半導体用語集について

半導体分野（デバイス・プロセス・技術・装置・材料）の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着半導体用語

加工変質層

英語表記：damaged layer

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シーム

英語表記：seam

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キャビテーション洗浄

英語表記：cavitation jet cleaning

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コロージョン

英語表記：corrosion

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研磨レート

英語表記：removal rate

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AFM

英語表記：atomic force microscope

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クロスコンタミネーション

英語表記：cross contamination

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CMP

英語表記：chemical Mechanical Polishing

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シード層

英語表記：seed layer

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シート抵抗測定

英語表記：sheet resistance measurement

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よく見られている半導体用語（2022/11/20 ～ 2022/11/26）

OSAT

英語表記：Outsourced Semiconductor Assembly & Test

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パッシベーション

英語表記：passivation

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ドナーとアクセプタ（1）

英語表記：

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プロセスウィンドウ

英語表記：process window

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面間均一性

英語表記：wafer to wafer non-uniformity

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コロイダルシリカ

英語表記：colloidal silica

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リフトオフ

英語表記：lift-off

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サセプタ

英語表記：susceptor

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バリアメタル

英語表記：barrier metal

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ロードポート

英語表記：load　port

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