半導体用語集
イオナイザ
英語表記：ionizer
環境内に正と負の空気イオンを供給し、電荷緩和経路として空気の導電性を上げる方法。この方法は導電体および絶縁体を問わずクリーンルーム全域に対して有効であるが、電極から発塵や空気イオンの副産物としてのオゾン発生などの問題があり、それらを考慮して機種を選定する必要がある。電極方式としては、AC方式、DC方式、パルスDC方式がある。
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