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半導体用語集

省エネルギー

英語表記：energy saving

　全産業・国民生活・社会活動全般においてエネルギー利用の効率化を図り、一定の目的を達成するために消費するエネルギーを減少させることをいう。
　1970年代の石油危機を契機に、先進工業国でエネルギー需給の安定を図るための現実的な政策課題として推進された。とりわけ、燃料資源の輸入に依存する日本では、1979年に省エネ法が制定されて産業部門を中心に省エネルギー対策が促進され、産業構造の変化もあって産業部門のエネルギー消費量は減少傾向、国全体としては横這いで推移してきた。しかしながら、内需主導型の景気拡大、大規模な省エネ投資の一巡、国民のライフスタイルの変化などにより1987年から増加傾向に転じ、また、地球環境問題（温暖化、酸性雨）の高まりともあいまって、1993年に省エネ法の強化改正と省エネ・リサイクル支援法（融資・税制優遇処置等）が制定され、さらには、1997年12月のCOP3（第3回気候変動枠組条約締約国会議）における CO2削減目標の達成課題も加わり、より一層の省エネルギー推進と化石燃料代替エネルギーヘの転換が必要とされている。
　このような状況の中にあって半導体デバイスは、「産業の米」としてあらゆる方面に使用され、各種機器の高機能・軽薄短小化を促進すると同時に、産業・民生・運輸の各方面の省エネルギーに大いに貢献し、今後も、システムLSIの進展などデバイス自身の高集積化・高機能化および低消費電力化が促進されて、さらなる省エネルギーへの貢献が期待される。
一方、半導体産業は前工程工場1ライン（8インチウェハ投入2万枚/月）の建設に約1千億円の設備投資が必要といわれているように設備依存型の産業であり、工場は製造装置、空調・冷熱源設備、および純水・排水・排気・ガス・電気設備などより構成され、24時間365日連続稼働を行い、多量のエネルギーを消費している。エネルギーの大半は前工程で消費しており、日本半導体製造装置協会および日本電子機械工業会の1996、1997年の調査結果によれば、エネルギーの種別消費量は電力85％前後、燃料15％前後と圧倒的に電力が多く、その用途別消費量は製造装置が40～50%、空調・冷熱源設備が30％前後、その他ファシリティが25％前後を占めている。この結果、製造装置と空調・冷熱源設備の電力消費量低減が、エネルギー低減のキーポイントといえる。従来の省エネルギー対策は、どちらかというとファシリティに重点を置いて実施してきており、半導体工場でも他産業と同様、この方面のアイデアは限界にきている感がある。半導体工場のファシリティの規模は生産プロセスと製造装置に依存し、また、プロセスは製造装置の能力に大きく依存しているのが現実であり、特に、製造装置の省エネルギー促進が今後の重要課題である。加えて、高付加価値半導体デバイス開発、工程数ミニマム・材料ミニマム・アウトプット極大化となる製品・プロセス設計を推進し、工場規模の拡大抑制によるエネルギー消費量の増加抑制を図ることも重要であり、デバイス・装置・材料業界が一致協力して省エネルギー対策に取り組むことが求められている。

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