半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

CMP工程の欠陥評価手法

英語表記：defect evaluation method of CMP process

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Ir、IrO2

英語表記：iridium, iridium dioxide

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RIEダメージ

英語表記：Reactive Ion Etching damage

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Siノジュール

英語表記：Si nodule

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1探針法

英語表記：one-point probe method

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2パステスト

英語表記：two-pass testing double insertion testing

詳細

2ボート装置

英語表記：two boat system

詳細

2次イオン質量分析法

英語表記：Secondary Ion Mass Spectrometry

詳細

2床3塔型純水装置 2B3T型純水装置

英語表記：two bed three tower deionizing equipment two bed three tower demineralizing equipment

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2進表現

英語表記：binary code expression

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3D-NANDフラッシュメモリ

英語表記：

詳細

3Dグラフィックス用LSI

英語表記：LSI for three Dimension graphics

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3点基準

英語表記：three points reference

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4探針法

英語表記：four-point probe method

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A/D変換器

英語表記：A/D converter

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A/D変換器

英語表記：A/D Converter

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ABCパラメータ

英語表記：ABC parameter

詳細

ACF　異方性導電膜

英語表記：anisotropic conductive film

詳細

ACパラメトリックテスト　ACテスト

英語表記：AC parametric test AC test

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AC特性

英語表記：

詳細

AD-DA変換機

英語表記：

詳細

AFM

英語表記：atomic force microscope

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AGA　EGA

英語表記：advanced global alignment enhanced global alignment

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AGV 自走型搬送車

英語表記：automatic guided vehicle

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ALC　アルゴリズムコントローラ

英語表記：algorithm controller

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ALD(原子層堆積)

英語表記：Atomic Layer Deposition

詳細

APM洗浄

英語表記：ammonia-hydrogen peroxide mixture cleaning

詳細

ASIC

英語表記：application specific integration circuit

詳細

ASIC

英語表記：

詳細

ASSP

英語表記：Application Specific Standard Product

詳細

ATE　テスタ

英語表記：automatic test equipment test system

詳細

ATPG

英語表記：automatic test program generator

詳細

ATスピードテスト

英語表記：at speed test

詳細

AWG　波形シンセサイザ

英語表記：arbitrary wave form generator

詳細

AlN基板（窒化アルミニウム基板）

英語表記：aluminum nitride substrate

詳細

Alリフロー

英語表記：Al reflow

詳細

Al高圧リフロー

英語表記：Al high pressure reflow filling

詳細

A欠陥

英語表記：A-defect

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BBレシオ

英語表記：Book-to-Bill Ratio

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BESOI

英語表記：Bond Etch SOL

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BGA

英語表記：ball grid array

詳細

BGA

英語表記：Ball Grid Array

詳細

BGA（Ball Grid Array）の組立プロセス

英語表記：assembly process of BGA

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BIST（ビスト）

英語表記：Built in Self Test

詳細

BMD

英語表記：Bulk Microdefect

詳細

BPSGリフロー

英語表記：reflow of boro phospho silicate glass

詳細

BiCMOS

英語表記：Bipolar Complementary MOS

詳細

C-V法

英語表記：Capacitance-Voltage method

詳細

C-t法

英語表記：C-t Method

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CAD

英語表記：Computer Aided Design

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CCD

英語表記：Charge Coupled Device

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CEマーキング

英語表記：CE marking

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CIM

英語表記：computer integrated manufacturing

詳細

CIMアプリケーションフレームワーク

英語表記：CIM application frame work

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CMOS

英語表記：

詳細

CMOS

英語表記：complementary metal oxide semiconductor

詳細

CMOSの構造

英語表記：Complementary Metal Oxide Semiconductor

詳細

CMOSイメージセンサ

英語表記：

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CMP

英語表記：Chemical Mechanical Polishing

詳細

CMP

英語表記：chemical Mechanical Polishing

詳細

CMP

英語表記：chemical mechanical polishing chemical mechanical planarization

詳細

CMP (化学的機械研磨)

英語表記：Chemical Mechanical Polishing

詳細

CMP後洗浄

英語表記：cleaning after CMP

詳細

CMP後洗浄

英語表記：post-CMP cleaning

詳細

CMP装置

英語表記：CMP system

詳細

CMP廃水処理装置

英語表記：CMP waste water treatment equipment

詳細

CNC 凝縮核測定器

英語表記：condensation nucleus counter

詳細

CO2バブラ

英語表記：CO2bubbler

詳細

COB

英語表記：Chip On Board

詳細

COB　COG

英語表記：chip on board ship on glass

詳細

COO

英語表記：Cost Of Ownership

詳細

COO

英語表記：cost of ownership

詳細

COO

英語表記：cost of ownership

詳細

COP

英語表記：crystal originated particle

詳細

COP

英語表記：crystal originated particle

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CPU、MPU

英語表記：Central Processing Unit、Microprocessing Unit

詳細

CSP

英語表記：Chip Size Package, Chip Scale Package

詳細

CSP

英語表記：chip size package

詳細

CVD

英語表記：chemical vapor deposition

詳細

CVD装置

英語表記：chemical vapor deposition system

詳細

CVD有機シリコン酸化膜

英語表記：CVD organic silicon oxide

詳細

CZ結晶

英語表記：CZ crystal

詳細

CZ法

英語表記：Czochralski method

詳細

CZ法Si単結晶育成装置

英語表記：CZ method Si single crystal growth equipment

詳細

CZ法（チョクラルスキ法）

英語表記：Czochralski Method

詳細

Cat CVD装置　触媒CVD装置

英語表記：catalyst CVD system

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Crマスク

英語表記：Cr on glass mask

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Cu膜めっき

英語表記：copper electrolytic, electroless deposition

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D/A 変換器

英語表記：D/A converter

詳細

D/A変換器

英語表記：D/A Converter

詳細

DART

英語表記：distribution analysis in realtime

詳細

DCパラメトリックテスト　DCテスト

英語表記：DC parametric test DC test

詳細

DCパラメトリックテストシステム

英語表記：DC parametric test system

詳細

DC測定ユニット

英語表記：DC mesurement unit

詳細

DFE

英語表記：design for environment

詳細

DFT

英語表記：Design for Testability

詳細

DGS

英語表記：device ground sence

詳細

DHF洗浄

英語表記：dolute hydrogen fluoride cleaning

詳細

DIP

英語表記：Dual In-line Package

詳細

DLTS

英語表記：deep level transient spectroscopy

詳細

DLTS

英語表記：Deep Level Transient Spectroscopy

詳細

DOP粒子 DOP

英語表記：DOP particle dioctyl phthalate particle

詳細

DOS粒子 DOS

英語表記：DOS particle dioctyl sebacate particle

詳細

DOWN TIME

英語表記：down time

詳細

DRAM

英語表記：Dynamic Random Access Memory

詳細

DRAM

英語表記：dynamic random access memory

詳細

DSA

英語表記：Directed Self Align

詳細

DSP

英語表記：Digital Signal Processor

詳細

DSP　デジタルシグナルプロセッサ

英語表記：digital signal processor

詳細

DUT

英語表記：device under test

詳細

DUTボード　ソケットボード　テストボード　ロードボード　パフォーマンスボード　フィクスチャボード　マザーボード　DUTーI／F　DIB

英語表記：DUT boardsocket boardtest boardload boardperformance boardfixture boardmother boardDUT interfacedevice interface board

