CMP工程の欠陥評価手法
英語表記：defect evaluation method of CMP process
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Siノジュール
英語表記：Si nodule
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CMOSの構造
英語表記：Complementary Metal Oxide Semiconductor
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CMP (化学的機械研磨)
英語表記：Chemical Mechanical Polishing
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CMP後洗浄
英語表記：cleaning after CMP
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CMP廃水処理装置
英語表記：CMP waste water
treatment
equipment
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CO2バブラ
英語表記：CO2bubbler
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CVD装置
英語表記：chemical vapor deposition system
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CVD有機シリコン酸化膜
英語表記：CVD organic silicon oxide
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CZ法
英語表記：Czochralski
method
詳細
CZ法Si単結晶育成装置
英語表記：CZ method Si
single crystal
growth
equipment
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CZ法（チョクラルスキ法）
英語表記：Czochralski Method
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Crマスク
英語表記：Cr on glass mask
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Cu膜めっき
英語表記：copper electrolytic, electroless deposition
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Schmid因子
英語表記：Schmid factor
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Siアイランド
英語表記：Si island
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Si異方性エッチング
英語表記：Si anisotropic etching
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Si酸化
英語表記：Silicon Oxidation
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Si窒化
英語表記：Silicon nitridation
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シーケンシャルパターン発生器 SQPG
英語表記：sequential pattern
generator
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シート抵抗測定
英語表記：sheet resistance measurement
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シードチャック
英語表記：seed chuck
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シード移動ストローク
英語表記：seed lift travel
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シード移動速度
英語表記：seed lift rate
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シード回転速度 結晶回転速度 S／R
英語表記：seed rotation rate crystal rotation
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シーム溶接装置
英語表記：parallel seam
resistance
welding
equipment
詳細
シールドルーム
英語表記：shielding room
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シクロプタン誘導体
英語表記：cyclobutane derivative
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システムLSI
英語表記：system LSI
詳細
システムLSIテストシステム SoCテストシステム ミックスドシグナルテストシステム
英語表記：system LSI test
system
system on chip test
system
mixed signal test
system
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シャロー ジャンクション
英語表記：shallow junction
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シャワー板 カソード
英語表記：shower plate cathode
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シュムープロット
英語表記：shmoo plot
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ショットキバリア
英語表記：Schottky barrier
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ショットキ効果
英語表記：Schottky effect
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ショットキ障壁
英語表記：Schottky barrier
詳細
ショットスケーリング ショット倍率
英語表記：shot scaling
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ショットローテーション
英語表記：shot rotation
詳細
ショット数
英語表記：number Of shots
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シリカ計
英語表記：silica analyzer
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シリコントレンチ
英語表記：silicon trench
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シリコンバレー
英語表記：Silicon Valley
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シリコン酸化膜
英語表記：silicon dioxide
詳細
シリコン単結晶の物性
英語表記：physical properties
of single crystal
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シリコン単結晶成長
英語表記：silicon single
crystal growth
詳細
シリコン融液対流
英語表記：silicon liquid phase convection
詳細
シリサイド化
英語表記：silicidation
詳細
シリル化プロセス
英語表記：silyl process
詳細
シリル化処理装置
英語表記：silylation system
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シリンダキャビネット
英語表記：cylinder cabinet
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シリンダボンベ 内部研磨クリーンボンベ
英語表記：cylinder
ultra clean cylinder
詳細
シロキサン結合
英語表記：siloxane bonding
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シンギュレーションセパレート
英語表記：singulation separate
詳細
シングルカセットロータ
英語表記：single cassette rotor
詳細
下地ダメージ
英語表記：underlying damage layer
詳細
下地段差効果
英語表記：Effects of substrate steps
詳細
下定盤
英語表記：lower lapping plate
詳細
仕事関数
英語表記：work function
詳細
仕上研磨 ファイナル スーパーファイナル
英語表記：final polishing final super final
詳細
紫外線殺菌器 UV殺菌器
英語表記：ultraviolet sterilizer
詳細
紫外線酸化装置
英語表記：ultraviolet-ray
oxidation
equipment
詳細
試験周波数 動作周波数
英語表記：test frequency
operating frequency
詳細
自然酸化除去
英語表記：native oxide removal
詳細
自然酸化膜
英語表記：native oxide
詳細
自然酸化膜
英語表記：native oxide
詳細
湿式排ガス処理装置
英語表記：wet type exhaust
gas abatement
equipment
詳細
質量分析器
英語表記：Mass Analyzer
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質量分析計
英語表記：mass analyzing system
