カスケードドライバ
英語表記：cascaded driver
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カスコード型差動増幅器
英語表記：Cascoded differential amplifier
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カセットID
英語表記：cassette ID
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カセット ツー カセット
英語表記：cassette-to-cassette handling
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カセット マガジン
英語表記：cassette magazine
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カセットトランスファ
英語表記：cassette transfer
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カセットレス洗浄装置
英語表記：cassetteless wet cleaning equipment
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カセット洗浄装置
英語表記：cassette cleaning equipment
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カソード ターゲット電極
英語表記：cathode target electrode
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カチオン交換樹脂
英語表記：cation exchange
resin
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カチオン交換樹脂塔
英語表記：cation exchanger
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カットラインチェック カーフチェック
英語表記：kerf inspection
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カップリンス
英語表記：bowl rinse
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カップ温湿度調整
英語表記：cup temperatureーhumidity controller
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カップ温度湿度調整
英語表記：bowl temperature
and humidity control
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カテゴリ ビン
英語表記：category
bin
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カメラツールオフセット
英語表記：camera-tool offset
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カラーフィルタ試験
英語表記：coler filter test
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カラムアライメント
英語表記：column alignment
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カラムコントロール
英語表記：column control
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カンチレバー
英語表記：cantilever
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渦電流終点検出法
英語表記：end point detection by eddy current
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化学シフト
英語表記：chemical shift
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化学吸着
英語表記：chemisorption
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化学吸着フィルタ
英語表記：chemical air filter
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化学吸着フィルタ
英語表記：chemical filter
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化学研磨
英語表記：chemical polishing
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化学処理方式
英語表記：chemical treatment
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化学洗浄
英語表記：chemical cleaning
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化学増幅レジスト
英語表記：chemically amplified resist
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化学増幅型レジスト
英語表記：chemically amplified resist
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化学増幅型レジスト
英語表記：chemicaiiy amplified resist
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化学増幅型レジスト処理装置
英語表記：chemically amplified resist processmg equipment
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化学的機械研磨
英語表記：CMP : Chemical Mechanical Polishing
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化学的気相成長
英語表記：CVD : Chemical Vapor Deposition
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化学的気相成長法
英語表記：CVD:Chemical Vapor Deposition
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化学的洗浄
英語表記：chemical cleaning method
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化合物半導体
英語表記：Compound Semiconductor
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価電子帯
英語表記：Valence band
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加圧酸化
英語表記：high pressure oxidation
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加圧法
英語表記：high pressure methode
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加圧埋め込み
英語表記：force fill process
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加工層
英語表記：work damage layer
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加工変質層
英語表記：damaged layer
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加速管
英語表記：acceleration tube
詳細
加速電圧
英語表記：acceleration voltage
詳細
加速律
英語表記：acceleration factor
詳細
可変成形ビーム
英語表記：variable shaped beam
詳細
荷電中和法
英語表記：charge neutralization method
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過酸化水素処理装置
英語表記：hydro-peroxide
removal equipment
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過剰消去禁止機能 過剰書き込み禁止機能
英語表記：over-erase prohibit
function
over-programming
prohibit function
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過冷却度
英語表記：supercooling limit
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解像度 解像力 解像線幅
英語表記：resolution
詳細
解像度限界
英語表記：resolution limit
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解放循環式冷却水設備
英語表記：open circuit
condensing water
system
open circuit cooling
water system
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解離過程
英語表記：dissociative process
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解離断面積
英語表記：dissociation cross section
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回転数立上げ時間
英語表記：revolution speed set up time
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回転注入
英語表記：rotational implant
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回転塗布
英語表記：rotation paint
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回転版接触装置
英語表記：rotating biological
contactor
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界面活性剤添加洗浄薬品
英語表記：surfactant added cleaning chemical
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界面準位
英語表記：interface state
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界面反応
英語表記：interfacial reaction
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開環重合
英語表記：ring opening polymerization
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開管法
英語表記：open-tube method
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階間搬送
英語表記：interlevel
transportation
interfloor
transportation
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階層処理
英語表記：hierarchical OperatiOn
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拡散（熱拡散）
英語表記：Thermal Diffusion
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拡散係数
英語表記：diffusion coefficient
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拡散経路
英語表記：Diffusion path
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拡散定数
英語表記：diffusion constant
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拡散方法
英語表記：diffusion method
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拡散炉
英語表記：Diffusion Furnace
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核磁気共鳴法 NMR
英語表記：nuclear magnetic resonance method
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核阻止能
英語表記：unclear stopping
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角型カット
英語表記：square cutting
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角錐コレット
英語表記：inverted pyramidal collet
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角度研磨法
英語表記：angle lap method
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角度分解オージェ電子分光法
英語表記：angle-resolved Auger electron spectroscopy
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活性汚泥処理装置
英語表記：activated sludge
process equipment
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活性化エネルギー
英語表記：activation energy
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活性種 ラジカル
英語表記：activated species
radical
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活性炭ろ過器 活性炭塔
英語表記：carbon filter
activated carbon
filter
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活性炭吸着塔
英語表記：activated carbon
filter
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乾式排ガス処理装置
英語表記：dry type exhaust gas
abatement
equipment
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乾燥装置
英語表記：drying equipment
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乾燥方法
英語表記：drying process
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環化ゴム
英語表記：cyclic rubber
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環境制御型走査電子顕微鏡
英語表記：environmental scanning electron microscope
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環境耐性
英語表記：environmental stability
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緩衝フッ酸溶液
英語表記：buffered hydrofluoric acid
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緩和誘起ゲッタリング
英語表記：relaxation-induced
gettering
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貫通転位
英語表記：threading dislocation
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還元剤注入装置
英語表記：dechlorination
equipment
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還元性
英語表記：deoxidization
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金型クリーニング
英語表記：mold cleaning
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金型温度
英語表記：mold temperature
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型締力
英語表記：mold clamping force
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型内圧力
英語表記：internal die pressure
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重ね合せ精度 レジストレーション精度
英語表記：overlay accuracy
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重ね合わせ精度
英語表記：overlay accuracy
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書き込みエラー 消去エラー
英語表記：write error
erase error
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書き込みフェイル 消去フェイル
英語表記：write fail
erase fail
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書き込み許容エラー 回数 消去許容エラー
英語表記：write error
allowance
erase error
allowance
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壁との相互作用
英語表記：plasma¯wall interactions
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片面ポリシング機
英語表記：single side polishing machine
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片面ラップ盤
英語表記：single side lapping machine
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片面研磨装置
英語表記：single side polisher
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