半導体用語集について

半導体分野（デバイス・プロセス・技術・装置・材料）の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着半導体用語

スタックセル

英語表記：stacked cell

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スタックドキャパシタ

英語表記：stacked capacitor

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基板プレート型トレンチセル

英語表記：substrate plate trench cell

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スタックトレンチセル

英語表記：stacked trench cell

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単純トレンチセル

英語表記：simple trench cell

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トレンチキャパシタ

英語表記：trench capacitor

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DRAMキャパシタ

英語表記：DRAM capacitor

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リフレッシュ特性

英語表記：refresh characteristics

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ストレージノード

英語表記：storage node

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セルプレート

英語表記：cell plate

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よく見られている半導体用語（2026/08/30 ～ 2026/09/05）

パッシベーション

英語表記：passivation

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エッチング装置

英語表記：etching equipment

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フッ酸

英語表記：hydrofluoric acid

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SC1

英語表記：Standard Clean 1

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コロイダルシリカ

英語表記：colloidal silica

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TMAH

英語表記：tetramethyl ammonium hydroxide

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RIE

英語表記：Reactive Ion Etching

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パーティクル

英語表記：particle

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TEG

英語表記：test elementary group

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サセプタ

英語表記：susceptor

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