詳細

DUT電源　DPS　バイアス電源

英語表記：DUT power supply device power supply

詳細

DWウェーハ

英語表記：diffused wafer

詳細

Dashエッチング

英語表記：Dash etching

詳細

Deal-Groveモデル

英語表記：Deal-Grove model

詳細

Double Patterning（1）

英語表記：Double Patterning

詳細

Double Patterning（2）

英語表記：Double Patterning

詳細

Dynamic-SIMS

英語表記：Dynamic-Secondary Ion Mass Spectroscopy

詳細

D欠陥

英語表記：D-defect

詳細

EBテスタ法

英語表記：EB (Electron Beam) tester method

詳細

EBデータ変換

英語表記：EB data converston

詳細

ECR エッチング装置

英語表記：electron cyclotron resonance etching system

詳細

ECR　スパッタリング装置

英語表記：electron coupling resonance sputtering system

詳細

ECR　プラズマCVD装置

英語表記：electron coupling resonance plasma enhanced CVD system

詳細

ECRエッチング装置

英語表記：Electron Cyclotron Resonance Plasma Etcher

詳細

ECRプラズマCVD

英語表記：Electron Cyclotron Resonance plasma CVD

詳細

EDTA

英語表記：ethylendiamin tetra acetic acid

詳細

EEMポリシング

英語表記：elastic emmision machining

詳細

ELID研削

英語表記：electrolytic in process dressing grinding

詳細

ELTRAN

英語表記：Epitaxial Layer Transfer

詳細

EMS 環境マネジメントシステム

英語表記：enronmental management system

詳細

EPD

英語表記：Htch Pit Density

詳細

ES

英語表記：Engineering Sample

詳細

ESD

英語表記：Electro-Static Discharge, Electro-Static Destroy

詳細

ESD保護

英語表記：electrostatic discharge protection

詳細

ESH EHS

英語表記：environment safety and health environmental health and safety

詳細

EUVの光源

英語表記：Extremly Ultra Violet

詳細

EUV露光リソグラフィ

英語表記：Extremly Ultra Violet Lithography

詳細

FA対応バーンイン装置

英語表記：corresponding burn -in system of factory automation

詳細

FDｰSOI（完全空乏型SOI）

英語表記：Fully Depleted Silicon on Insulator

詳細

FET(電界効果トランジスタ)

英語表記：Field Effect Transistor

詳細

FIB法

英語表記：FIB (Focused Ion Beam) method

詳細

FPD

英語表記：flow pattern defect

詳細

FPD　GFLD　GF3D

英語表記：focal plane deviation　gloval front least-squares deviation　gloval front three points deviation

詳細

FPGA

英語表記：Field Programmable Gate Array

詳細

FPM洗浄

英語表記：hydrofluoric acid-hydrogen peroxide mixture cleaning

詳細

FQA　平坦度適用領域

英語表記：fixed quality

詳細

FRｰ4

英語表記：FR-4 Fiber Reinforced-4

詳細

FSG

英語表記：fluorine doped silicate glass

詳細

FT-IR (フーリエ変換赤外分光法)

英語表記：Fourie Transform Infrared spectroscopy

詳細

FUSI

英語表記：Fully Silicided

詳細

FZ結晶

英語表記：FZ crystal

詳細

FZ装置

英語表記：FZ equipment

詳細

FZ法

英語表記：Floating Zone method

詳細

FeRAM構造

英語表記：FeRAM structure

詳細

FinFET(Tri Gate MOS)

英語表記：

詳細

GBIR　TTV

英語表記：global backside ideal range　total thickness variation

詳細

GEM

英語表記：generic equipment model

詳細

GEM

英語表記：Generic Equipment Model

詳細

GO／NO-GO試験　PASS／FAIL試験

英語表記：GO/NO-GO testPASS/FAIL test

詳細

HALO／ポケット

英語表記：HALO/ pocket

詳細

HAST　プレッシャクッカ

英語表記：highly accelerated temperature and humidity stress test pressure cooker

詳細

HAST（高温高湿ストレス試験）

英語表記：Highly Accelerated Stress Test

詳細

HDL

英語表記：Hardware Description Language

詳細

HDP-CVD

英語表記：high density plasma CVD

詳細

HEPAフィルタ

英語表記：high efficiency particulate air filter HEPA filter

詳細

HFキット

英語表記：High Frequency kit

詳細

HF治具

英語表記：high frequency test head interface

詳細

HF蒸気洗浄装置

英語表記：HF vapor cleaninge equipmen

詳細

HPM洗浄

英語表記：hydrochloric acid-hydrogen peroxide mixture cleaning

詳細

HSG

英語表記：hemi spherical grained

詳細

HSMS

英語表記：high speed SECS message service

詳細

HSMS

英語表記：High-speed SECS Message Services

詳細

HSQ

英語表記：Hydrogensilsesqunoxane

詳細

Half pitchとNode

英語表記：

詳細

High-k膜（高誘電率膜）

英語表記：

詳細

ICP-MS

英語表記：inductively coupled plasma mass spectrometer

詳細

ICTS

英語表記：Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy

詳細

ICとLSI

英語表記：

詳細

ICの機能試験

英語表記：

詳細

IC内部回路

英語表記：

詳細

IDDQ試験　静止電源電流試験

英語表記：IDDQ test quiescent power supply current test

詳細

IDM

英語表記：Integrated Device Manufacturer

詳細

IDブレード

英語表記：inner diameter blade

詳細

IGBT

英語表記：Insulated Gate Bipolar Transistor

詳細

IMEC

英語表記：Interuniversity MicroelectronicsCenter

詳細

IMS基板（金属系絶縁基板）

英語表記：Insulated Metal Substrate

詳細

IPAべーパ乾燥

英語表記：IPA Vapor/Dry

詳細

IPAマランゴニ乾燥

英語表記：IPA marangoni drying

詳細

IPA回収・再生装置

英語表記：isopropyl alcohol reprocessor

詳細

IPA乾燥

英語表記：IPA vapor drying

詳細

IPA乾燥

英語表記：isopropyl alcohol drying

詳細

IPA蒸気乾燥

英語表記：IPA vapor drying

詳細

IPVD

英語表記：ionized physical vapor deposition

詳細

IPプロバイダ

英語表記：Intellectual Property (IP)Provider

詳細

IRLAS(赤外半導体レーザ吸収分光)

