半導体用語集
真空乾燥装置
英語表記：vacuum drying equipment
乾燥室を大気圧以下に排気し、洗浄物を濡らしている溶媒の蒸発速度を高めて、あまり高い温度にできないもの、多孔質体、複雑な組立品などの乾燥に用いる装置。
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