燃焼装置
英語表記:internal torch unit
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外部燃焼装置
英語表記:external torch unit
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マルチステップ処理
英語表記:multi-step processing
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酸窒化酸化 N₂O酸窒化
英語表記:oxynitridation in N₂O(NO)
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高速昇降温炉
英語表記:fast thermal process system
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プラズマ陽極酸化装置
英語表記:plasma oxidations system
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高圧熱酸化装置
英語表記:high pressure hermal oxidation furnace
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常圧熱酸化装置
英語表記:atmospheric thermal oxidation furnace
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熱酸化装置
英語表記:thermal oxidation furnace
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チョッパ機構
英語表記:chopper mechanism
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