半導体用語集
swp (表面波プラズマ)
英語表記：Surface Wave Plasma
プラズマの表面に沿って伝搬する空間電荷波は、プラズマ表面で電界強度が集中することから表面波と呼ばれ、生成されたプラズマを表面波プラズマ (SWP)という。このプラズマ生成は、マイクロ波が伝搬するアンテナの構造の最適化が重要であり、種々のプラズマーアンテナ結合が提案されている。 マイクロ波を誘電体線路内で表面波として伝搬させ、ガラス窓やグリッドを介してプラズマ容器に導入する方式や、マイクロ波導波管にマイクロ波を伝搬させてスロットアンテナから導入する方式などが、大口径のプラズマ生成に用いられている。 このプラズでは、磁場を必要としない。さらに表面波はカットオフ以上の電子密度のプラズマ領域で伝搬可能であり、低圧下で比較的電子温度の低い高密度プラズマ生成が可能である。表面波プラズマにおけるエネルギー吸収機構については、マイクロ波の高周波電界によるジュール加熱によってプラズマエネルギーが供給するモデル、すなわち、プラズマによって吸収されるエネルギーが、中性粒子の電離および励起などの衝突によって失われて、両者のバランスする条件下でプラズマが持続されるモデルが提案されているが、低圧下においては電子の衝突周波数がマイクロ波の周波数にくらべて2～3桁低いために、単純な衝突減袞によるエネルギー吸収は説明がつかず、現在他の種々のモデルの検討が行われている。
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