半導体用語集
熱源設備
英語表記：energy plant
空気調和設備、衛生設備、ユーティリティ設備などに冷却水、冷水、温水、蒸気などの令・温熱エネルギーを供給する設備。一般に冷却塔、冷凍機、ボイラ、熱交換器、タンク、ポンプ、配管設備などから構成される。
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