殺菌（sterilization） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：sterilization

超純水装置などで繁殖する菌を除去させるために行うメンテナンス作業。ユースポイント配管の殺菌方法としては、数％の過酸化水素水等による薬剤殺菌法と熱交換器を用い、超純水を80～90℃に加熱して行う熱水殺菌法、および約40～50μg/ℓのオゾンを連続注入するオゾン殺菌法などが行われている。