英語表記：infrared diode laser absorption spectroscopy

詳細

ISSCC

英語表記：International Solid-State Circuits Conference

詳細

ITOX

英語表記：internal thermal oxidation

詳細

International SEMATECH

英語表記：International SEMATECH

詳細

I／Oピン　ドライバ／コンパレータ

英語表記：IOpindriver/comparator

詳細

I／O切り換え時間

英語表記：I/Oswitching transition

詳細

I／Q位相エラー測定

英語表記：I/Q phase error measurement

詳細

JEITA

英語表記：Japan Electronics antd Information Technology Industries Association

詳細

JPEGLSI

英語表記：JPEGLSI

詳細

KGD

英語表記：known good die

詳細

LAN

英語表記：local area network

詳細

LCA

英語表記：life cycle assessment

詳細

LCCO₂

英語表記：life cycle CO₂

詳細

LDD

英語表記：Lightly Doped Drain

詳細

LED

英語表記：Light Emitting Diode

詳細

LER(ライン エッジ ラフネス)

英語表記：

詳細

LOC

英語表記：Lead On Chip

詳細

LOCOS

英語表記：local oxidation of silicon

詳細

LOG

英語表記：lead on chip

詳細

LPDモード（Light Point Defect）面の粗さ

英語表記：roughness by LPD mode

詳細

LSTD

英語表記：Laser Scattering Tomography Defect

詳細

LSTD

英語表記：laser scattering tomograply defect

詳細

LTV

英語表記：local thickness variation

詳細

Law-k膜

英語表記：

詳細

Linear Parabolicモデル

英語表記：Linear Parabolic model

詳細

MCBF

英語表記：mean cycle between failure

詳細

MCL

英語表記：metal contamination level

詳細

MCM-C

英語表記：Multi Chip Module Cofired ceramics

詳細

MCM-D

英語表記：Multi Chip Module Deposited dielectric

詳細

MCM-L

英語表記：Multi Chip Module organic Laminates

詳細

MCM（マルチチップモジュール）

英語表記：Multi Chip Module

詳細

MCZ結晶引き上げ装置

英語表記：MCZ crystal growth equipment

詳細

MCZ法

英語表記：magnetic field applied Czochralski method

詳細

MCZ法

英語表記：Magnetic Field Applied CZ法

詳細

MOCVD

英語表記：metal organic CVD

詳細

MOS FET

英語表記：Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor

詳細

MPU

英語表記：micro processor unit

詳細

MRAM(1)

英語表記：MagnetoresistiveRandom Access Memory

詳細

MRAM(2) (STT-MRAM)

英語表記：

詳細

MSDS

英語表記：material safety

詳細

MTBF

英語表記：mean time between failure

詳細

MTTR

英語表記：mean time to repair

詳細

MWBA

英語表記：mean wafers between asist

詳細

MWBF

英語表記：mean wafers between failure

詳細

Mixed Signal LSI

英語表記：

詳細

Mアルカリ度 酸消費量

英語表記：M-alkalinity alkalinity

詳細

N20窒化

英語表記：Nitrous Oxide nitridation

詳細

N2O窒化

英語表記：N2O　nitridation of silicon oxide

詳細

NAND

英語表記：

詳細

NANDフラッシュメモリ

英語表記：

詳細

NA　開口数

英語表記：numerical aperture

詳細

NC制御面取装置

英語表記：NC-control chamfering machine

詳細

NDウェーハ

英語表記：neutro transmutation dopingwafer

詳細

NEDIA

英語表記：Nippon Electronic Device Industry Association

詳細

NH3 窒化

英語表記：ammnium nitridation

詳細

NOR

英語表記：

詳細

NO酸窒化

英語表記：NO nitridation of silicon oxide

詳細

NO窒化

英語表記：Nitric Oxide nitridation

詳細

N型半導体とP型半導体

英語表記：

詳細

OBIC法

英語表記：OBIC : Optical Beam Induced Current

詳細

OBIRCH法

英語表記：OBIRCH method

詳細

OCR

英語表記：optical code reader

詳細

OC曲線

英語表記：Operating Characteristic curve

詳細

ODブレード

英語表記：outer diameter blade

詳細

OF加工

英語表記：Orientation Flat marking

詳細

OH基

英語表記：OH group

詳細

OPP

英語表記：Optical Precipitate Profiler

詳細

OSAT

英語表記：Outsourced Semiconductor Assembly & Test

詳細

OSF

英語表記：oxidation induced stacking fault

詳細

Overlay

英語表記：Overlay

詳細

PACE

英語表記：Plasma Assisted Chemical Etching

詳細

PBS Poly-silicon Back Seal

英語表記：PBS Poly-silicon Back Seal

詳細

PCB

英語表記：printed circuit board

詳細

PCT（プレッシャクッカー試験）

英語表記：Pressure Cooker Test

詳細

PDC

英語表記：PersonalDigitalCellulartelecommunicationsystem

詳細

PFCガス

英語表記：PFC (perfluoro-compound）gas

詳細

PGA

英語表記：Pin Grid Array

詳細

PGA（Pin Grid Array）の組立プロセス

英語表記：assembly process for PGA

詳細

PID温度制御

英語表記：PID temperature control

詳細

PIII

英語表記：Plasma Imersion Ion plantation

詳細

PLCC

英語表記：Plastic Lead Chip Carrier

詳細

PLL

英語表記：Phase Locked Loop

詳細

PLLの仕様

英語表記：PLL specifications

詳細

PPMU

英語表記：per pin measurement unit

詳細

PPS

英語表記：per pin source

詳細

PRAM

英語表記：Phase Change RAM

詳細

PRTR 環境汚染物質排出移動登録

英語表記：pollutant release and transfer register

詳細

PSA

英語表記：pressure swing adsorption

詳細

PSG

英語表記：Phosphorous Silicate Glass

詳細

PSL粒子 標準粒子

英語表記：polystylene latex particle standard particle

詳細

PUA

英語表記：percent usable area

詳細

PVAスポンジ

英語表記：poly vinyl alcohol sponge

詳細

PZT系強誘電体

英語表記：PZT family ferroelectric

詳細

Porous Law-k膜

英語表記：

詳細

Pt

英語表記：platinum

詳細

P／ｎ測定器

英語表記：P/n type measurement system

詳細

P偏光　ブルースター角入射測定方　PPB

英語表記：infrared absorption spectroscopy with P-polarized radiation at Brewster angle

