熱CVD装置
英語表記：thermal CVD system
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熱応力
英語表記：thermal stress
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熱回収設備
英語表記：heat recovery system recuperator
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熱拡散
英語表記：thermomigration
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熱拡散
英語表記：Thermal diffusion
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熱拡散過程
英語表記：diffusion process
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熱拡散装置
英語表記：thermal diffusion furnace
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熱源設備
英語表記：energy plant
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熱交換器
英語表記：heat exchanger
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熱酸化
英語表記：thermal oxidation
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熱酸化装置
英語表記：thermal oxidation furnace
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熱酸化不動態処理 CRP処理
英語表記：thermal oxidation
passivation
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熱酸化膜
英語表記：Thermal Oxide Film
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熱酸化炉
英語表記：Thermal Oxidation Furnace
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熱刺激電流法
英語表記：thermally stimulated current method
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熱処理ウェーハ
英語表記：annealed wafer
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熱処理炉
英語表記：heat treatment furnace
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熱衝撃試験
英語表記：thermal shock test
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熱窒化
英語表記：thermal nitridation
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熱的洗浄
英語表記：thermal cleaning
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熱電変換素子
英語表記：thermoelectric transducer
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熱風乾燥装置
英語表記：hot air (gas)drying equipment
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熱膨張係数
英語表記：thermal expansion
coefficient
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熱履歴
英語表記：thermal budget
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燃焼式排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas
abatement
equipment by
incineration
process
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