半導体用語集

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S の半導体用語

2次イオン質量分析法

英語表記:Secondary Ion Mass Spectrometry

SACエッチング

英語表記:self-aligned contact etching

SCALPEL

英語表記:Scattering with Angular Limitation in Projection Electron-beam Lithography

Schmid因子

英語表記:Schmid factor

SDI FI

英語表記:silt density index fouling index

SEAJ

英語表記:Semiconductor Equipment Association of Japan

Seccoエッチング

英語表記:Secco etching

SECS

英語表記:semiconductor equipment community standard

SEMI

英語表記:Semiconductor Equipment and Materials Institute

SEMI S2

英語表記:SEMI S2

SEMI S8

英語表記:SEMI S8

SEMIスタンダード

英語表記:semi standards

SIMOX

英語表記:separartion by implanted oxygen

SIMOX

英語表記:separartion by implanted oxygen

SIMOX SOIウェーハ

英語表記:separation by implantaion of oxygen SOI wafer

Sirtl エッチング

英語表記:Sirtle etching

Siアイランド

英語表記:Si island

SMD(表面欠陥)

英語表記:Surface Micro Defect

SMIF

英語表記:standard mechanical interface

SOD塗布

英語表記:SOD塗布

SOG

英語表記:spin-on-glass

SOI

英語表記:silicon on insulator

SOI

英語表記:Silicon on Insulator

SOI技術

英語表記:Silicon On Insulator Technology

SOI結晶

英語表記:Silicon on Insulator

SOS

英語表記:Silicon On Sapphire

SPM洗浄

英語表記:sulfuric acid-hydrogen peroxide mixture cleaning

SRAM

英語表記:Static Random Access Memory

SR露光装置 SOR露光装置

英語表記:synchtionrotron radiation

SSIS

英語表記:Society of Semiconductor Industry Specialists

STA

英語表記:Static Timing Analysis

STARC

英語表記:Semiconductor Technology Academic Research Center

STI

英語表記:Shallow Trench Isolation

STIR

英語表記:site total indication reading

STIエッチング

英語表記:STI etching

Sパラメータ

英語表記:S parameter

Sボンド S字ボンド

英語表記:S shape bond

サーチスピード

英語表記:search speed

サーチレベル

英語表記:search level

サービスエリア

英語表記:service area

サイト

英語表記:saite

サイトFPD SBID SFLD SF3D SFQD

英語表記:site focal plane deviation site back ideal deviation site front least-squares global deviation site front three points deviation site front least-squares site deviation

サイトTIR SBIR SFLR SF3R SFQR

英語表記:site total indicator reading site back ideal range (local thickness variation) site front least-squares global range site front three points range site front least-squares range

サイトアレイ

英語表記:site array

サイトサイズ

英語表記:site size

サイドロブ

英語表記:side lobe

サセプタ

英語表記:susceptor

サセプタ

英語表記:susceptor

サックバック

英語表記:suck back

サブサイト

英語表記:subsite

サブシステム ポリッシングシステム

英語表記:subsystem

サブストレート

英語表記:substrate

サブマスタ

英語表記:sub-master

サマリデータ

英語表記:summary data

サリサイド

英語表記:salicide : self-aligned silicide

サンプリング デジタイザ

英語表記:sampling digitizer

サンプルアンドディファレンス

英語表記:sample and  difference

シーケンシャルパターン発生器 SQPG

英語表記:sequential pattern generator

シーズニング

英語表記:seasoning

シーズニング

英語表記:seasoning

シーソー

英語表記:see saw

シードチャック

英語表記:seed chuck

シード回転速度 結晶回転速度 S/R

英語表記:seed rotation rate crystal rotation

シード層

英語表記:seed layer

シート抵抗測定

英語表記:sheet resistance measurement

シード移動ストローク

英語表記:seed lift travel

シード移動速度

英語表記:seed lift rate

シード軸

英語表記:seed shaft

シーム

英語表記:seam

ジーメンス法

英語表記:siemens method

シールドルーム

英語表記:shielding room

シェープ

英語表記:shape

システムLSI

英語表記:system LSI

システムLSIテストシステム SoCテストシステム ミックスドシグナルテストシステム

英語表記:system LSI test system system on chip test system mixed signal test system

シャロー ジャンクション

英語表記:shallow junction

シャワー板 カソード

英語表記:shower plate cathode

シュムープロット

英語表記:shmoo plot

ショット

英語表記:shot

ショットキバリア

英語表記:Schottky barrier

ショットキ効果

英語表記:Schottky effect

ショットキ障壁

英語表記:Schottky barrier

ショットスケーリング ショット倍率

英語表記:shot scaling

ショットローテーション

英語表記:shot rotation

ショルダ

英語表記:shoulder

シリカ

英語表記:silica

シリカ計

英語表記:silica analyzer

シリコン

英語表記:Silicon

シリコンバレー

英語表記:Silicon Valley

シリコン単結晶成長

英語表記:silicon single crystal growth

シリコン融液対流

英語表記:silicon liquid phase convection

シリサイド

英語表記:silicide

シリル化処理装置

英語表記:silylation system

シロキサン

英語表記:siloxane

シロキサン結合

英語表記:siloxane bonding

シンギュレーションセパレート

英語表記:singulation separate

シングルカセットロータ

英語表記:single cassette rotor

シンタ

英語表記:sinter

スーパーボルテージ機能

英語表記:super voltage function

スーパバッファメモリ SBM HBM

英語表記:super buffer memory

スイープ測定サーチ

英語表記:sweep mesurement