詳細

QFP

英語表記：Quad Flat Package

詳細

QFP

英語表記：quad flat package

詳細

QMS (四重極質量分析)

英語表記：Q u a d r Ⅱ 0 0 1 e M a s s Spectrometer

詳細

QMS (四重極質量分析)

英語表記：Q u a d r Ⅱ 0 0 3 e M a s s Spectrometer

詳細

QMS (四重極質量分析)

英語表記：Q u a d r Ⅱ 0 0 2 e M a s s Spectrometer

詳細

QMS (四重極質量分析)

英語表記：Q u a d r Ⅱ 0 0 4 e M a s s Spectrometer

詳細

R-SF

英語表記：Ring Stacking Fault

詳細

RAM

英語表記：reliability availability maintainability

詳細

RCA洗浄

英語表記：RCA Cleaning

詳細

RCA洗浄

英語表記：RCA Cleaning

詳細

RCA洗浄法

英語表記：RCA clean

詳細

RC線路

英語表記：RC transmission line

詳細

RC遅延

英語表記：RC delay time

詳細

RF型加速器　RFQ型加速器

英語表記：radio frequency linac(linear accelerator) radio frequency quadrapole accelerator

詳細

RIBE

英語表記：Reactive Ion Beam Etching

詳細

RIE

英語表記：Reactive Ion Etching

詳細

RIE（反応性イオンエッチング）

英語表記：Reactive Ion Etching

詳細

ROMテストデータメモリ　データメモリ

英語表記：ROM test data memory data memory

詳細

RPT

英語表記：Raw Process Time

詳細

RTA(高温短時間アニール)

英語表記：Rapid Thermal Anneal

詳細

RTL

英語表記：Resister Transfer Level

詳細

RTP

英語表記：Rapid Thermal Process

詳細

RTP

英語表記：rapid thermal process

詳細

RTP酸化

英語表記：oxidation by Rapid Thermal Processmg

詳細

RTP酸化

英語表記：oxidation by Rapid Thermal Processmg

詳細

ReRAM

英語表記：Resistive Random Access Memory

詳細

Ru、Ru0 2

英語表記：ruthenium, ruthenium dioxide

詳細

SACエッチング

英語表記：self-aligned contact etching

詳細

SBT系強誘電体

英語表記：SBT family ferroelectric

詳細

SC1

英語表記：Standard Clean 1

詳細

SC2

英語表記：Standard Clean 2

詳細

SCALPEL

英語表記：Scattering with Angular Limitation in Projection Electron-beam Lithography

詳細

SCM（サプライチェーン管理）

英語表記：Supply Chain Management

詳細

SDI　FI

英語表記：silt density index fouling index

詳細

SEAJ

英語表記：Semiconductor Equipment Association of Japan

詳細

SECS

英語表記：SEMI Equipment Communications Standard

詳細

SECS

英語表記：semiconductor equipment community standard

詳細

SEMI

英語表記：Semiconductor Equipment and Materials Institute

詳細

SEMI S2

英語表記：SEMI S2

詳細

SEMI S8

英語表記：SEMI S8

詳細

SEMIスタンダード

英語表記：semi standards

詳細

SEM法

英語表記：SEM : Scanning Electron Microscopy

詳細

SIMOX

英語表記：separartion by implanted oxygen

詳細

SIMOX

英語表記：separartion by implanted oxygen

詳細

SIMOX SOIウェーハ

英語表記：separation by implantaion of oxygen SOI wafer

詳細

SMD(表面欠陥)

英語表記：Surface Micro Defect

詳細

SMIF

英語表記：standard mechanical interface

詳細

SOD塗布

英語表記：SOD塗布

詳細

SOG

英語表記：spin-on-glass

詳細

SOI

英語表記：Silicon on Insulator

詳細

SOI

英語表記：silicon on insulator

詳細

SOI技術

英語表記：Silicon On Insulator Technology

詳細

SOI結晶

英語表記：Silicon on Insulator

詳細

SOP/SOJ

英語表記：Small Outline Package/ Small Outline J-leaded package

詳細

SOS

英語表記：Silicon On Sapphire

詳細

SPM洗浄

英語表記：sulfuric acid-hydrogen peroxide mixture cleaning

詳細

SPM法

英語表記：SPM method

詳細

SRAM

英語表記：Static Random Access Memory

詳細

SR露光装置　SOR露光装置

英語表記：synchtionrotron radiation

詳細

SSIS

英語表記：Society of Semiconductor Industry Specialists

詳細

STA

英語表記：Static Timing Analysis

詳細

STARC

英語表記：Semiconductor Technology Academic Research Center

詳細

STCセル構造

英語表記：STC cell structure

詳細

STI

英語表記：Shallow Trench Isolation

詳細

STIR

英語表記：site total indication reading

詳細

STIエッチング

英語表記：STI etching

詳細

Schmid因子

英語表記：Schmid factor

詳細

Seccoエッチング

英語表記：Secco etching

詳細

Si/Al界面

英語表記：Si/Al interface

詳細

Sirtl エッチング

英語表記：Sirtle etching

詳細

Siアイランド

英語表記：Si island

詳細

Si異方性エッチング

英語表記：Si anisotropic etching

詳細

Si高抵抗層析出

英語表記：Si precipitates with high resistance

詳細

Si酸化

英語表記：Silicon Oxidation

詳細

Si酸窒化

英語表記：nitridation of Silicon oxide

詳細

Si窒化

英語表記：Silicon nitridation

詳細

Sパラメータ

英語表記：S parameter

詳細

Sボンド　S字ボンド

英語表記：S shape bond

詳細

T/F（トリムアンドフォーム）

英語表記：trim and form

詳細

T/F金型

英語表記：Trimming and Forming die

詳細

T/F装置

英語表記：Trimming and Forming equipment

詳細

TABテープ

英語表記：Tape Automated Bonding tape

詳細

TAT

英語表記：turn-around-time

詳細

TCP

英語表記：Tape Carrier Package

詳細

TCP/IP

英語表記：Transmission Control Protocol/Internet Protocol

詳細

TCT（温度サイクル試験）

英語表記：Temperature Cycling Test

詳細

TDDB

英語表記：Time Dependent Dielectric Breakdown

詳細

TDDB試験　酸化膜経時破壊試験

英語表記：time dependent dielectric breakdown

詳細

TDR　キャリブレーション

英語表記：time domain refractometry calibration

詳細

TDS 全蒸発残留物

英語表記： total dissolved solid

詳細

TED　BED

英語表記：transient enhanced diffusion boron enhanced diffusion

詳細

TEG

英語表記：test elementary group

詳細

TEG

英語表記：Test Element Group: TEG

詳細

TEGを用いた信頼性試験

英語表記：reliability test using TEG (Test Element Group)