詳細
質量分析能力
英語表記：mass analyzing capability
詳細
斜光照明
英語表記：oblique lighting
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斜入射干渉計方式
英語表記：grading incidence interferometer method
詳細
斜入射照明
英語表記：off—axis illumination
詳細
遮光帯
英語表記：shielding light band
詳細
主放電
英語表記：main discharge
詳細
種子結晶
英語表記：seed crystal
詳細
種棒切断 種子切断
英語表記：seed cut
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収束イオンビーム法 FIB
英語表記：focused ion beam
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周辺部除外領域
英語表記：edge exclusion
詳細
周辺露光 ウェーハ周辺露光 選択露光
英語表記：optical edge bead remover
詳細
周辺露光装置
英語表記：wafer edge eXPOSUre
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修正キャリヤ
英語表記：dressing carrier
conditioning carrier
詳細
終点検出
英語表記：endpoint detector
詳細
終点検出
英語表記：end point momtoring
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終点検出
英語表記：end point detection
詳細
終点検知
英語表記：end point detection
詳細
集積ガスユニット
英語表記：integrated gas unit
詳細
集積化部品
英語表記：integrated
components
詳細
集束イオンビーム（FIB）法
英語表記：Focused Ion Beam
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集束イオンビーム露光
英語表記：focused ion-beam exposure
詳細
集中監視盤 中央監視制御
英語表記：central monitoring
and control system
詳細
縮小レンズ光学系
英語表記：reduced lens-optical system
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縮小転写イオン光学系
英語表記：ion optics for projection 10n beam lithography
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縮小倍率
英語表記：reduction ratio
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縮小露光
英語表記：reduction exposure, El-TV lithography
詳細
縮小露光系
英語表記：image reduction system
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出力パターンセンス法
英語表記：sensitizing pattern
generation method
詳細
少量危険物貯蔵庫
英語表記：store room for small
quantity dangerous
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昇降温プロファイル
英語表記：temperature up and down profile
詳細
焼却装置
英語表記：incineration
equipment
詳細
焦点・非点補正
英語表記：focus・astigmatism revision
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焦点深度 DOF
英語表記：depth of focus
D.O.F
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照射損傷
英語表記：irradiation damage
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照射量補正
英語表記：dose modulation correction method
詳細
照度むら
英語表記：illumination uniformity
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照明系
英語表記：illumination system
詳細
照明条件差
英語表記：effects of difference of illumination conditions
詳細
省エネルギー設備
英語表記：energy saving
system
詳細
省レジスト技術
英語表記：reduced resist consumption
詳細
衝突・無衝突減衰
英語表記：collision・nonーcollision attenuation
詳細
衝突周波数
英語表記：collision frequency
詳細
衝突断面積
英語表記：collision cross section
詳細
触針式表面粗さ測定
英語表記：stylus surface roughness measurement
詳細
触媒湿式酸化処理装置
英語表記：catalyzed wet
oxidation equipment
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触媒樹脂脱酸素装置
英語表記：oxyducgen reduction
equipment with
catalytic resin
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信号処理演算回路
英語表記：Signal processing operating circuit
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振動ピックアップ
英語表記：vibration pickup
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振動レベル計
英語表記：vibration level meter
詳細
振動解析終点検出法
英語表記：end point detection by vibration analysis
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振動周波数分析器
英語表記：vibration frequency
analyzer
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振動励起
英語表記：vibrational excitation
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新線送り量
英語表記：length of fresh wire feeding
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浸漬式エッチング装置
英語表記：immersion wet
etching system
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深冷空気分離装置
英語表記：cryogenic air separator
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真空ロボット
英語表記：robot for using in vacuum
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真空乾燥装置
英語表記：vacuum drying equipment
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真空紫外光吸収分光
英語表記：vacuum ultra violet absorption spectroscopy
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真空紫外線照射除電装置
英語表記：deep ultraviolet charge neutralizer
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真空紫外発光分析
英語表記：vacuum ultra Violet emission
spectroscopy
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真空蒸着装置
英語表記：vacuum evaporation
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真空掃除システム セントラルバキュームクリーニング
英語表記：central vacuum cleaning system
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真空脱気塔
英語表記：vacuum degagifier
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真空法
英語表記：high vacuum method
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真性半導体
英語表記：intrinslC semiconductor
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真性半導体
英語表記：intrinsic semiconductor
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親水性
英語表記：hydrophilicity
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親水性表面
英語表記：hydrophilic surface
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進捗管理システム
英語表記：work in process
tracking system
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