パーシャルエッチング
英語表記：partial etching
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パーシャルサイト
英語表記：partial site
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パージモード付シリンダバルブ
英語表記：cylinder valve with
purge mode
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パーティクルカウンタ ダストカウンタ 光散乱パーティクルカウンタ
英語表記：particle counter
dust counter
light scattering
particle counter
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パーティションパネル
英語表記：partition panel
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パーティングライン
英語表記：parting line
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パーピンテスタ パーピンリソーステスタ
英語表記：per-pin tester
per-pin resource
tester
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パイロットピン
英語表記：pilot pin
location pin
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パウダートラップ
英語表記：powder trap
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パターンシフト
英語表記：pattern shift
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パターンジェネレータ
英語表記：pattern generator
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パターンマッチング法
英語表記：pattern matching method
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パターンマルチプレクス機能
英語表記：pattern multiplex
function
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パターン位置精度
英語表記：pattern placement accuracy
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パターン依存性
英語表記：pattern dependence
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パターン寸法精度
英語表記：dimension accuracy
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パターン倒壊
英語表記：pattern collapse
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パターン認識 画像認識
英語表記：pattern recognition
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パターン発生プログラム
英語表記：pattern generation
program
詳細
パターン密度依存性
英語表記：pattern density dependence
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パッケージテスト ファイナルテスト
英語表記：package test
final test
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パッシベーション
英語表記：passivation
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パッドクリープ
英語表記：pad creep
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パッド加圧リング
英語表記：pad pressure ring
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パドル現像
英語表記：puddle developing
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パラレルダウンフローリンス
英語表記：parallel downflow rinse
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パラレルビーム
英語表記：parallel beam
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パルスヒートツール
英語表記：pulse heated
thermode
pulse heat tool
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パルスマスクテスト
英語表記：pulse mask test
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パルスレーザ露光
英語表記：pulse laser exposure method
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パルス変調プラズマエッチング装置
英語表記：pulse-time-modulated plasma etching equipment
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パルセーションダンパアキュームレータエアチャンバ
英語表記：pulsation damper
accumulator
air chamber
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微粒子 パーティクル
英語表記：particulate
small particle
particle
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