3点基準
英語表記：three points reference
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SIMOX SOIウェーハ
英語表記：separation by implantaion of oxygen SOI wafer
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Sirtl エッチング
英語表記：Sirtle etching
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サーチスピード
英語表記：search speed
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サーチレベル
英語表記：search level
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サービスエリア
英語表記：service area
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サーマルチャンバ
英語表記：thermal chamber
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サイクルタイム
英語表記：cycle time
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サイクル処理時間
英語表記：cycle time
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サイトFPD SBID SFLD SF3D SFQD
英語表記：site focal plane deviation site back ideal deviation site front least-squares global deviation site front three points deviation site front least-squares site deviation
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サイトTIR SBIR SFLR SF3R SFQR
英語表記：site total indicator reading site back ideal range (local thickness variation) site front least-squares global range site front three points range site front least-squares range
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サイトアレイ
英語表記：site array
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サブシステム ポリッシングシステム
英語表記：subsystem
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サブストレート
英語表記：substrate
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サマリデータ
英語表記：summary data
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サリサイド
英語表記：salicide : self-aligned silicide
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サンプリング デジタイザ
英語表記：sampling digitizer
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サンプルアンドディファレンス
英語表記：sample and
difference
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差圧ダンパ
英語表記：pressure setting
damper
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差圧検出器
英語表記：differential pressure
sensor
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差動トランス終点検出法
英語表記：liner variable diferential tranceducer end point detection
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差動増幅器
英語表記：Differential amplifier
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再結合ライフタイム
英語表記：recombination lifetime
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再現性
英語表記：repeatability
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再生ウェーハ
英語表記：reclain wafer
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再生レベル
英語表記：regeneration level
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再生廃水中和装置
英語表記：regeneration waste
water neutralizing
equipment
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最小パルス幅
英語表記：minimum pulse
width
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最小検出パルス幅
英語表記：minimum detectable
pulse width
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最大チャージ量
英語表記：Charge size crucible capacity
詳細
最大粒子
英語表記：maximum grain size
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細線
英語表記：thin wire
fine wire
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皿状ピット
英語表記：shallow pit saucer
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三重ウェル
英語表記：triple well
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三値ドライブ
英語表記：three level drive
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散乱電子
英語表記：scattering electron
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酸化・拡散/不純物ドーピング技術
英語表記：oxidation・ diffusion/impurity dopin g technologies
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酸化マンガンスラリー
英語表記：manganese oxideslurry
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酸化還元装置
英語表記：oxidation reduction
equipment
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酸化還元電位
英語表記：oxidation reduction potential
詳細
酸化還元電位計
英語表記：oxidation reduction
potential(ORP)
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酸化種
英語表記：oxidation seed
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酸化増速、減速拡散
英語表記：oxidation-enhanced、retarded diffusion
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酸拡散
英語表記：acid diffusion
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酸素ドナー
英語表記：oxygen donor
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酸素プラズマ耐性
英語表記：02 plasma resistance
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酸素析出
英語表記：oxygen
precipitation
詳細
酸素析出
英語表記：precipitation of oxygen
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酸素析出物
英語表記：oxygen precipitate
詳細
酸素析出物
英語表記：oxide precipitate
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酸素濃度モニタ
英語表記：oxygen concentration monitor
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酸窒化酸化 N₂O酸窒化
英語表記：oxynitridation in N₂O(NO)
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酢酸セルローズ製逆浸透膜 CA膜
英語表記：cellulose acetate
reverse osmosis
membrance
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