半導体用語集

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A の半導体用語

ABCパラメータ

英語表記:ABC parameter

ACF 異方性導電膜

英語表記:anisotropic conductive film

ACパラメトリックテスト ACテスト

英語表記:AC parametric test AC test

AFM

英語表記:atomic force microscope

AGA EGA

英語表記:advanced global alignment enhanced global alignment

AGV 自走型搬送車

英語表記:automatic guided vehicle

ALC アルゴリズムコントローラ

英語表記:algorithm controller

ALD(原子層堆積)

英語表記:Atomic Layer Deposition

APM洗浄

英語表記:ammonia-hydrogen peroxide mixture cleaning

ASIC

英語表記:application specific integration circuit

ASSP

英語表記:Application Specific Standard Product

ATE テスタ

英語表記:automatic test equipment test system

ATPG

英語表記:automatic test program generator

ATスピードテスト

英語表記:at speed test

AWG 波形シンセサイザ

英語表記:arbitrary wave form generator

A欠陥

英語表記:A-defect

NH3 窒化

英語表記:ammnium nitridation

アークチャンバ

英語表記:arc chamber

アークランプ アニール装置

英語表記:arc lamp annealer

アクティブダンパ

英語表記:active amper

アズカットウェーハスライドウェーハ

英語表記:as-cut wafer sliced wafer

アスペクト比

英語表記:aspect ratio

アスペクト比

英語表記:Aspect Ratio

アスペクト比

英語表記:aspect ratio

アッシング(灰化)

英語表記:Ashing

アッシング装置

英語表記:ashing system

アトミック・レイヤー・エッチング

英語表記:Atomic Layer Etching

アドレスサイズ

英語表記:address unit

アドレススクランブル機能

英語表記:address scramble function

アドレスマルチ機能

英語表記:address multiplex function

アナログ

英語表記:Analog

アニール

英語表記:anneal

アニール

英語表記:anneal

アニール(熱処理)

英語表記:Annealing

アニール均一性

英語表記:annealing uniformity

アニール室

英語表記:annealing chamber

アニール温度

英語表記:annealing temperature

アニオン交換樹脂

英語表記:anion exchange resin

アニオン交換樹脂塔

英語表記:anion exchanger

アパーチャ

英語表記:aperture

アフタキュア ポストキュア

英語表記:after cure post cure

アフタコロージョン

英語表記:after-corrosion

アモーファス

英語表記:Amorphous

アモルファス

英語表記:amorphous

アライメント

英語表記:alignment

アライメント

英語表記:alignment

アライメント

英語表記:alignment

アライメント

英語表記:alignment

アライメントオフセット

英語表記:alignment offset

アライメントスコープ

英語表記:alignment scope

アライメントステージ

英語表記:alignment stage

アライメントマーク 合せマーク

英語表記:alignment mark

アライメント精度

英語表記:alignment accuracy

アライメント精度

英語表記:alignment accuracy

アライメント精度 位置合せ精度

英語表記:alignment accuracy

アルゴリズミック パターン発生器 ALPG

英語表記:algorithmic pattern  genetator

アルミナ砥粒

英語表記:alumina abrasive

アレニウスグラフ アレニウスプロット

英語表記:Arrhenius graph Arrhenius plot dependence of life time on temperature plot

アロイスパイク

英語表記:alloy spike

アンチモン

英語表記:antimony

アンテナ比

英語表記:antenna retio

エアーバック方式

英語表記:air-back system

エアカーテン

英語表記:air curtain

エアシャワ

英語表記:air shower

エアタオル

英語表記:air towel

エアテンション

英語表記:air tension

エアフロー

英語表記:air flow

エアベント

英語表記:air vent

エアロック

英語表記:air lock

エアワッシャ

英語表記:air washer

エア加圧方式

英語表記:air pressure type

オージェ電子出現電位分光法

英語表記:auger electron appearance spectroscopy

オージェ電子分光法

英語表記:Auger Electron Spectroscopy

オージェ電子分光法 AES

英語表記:auger electron spectroscopy

オーディオ信号測定機能

英語表記:audio signal measurement

オートカッタセット オートセットアップ

英語表記:automatically cutter set automatically set-up

オートキャリブレーション機能

英語表記:automatic calibration function

オートダンパ カップ内排気

英語表記:automatic damper sequential damper exhaust for coater exhaust for developer

オートドーピング

英語表記:autodoping

オールメタル製ガス供給システム

英語表記:all metal gas supplying system

じょ限量

英語表記:allowable concentration

スピンモータ 立ち上がり特性

英語表記:acceleration

と粒

英語表記:abrasive grains

ハーフトーン型位相シフトマスク

英語表記:attenuated Phaseーshifting mask, half-tone phase-shifting mask

ハーフトーン型位相シフト露光法

英語表記:attenuated Phaseーshifting method, half-tone phaseshifting method

ヒ素

英語表記:arsenie

プラズマ分離型 マイクロ波 プラズマCVD装置

英語表記:after glow microwave plasma enhanced CVD system

ブレークダウン

英語表記:air break down

マーク検出

英語表記:alignment mark detection

メルトレベル制御システム

英語表記:automatic melt level control system

一段熱処理

英語表記:annealing

代替搬送

英語表記:alternative transportation

光学像

英語表記:aerial image

入室者管理

英語表記:access control

分析マグネット

英語表記:analyzing magnet

加速律

英語表記:acceleration factor

加速管

英語表記:acceleration tube

加速電圧

英語表記:acceleration voltage

加速電圧

英語表記:acceleration voltage

原子吸光法

英語表記:atomic absorption analysis