半導体用語集
パドル現像
英語表記：puddle developing
現像液の表面張力を利用したレジスト現像手法の一種。ウェハ外にこぼれない程度の現像液をウェハ上に盛り、静止した状態で現像を行う。この現像液盛りをパドルと呼ぶ。パドルを形成する現像ノズルには、吐出インパクトの低減や現像液使用量の削減を考慮した構造が取られている。現在の現像手法では主流となっており、パドル形成後の静止時間は30～60秒。
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