詳細

TEM法

英語表記：TEM: Transmission Electron　Microscopy

詳細

TEOS

英語表記：tetra ethoxy silane

詳細

TEOS -03 CVD

英語表記：TEOSー03 CVD

詳細

TEOS-O₃ CVD

英語表記：TEOS-O3 atmospheric pressure CVD

詳細

THB（高温高湿バイアス試験）

英語表記：Temperature Humidity Bias test

詳細

THB試験

英語表記：THB test

詳細

TIR

英語表記：Total Indicator Reading

詳細

TIR　GFLR　GF3R

英語表記：total indicator reading　gloval front least-squares range　gloval front three points range

詳細

TMAH

英語表記：tetramethyl ammonium hydroxide

詳細

TMP

英語表記：tester management processor

詳細

TOC 全有機炭素

英語表記：total organic carbon

詳細

TOC計 全有機炭素計

英語表記：total organic carbon analyzer

詳細

TOX 全有機ハロゲン化合物

英語表記：total organic halogen

詳細

TTLアライメント

英語表記：through-the-lens alignment

詳細

TTLオートフォーカス

英語表記：through-the-lens auto focusing

詳細

TTRアライメント

英語表記：through-the-reticle alignment

詳細

TTV

英語表記：total thickness variation

詳細

Ti制御　Tiモニタ　ジャンクション温度制御

英語表記：Ti control Ti monitor junction temperature controll

詳細

ULPAフィルタ

英語表記：ultra low penetration air filter ULPA filter

詳細

UNIBOND

英語表記：UNIBOND

詳細

UP TIME

英語表記：up time

詳細

UPH

英語表記：unit per hour

詳細

UVべーク

英語表記：UV bake

詳細

UVキュア

英語表記：UV cure

詳細

UVドライ酸化

英語表記：UV dry oxidation

詳細

UV乾燥機

英語表記：UV oven

詳細

UV照射装置

英語表記：UV irradiatiion equipment

詳細

UV洗浄

英語表記：ultra-violet light cleaning

詳細

VSWR測定

英語表記：VSWR measurement

詳細

Voronkov

英語表記：Voronkov

詳細

Vth

英語表記：threshold voltage

詳細

Vt差リファレンス

英語表記：reference voltage source based on Vt difference

詳細

V／Iソース

英語表記：V/I source

詳細

Vシリーズモデル

英語表記：Vseries MODEM

詳細

WAN

英語表記：wide area network

詳細

WIP

英語表記：work in process

詳細

WIPトラッキング

英語表記：WIP tracking

詳細

WSA

英語表記：wafer surface analysis

詳細

Wrightエッチング

英語表記：Wright etching

詳細

X-Yステージ　X-Yテーブル

英語表記：X-Y stage　X-Y table

詳細

X-Y軸位置決め精度

英語表記：X-Y axis positioning accuracy

詳細

XYコーディネータ

英語表記：XY coordinator

詳細

XYステージ

英語表記：XY stage

詳細

X線マスク

英語表記：X-ray mask

詳細

X線リソグラフィ

英語表記：X-ray lithography

詳細

X線吸収端微細構造（XANES）

英語表記：X-ray Absorption Near-Edge Structure (XANES)

詳細

X線吸収微細構造（XAFS）

英語表記：X-ray absorption fine structure (XAFS)

詳細

X線源

英語表記：X—ray source

詳細

X線光電子分光法

英語表記：XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy

詳細

X線光電子分光法　XPS

英語表記：X-ray photoelectron spectroscopy

詳細

X線照射ダメージ

英語表記：X-ray irradiation damage

詳細

X線露光装置

英語表記：X-ray aligner

詳細

YAGレーザ

英語表記：YAG laser

詳細

Z-θステージ

英語表記：Z-θstage

詳細

Zステージ

英語表記：Z stage

詳細

Z軸コントロール精度

英語表記：Z axis positioning accuracy

詳細

inｰsitu

英語表記：in-situ

詳細

n型半導体

英語表記：n-type semiconductor

詳細

pH測定

英語表記：pH measurement

詳細

pH調整剤注入装置

英語表記：pH adjustment equipment

詳細

pH調整装置

英語表記：pH control equipment

詳細

p型半導体

英語表記：p-type semiconductor

詳細

swp (表面波プラズマ)

