半導体用語集
クリーンルーム
英語表記：clean room
汚染制御が行われている限られた空間。空気中における浮遊微小粒子が限定された清浄度レベル以下に管理され、またその空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理がおこなわれている空間。
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半導体／電子部品／MEMS › 半導体 › センサ
ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4
PHT株式会社
本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 搬送／ハンドリング装置 › ロボット
F-REX型
株式会社荏原製作所
本装置はウェーハ表面を化学的機械的に研磨するクリーンルーム設置型のCMP装置です。市場で証明された高い信頼性と優れたプロセス性能を有する本装置は、各ユーザの仕様に対応するようフレキシブルな装置構成が可能です。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 検査装置 › 気中パーティクルカウンタ
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