AFM
英語表記：atomic force microscope
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AGA EGA
英語表記：advanced global
alignment
enhanced global
alignment
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AGV 自走型搬送車
英語表記：automatic guided
vehicle
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ALC アルゴリズムコントローラ
英語表記：algorithm controller
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ALD(原子層堆積)
英語表記：Atomic Layer Deposition
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APM洗浄
英語表記：ammonia-hydrogen peroxide mixture cleaning
詳細
ASIC
英語表記：application specific integration circuit
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ASSP
英語表記：Application Specific Standard Product
詳細
ATE テスタ
英語表記：automatic test
equipment
test system
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ATPG
英語表記：automatic test
program generator
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AWG 波形シンセサイザ
英語表記：arbitrary wave form
generator
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