英語表記：Surface Wave Plasma

詳細

tr　ts

英語表記：rise time fall time

詳細

van der Pauw法

英語表記：van der Pauw method

詳細

２極スパッタリング装置

英語表記：diode sputtering system

詳細

Ｘ線トポグラフ法　XRT

英語表記：X-ray topography

詳細

Ｘ線回析法

英語表記：X-ray diffractometry

詳細

Ｘ線検査装置

英語表記：X-ray inspection equipment

詳細

Ｘ線透視法

英語表記：radiographic technique

詳細

ｉ型半導体　真性半導体

英語表記：i-type semiconductor

詳細

うねり

英語表記：waviness

詳細

じょ限量

英語表記：allowable concentration

詳細

すべり系、すべり面

英語表記：slip system、slip planc

詳細

そり

英語表記：warp

詳細

そり

英語表記：sori, bow, warp

詳細

そり

英語表記：sori

詳細

そり制御装置

英語表記：sori control system

詳細

たれ

英語表記：wire sagging

詳細

といし軸

英語表記：wheel spindle

詳細

と粒

英語表記：abrasive grains

詳細

と粒率

英語表記：grain volume percentage

詳細

ならし成形

英語表記：mold conditioning process

詳細

ぬれ性

英語表記：wettability

詳細

はがれ　圧着はがれ

英語表記：peel off bond lift off non stick

詳細

はんだめっき

英語表記：solder plating

詳細

はんだディップ

英語表記：solder dipping

詳細

はんだディップ装置　

英語表記：solder dipping equipment

詳細

はんだボール

英語表記：solder ball

詳細

はんだボール搭載装置

英語表記：solder ball mounter

詳細

はんだメッキ装置

英語表記：solder plating

詳細

はんだ材料

英語表記：Solder Material

詳細

はんだ浸し試験装置

英語表記：solder dip test system

詳細

はんだ接合部疲労解析

英語表記：fatigue simulation of solder joints

詳細

ふちだれ現象

英語表記：dull edge

詳細

ふっ酸モニタ

英語表記：hydrogen fluoride monitor

詳細

ふっ酸過酸化水素洗浄液

英語表記：hydrofluoric acid hydrogen peroxide mixture cleaning solution

詳細

ふっ酸回収装置

英語表記：hydrofluoric acid regenerator

詳細

ふっ酸添加純水

英語表記：HF added pure water

詳細

ふっ素イオン計

英語表記：fluoride ion monitor

詳細

ふっ素回収装置

英語表記：fluoride reclamation equipment

詳細

ふっ素廃水処理装置

英語表記：fluorine waste water treatment equipment

詳細

へキサメチルジシラザン

英語表記：Hexamethyldisilazane :HMDS

詳細

へテロダイン検出

英語表記：heterodyne alignment

詳細

べーキング

英語表記：baking

詳細

べース樹脂

英語表記：base resin

詳細

べき乗則

英語表記：power law

詳細

べクタ走査

英語表記：vector scan

詳細

めん棒

英語表記：swabs

詳細

るつぼ

英語表記：crucible

詳細

るつぼ移動ストローク

英語表記：crucible lift travel

詳細

るつぼ移動速度

英語表記：crucible lift rate

詳細

るつぼ回転速度

英語表記：crucible rotation rate

詳細

るつぼ駆動機構

英語表記：crucible lift mechanism

詳細

るつぼ軸

英語表記：crucible shaft

詳細

ろ材

英語表記：filter media

詳細

ろ材

英語表記：filter media

詳細

ろ材誘電型エアフィルタ

英語表記：charged-media electric air filter

詳細

アークチャンバ

英語表記：arc chamber

詳細

アークランプ　アニール装置

英語表記：arc lamp annealer

詳細

アース棒

英語表記：earth bar grounding bar

詳細

アイススクラブ洗浄

英語表記：ice scrubber cleaning

詳細

アイダイアグラムマスクテスト

英語表記：eye diagram mask test

詳細

アイランド　ダイバッド

英語表記：die pad

詳細

アイランドダウン　ディプレス

英語表記：depressed die pad

詳細

アイリッド

英語表記：eyelid

詳細

アインシュタインの関係式

英語表記：Einstein's equation

詳細

アウタリード

英語表記：outer lead

詳細

アウタリードボンダ

英語表記：Outer Lead bonder

詳細

アウタリードボンディング

英語表記：outer lead bonding

詳細

アウタリードボンディング　アウタリードボンダ

英語表記：outer lead bonding outer lead bonder

詳細

アウトガス

英語表記：outgassing

詳細

アクティブダンパ

英語表記：active amper

詳細

アスペクト比

英語表記：aspect ratio

詳細

アスペクト比

英語表記：aspect ratio

詳細

アスペクト比

英語表記：Aspect Ratio

詳細

アズカットウェーハスライドウェーハ

英語表記：as-cut wafer sliced wafer

詳細

アッシング

英語表記：ashing

詳細

アッシング（灰化）

英語表記：Ashing

詳細

アッシング機構

英語表記：ashing mechanism

詳細

アッシング装置

英語表記：ashing system

詳細

アトミック･レイヤー･エッチング

英語表記：Atomic Layer Etching

詳細

アトムプローブ電界イオン顕微鏡

英語表記：Atom Probe Field Ion Micro­scope: APFIM

詳細

アドヒージョンユニット

英語表記：adhesion unit

詳細

アドレスサイズ

英語表記：address unit

詳細

アドレススクランブル機能

英語表記：address scramble function

詳細

アドレスマルチ機能

英語表記：address multiplex function

詳細

アナログ

英語表記：Analog

詳細

アナログ・テジタル混載

英語表記：LSI(analog・digital mixed LSI)

詳細

アニーリング（熱処理）

英語表記：annealing

詳細

アニール

英語表記：anneal

詳細

アニール

英語表記：anneal

詳細

アニール(熱処理)

