半導体用語集
ガス・粒子変換
英語表記：gas to particle conversion
ガス分子が凝集により、微粒子を生成する現象。0.1μｍ以下の微粒子の多くはこの現象に由来する。例えばクリーンルーム内酸性ガスも硫酸ミストなどを核として凝集し、微粒子に成長する。またイオナイザ電極近傍でも多量のガス・粒子変換現象が起きているとの測定例もある。
関連製品
「ガス・粒子変換」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「ガス・粒子変換」に関連する用語が存在しません。
「ガス・粒子変換」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
