半導体用語集
カセット洗浄装置
英語表記：cassette cleaning equipment
ウェーハ搬送用カセットに付着した汚染粒子を洗浄除去する装置。
関連製品
「カセット洗浄装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「カセット洗浄装置」に関連する用語が存在しません。
「カセット洗浄装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