英語表記：Annealing

詳細

アニール温度

英語表記：annealing temperature

詳細

アニール均一性

英語表記：annealing uniformity

詳細

アニール室

英語表記：annealing chamber

詳細

アニオン交換樹脂

英語表記：anion exchange resin

詳細

アニオン交換樹脂塔

英語表記：anion exchanger

詳細

アパーチャ

英語表記：aperture

詳細

アフターコロージョン

英語表記：アフターコロージョン

詳細

アフタキュア　ポストキュア

英語表記：after cure post cure

詳細

アフタコロージョン

英語表記：after-corrosion

詳細

アモーファス

英語表記：Amorphous

詳細

アモルファス

英語表記：amorphous

詳細

アモルファスフロロカーボン

英語表記：a-C:F:amorphous fluorocarbon

詳細

アライメント

英語表記：alignment

詳細

アライメントオフセット

英語表記：alignment offset

詳細

アライメントスコープ

英語表記：alignment scope

詳細

アライメントステージ

英語表記：alignment stage

詳細

アライメントマーク　合せマーク

英語表記：alignment mark

詳細

アライメント精度

英語表記：alignment accuracy

詳細

アライメント精度

英語表記：alignment accuracy

詳細

アライメント精度　位置合せ精度

英語表記：alignment accuracy

詳細

アルゴリズミック パターン発生器　ALPG

英語表記：algorithmic pattern 　genetator

詳細

アルミ

英語表記：alminium

詳細

アルミナ基板

英語表記：alumina substrate

詳細

アルミナ砥粒

英語表記：alumina abrasive

詳細

アルミニウムワイヤ

英語表記：aluminum wire

詳細

アルミニウム配線

英語表記：aluminum conductor

詳細

アルミ腐食

英語表記：aluminum corrosion

詳細

アレニウスグラフ　アレニウスプロット

英語表記：Arrhenius graph Arrhenius plot dependence of life time on temperature plot

詳細

アレニウスプロット

英語表記：Arrhenius plot

詳細

アレニウス則

英語表記：Arrhenius model

詳細

アロイスパイク

英語表記：alloy spike

詳細

アンスタッカ

英語表記：unstacker

詳細

アンダーフィル

英語表記：underfill

詳細

アンダエッチング

英語表記：under etching

詳細

アンダエッチング

英語表記：under-etching

詳細

アンダカット　サイドエッチング

英語表記：undercut side etching

詳細

アンチモン

英語表記：antimony

詳細

アンテナ比

英語表記：antenna retio

詳細

アンローダ

英語表記：unloader

詳細

イオナイザ

英語表記：ionizer

詳細

イオンアシスト反応

英語表記：lon¯assisted reactions

詳細

イオンインプランテーション

英語表記：ion implantation

詳細

イオンエネルギー分析

英語表記：ion energy analysis

詳細

イオンクロマトグラフ

英語表記：ion chromato graph

詳細

イオンビーム

英語表記：ion beam

詳細

イオンビーム　 スパッタリング装置

英語表記：ion beam sputtering system

詳細

イオンビームエッチング装置

英語表記：ion beam etching equipment

詳細

イオンビームエッチング装置　イオンミリング装置

英語表記：ion beam etching system ion milling system

詳細

イオンビームリソグラフィ

英語表記：ion beam lithography

詳細

イオンプレーティング装置

英語表記：ion plating system

詳細

イオンマイクロプローブ分析法　IMMA

英語表記：ion mocro probe mass analysis method

詳細

イオンミリング

英語表記：ion milling

詳細

イオン温度

英語表記：Ionic temperature

詳細

イオン化

英語表記：ionization

詳細

イオン化断面積

英語表記：Ionization cross section

詳細

イオン源

英語表記：ion source

詳細

イオン源

英語表記：ion source

詳細

イオン交換樹脂

英語表記：ion exchange resin

詳細

イオン交換樹脂交換容量 イオン交換容量

英語表記：ion exchange capacity

詳細

イオン交換装置

英語表記：ion exchange equipment

詳細

イオン交換膜

英語表記：ion exchange membrance

詳細

イオン散乱過程

英語表記：ion scattering

詳細

イオン照射

英語表記：ionic bombardment

詳細

イオン注入

英語表記：Ion Implantation

詳細

イオン注入

英語表記：ion implantation

詳細

イオン注入　イオン打込み

英語表記：ion implantation

詳細

イオン注入ダメージ

英語表記：Implant Damage

詳細

イオン注入プロセス

英語表記：ion implantation process

詳細

イオン注入応用技術

英語表記：ion beam application

詳細

イオン注入過程

英語表記：ion implantation process

詳細

イオン注入装置

英語表記：Ion Implantation System　

詳細

イオン注入装置

英語表記：ion implanter

詳細

イオン注入誘起欠陥

英語表記：ion-induced lattice defect

詳細

イオン電流密度

英語表記：ion current density

詳細

イオン分解能

英語表記：mass resolution

詳細

イナージェンガス消火設備

英語表記：inergen gas extinguishing system

詳細

イマージョンレンズ

英語表記：Immersion lens

詳細

イメージセンサテストシステム

英語表記：image sensor test system

詳細

イメージプロセッサユニット　IPU

英語表記：image processor unit

詳細

イメージリバーサルプロセス

英語表記：Image reversal process

詳細

イルミネータ

英語表記：illuminator

詳細

インカ　マーカ

英語表記：inker marker

詳細

インカ（マーカ）

英語表記：inker (marker)

