半導体用語集
ASIC
英語表記：application specific integration circuit
元々はある特定の応用のために最適設計された集積回路を指していたが、最近では単一ユーザー向けに専用設計されたカスタム品を意味することが多くなった。要素回路のレイアウトから設計するフルカスタム、あらかじめ広い用途に適用可能な素子群を多数配列した基板を用意しておき必要に応じて配線を変えて対応するゲートアレイ、レイアウト設計済みの要素回路を目的に応じて組み合わせるスタンダードセルなどがある。ASICは基本的にカスタム品であるため、CMPプロセス条件も品種毎に最適化する必要がある。最適化を不要もしくは容易にする方法としては、a)レイアウト依存性の生じにくい（平坦化能力の高い）CMP装置や処理条件を選ぶ、b)ダミーパターンを挿入してレイアウトを均一化する、c)研磨速度などのレイアウト依存性を迅速に計測しプロセス条件にフィードバックするシステムを導入する、等が考えられる。
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