半導体用語集
クリーンロッカー
英語表記：clean locker
無塵衣を収納するロッカー。内部はHEPAフィルタを通過した清浄空気が循環し高清浄を維持している。UV線殺菌灯を組み込んだものもある。
関連製品
「クリーンロッカー」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「クリーンロッカー」に関連する用語が存在しません。
「クリーンロッカー」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
