半導体用語集について

半導体分野（デバイス・プロセス・技術・装置・材料）の用語を調べたいときに便利な半導体用語集です。

新着半導体用語

画像処理検出

英語表記：Field Image Alignment : FIA

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ステッパ

英語表記：stepper

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コヒーレンス度

英語表記：coherence factor

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空間周波数

英語表記：spatial frequency

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光学像

英語表記：aerial image

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露光波長

英語表記：exposure wavelength

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露光方式

英語表記：exposure method

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光リソグラフィ

英語表記：photolithography

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電子光学鏡筒洗浄

英語表記：column cleaning, electric optical column cleaning

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極微細描画

英語表記：ultra fine patterning

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よく見られている半導体用語（2026/04/05 ～ 2026/04/11）

TEOS

英語表記：tetra ethoxy silane

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TEG

英語表記：test elementary group

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パッシベーション

英語表記：passivation

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SC1

英語表記：Standard Clean 1

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コロイダルシリカ

英語表記：colloidal silica

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面間均一性

英語表記：wafer to wafer non-uniformity

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IPA乾燥

英語表記：isopropyl alcohol drying

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層間絶縁膜

英語表記：ILD : Inter - Level Dielectric、 IMD : Inter-Metal Dielectric

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サブストレート

英語表記：substrate

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パーティクル

英語表記：particle

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