詳細

インクジェット式マーキング装置

英語表記：inkjet printer

詳細

インクマーク

英語表記：ink marking

詳細

インクマーク装置

英語表記：ink marker

詳細

インゴット

英語表記：ingot

詳細

インゴット回転式切断機

英語表記：rotating ingot slicing machine

詳細

インゴット端面形状測定装置

英語表記：ingot end face bow measuring system

詳細

インサートリング　フロッグリング　インターフェースリング　ハウジング　ポゴタワー

英語表記：insert ring frog ring interface ring housing pogo tower

詳細

インジェクタノズル

英語表記：injector nozzle

詳細

インスペクション

英語表記：inspection

詳細

インターナルギア 内歯歯車

英語表記：internal gear

詳細

インタフェースタイミング

英語表記：interface timing

詳細

インタフェースユニット

英語表記：interface unit

詳細

インデクサ

英語表記：indexer

詳細

インデクサ　フィーダ

英語表記：indexer

詳細

インデックス

英語表記：index

詳細

インデックスタイム

英語表記：index time

詳細

インデックス送り

英語表記：indexing

詳細

インデックス量

英語表記：index amount

詳細

イントリンシック

英語表記：intrinsic gettering

詳細

イントリンシックゲッタリング

英語表記：Intrinsic Gettering, Internal Gettering: IG

詳細

インナリード

英語表記：inner lead

詳細

インナリード／アウタリード

英語表記：inner-lead/outer-lead

詳細

インナリードボンダ

英語表記：Inner Lead bonder

詳細

インナリードボンディング

英語表記：inner lead bonding

詳細

インナリードボンディング　インナリードボンダ

英語表記：inner lead bonding inner lead bonder

詳細

インバータ（Inverter）回路

英語表記：

詳細

インフィード研削

英語表記：infeed grinding

詳細

インプリント特性

英語表記：imprint characteristics

詳細

インプロセスゲージ　IPG

英語表記：in-process gauge

詳細

インライン

英語表記：in line

詳細

インラインガスフィルタ

英語表記：in-line gas filter

詳細

インラインシステム

英語表記：inline system

詳細

インラインパーティクノレモニタ

英語表記：inline depth detecting monitor

詳細

インラインヒータ

英語表記：inline heater

詳細

インライン深さ検出モニタ

英語表記：inline depth detecting monitor

詳細

ウィッキング

英語表記：wicking

詳細

ウィッキング

英語表記：wicking

詳細

ウインドウコンパレータ

英語表記：window comparator

詳細

ウェーハ

英語表記：wafer

詳細

ウェーハ

英語表記：wafer

詳細

ウェーハ シッピングボックス（出荷容器）

英語表記：wafer shipping box

詳細

ウェーハID

英語表記：wafer ID

詳細

ウェーハ　自動移動装置

英語表記：wafer automatic transfer system

詳細

ウェーハ・ローディング・アンローディング

英語表記：wafer loading/ unloading

詳細

ウェーハアライメント　

英語表記：wafer alignment

詳細

ウェーハエンド

英語表記：wafer end

詳細

ウェーハカセット

英語表記：wafer cassette

詳細

ウェーハクーリング ステージ

英語表記：wafer cooling stage

詳細

ウェーハスケーリング

英語表記：wafer scaling

詳細

ウェーハステージ

英語表記：wafer stage

詳細

ウェーハチェンジャ

英語表記：wafer changer

詳細

ウェーハチャック

英語表記：wafer chuck

詳細

ウェーハツイスト

英語表記：wafer twist

詳細

ウェーハテーブル　吸着ステージチャック

英語表記：wafer table chuck

詳細

ウェーハテープ

英語表記：wafer tape

詳細

ウェーハテープホットブロー

英語表記：wafer tape hot blow

詳細

ウェーハティルト

英語表記：wafer tilt

詳細

ウェーハティルト　ウェーハレベリング

英語表記：wafer tilting wafer leveling

詳細

ウェーハテスト　ウェーハソート　プローブテスト　EDSテスト

英語表記：wafer test wafer sort probe test electrical die sot test

詳細

ウェーハディスク

英語表記：wafer disk

詳細

ウェーハディストーション

英語表記：wafer distortion

詳細

ウェーハフレーム　ウェーハリング

英語表記：wafer frame

詳細

ウェーハフレームカセット

英語表記：wafer frame cassette

詳細

ウェーハプローバ　プローバ

英語表記：wafer prober

詳細

ウェーハホイスト

英語表記：wafer hoist

詳細

ウェーハマウンタ

英語表記：wafer mounter

詳細

ウェーハマップ

英語表記：wafer map

詳細

ウェーハレベルCSP

英語表記：wafer level CSP

詳細

ウェーハレベルバーンイン装置　WLBI装置　ウェーハバーンイン装置

英語表記：wafer level burn-in system wafer burn-in system

詳細

ウェーハレベルパッケージング

英語表記：wafer level packaging

詳細

ウェーハローテーション

英語表記：wafer rotation error

詳細

ウェーハ異物検査装置

英語表記：wafer inspection equipment

詳細

ウェーハ間均一性

英語表記：wafer to wafer uniformity

詳細

ウェーハ間注入均一性

英語表記：wafer-to-wafer uniformity

詳細

ウェーハ形状認識

英語表記：wafer profile recognition

詳細

ウェーハ内注入均一性

英語表記：dose uniformity

詳細

ウェーハ表面検査

英語表記：wafer surface inspection

詳細

ウェーブガイド　分析官

英語表記：wave guide analyzing chamber

詳細

ウェーブフォームアナライザ　WFA　ウェーブトレーサ

英語表記：wave form analyzer wave tracer

詳細

ウェッジボンディング　ウェッジボンダ

英語表記：wedge bonding wedge bonder

詳細

ウェットエッチング

英語表記：wetetching

詳細

ウェットエッチング機構

英語表記：wet etching mechanism

詳細

ウェットエッチング装置

英語表記：wet etching system

詳細

ウェットエッチング装置

英語表記：wet etching equipment

詳細

ウェット型

英語表記：wet type

詳細

ウェット式レジスト剥離装置

英語表記：wet type resist stripping system

詳細

ウェハプローバ

英語表記：wafer prober

詳細

ウェハ加工

英語表記：wafer marking

詳細

ウェハ固定

英語表記：wafer chucking

詳細

ウェハ冷却機構

英語表記：wafer cooling structure

詳細

ウェル

英語表記：Well

詳細

ウェル

英語表記：well

詳細

ウェル形成

英語表記：well fabrication

詳細

ウエートアジャスタ

英語表記：wait adjuster

詳細

ウエーハピッチ

英語表記：wafer pitch

詳細

ウエーハホルダ

英語表記：wafer holder

詳細

ウエーハ加熱機構

英語表記：wafer heating mechanisum

詳細

ウエーブスキャン

英語表記：wave scan

詳細

ウエッジツール

英語表記：wedged tool

詳細

ウエットエッチング

英語表記：Wet Etching

詳細

ウエハプロセス総論

英語表記：wafer process overview

詳細

ウォーターバック方式

英語表記：water-back system

詳細

ウォーターマーク

英語表記：water mark

詳細

ウォーターマーク

英語表記：water mark

詳細

ウォータポリシング　水研磨

英語表記：water polishing

詳細

ウォールアングル　ショルダアングル　テーパ角

英語表記：wall angle shoulder angle taper angle

詳細

エアーソルダ

英語表記：air soldering

詳細

エアーバック方式

英語表記：air-back system

詳細

エアアイソレーション

英語表記：air isolation

詳細

エアカーテン

英語表記：air curtain

詳細

エアシャワ

英語表記：air shower

詳細

エアタオル

英語表記：air towel

詳細

エアテンション

英語表記：air tension

詳細

エアフロー

英語表記：air flow

詳細

エアベント

英語表記：air vent

詳細

エアロック

英語表記：air lock

詳細

エアワッシャ

英語表記：air washer

詳細

エア加圧方式

英語表記：air pressure type

詳細

エキシマレーザ

英語表記：excrmer laser

詳細

エキシマレーザ露光

英語表記：excimer laser exposure

詳細

エキストリンシックゲッタリング

英語表記：Extrinsic Gettering : IG

詳細

エキスバンドステージ

英語表記：expand stage

詳細

エキスバンド装置　エキスパンド率

英語表記：expansion ratio

詳細

エクステンション

英語表記：Extension

詳細

エクストリンシックゲッタリング

英語表記：extrinsic gettering

詳細

エクストリンシックゲッタリング

英語表記：Extrinsic Gettering, External Gettering: IG

詳細

エジェクタ

英語表記：ejector

詳細

エックス線光電子分光法

英語表記：X-ray Photoelectron Spectroscopy

詳細

エッジ　エクスクルージョン

英語表記：edge exclusion

詳細

エッジイクスクルージョン

英語表記：edge exclusion

詳細

エッジコレクション

英語表記：edge correction

詳細

エッジセンサ

英語表記：edge sensor

詳細

エッジセンサ

英語表記：edge sensor

詳細

エッジリンス　エッジクリーン

英語表記： edge bead remover E.B.R.

詳細

エッチストップ

英語表記：ecth stop

詳細

エッチストップ

英語表記：etch stop

詳細

エッチストップ

英語表記：etch stop

詳細

エッチドウェーハ　エッチングウェーハ

英語表記：etched wafer etching wafer

詳細

エッチバック

英語表記：etchi bakku

詳細

エッチバック

英語表記：etch back

詳細

エッチバック

英語表記：Etch Back

詳細

エッチング

英語表記：Etching

詳細

エッチング

英語表記：etching

詳細

エッチング

英語表記：etching

詳細

エッチングプロセス

英語表記：etching process

詳細

エッチングリードフレーム

英語表記：etching lead-frame

詳細

エッチング開口率

英語表記：exposed area ratio

詳細

エッチング均一性

英語表記：etch uniformity

詳細

エッチング均一性

英語表記：etching uniformity

詳細

エッチング残渣

英語表記：etch residue

詳細

エッチング室

英語表記：etching chamber

詳細

エッチング終点検出

英語表記：etching end point detection

詳細

エッチング終点検出機構

英語表記：etching end-point detection

詳細

エッチング選択比　エッチング選択制

英語表記：etch selectivity

詳細

エッチング装置

英語表記：etching system

詳細

エッチング装置

英語表記：etching equipment

詳細

エッチング速度

英語表記：etch rate

詳細

エッチング特性

英語表記：etching characteristics

詳細

エッチング反応生成物

英語表記：creative product by etching reaction

詳細

エネルギー　コンタミネーション

英語表記：energy contamination

詳細

エネルギー分散X線分光法

英語表記：energy dispersive X-ray spectroscopy

詳細

エピタキシ

英語表記：Epitaxy

詳細

エピタキシャルウエーハ

英語表記：epitaxial wafer

詳細

エピタキシャル成長

英語表記：epitaxial growth

詳細

エピタキシャル成長機構

英語表記：epitaxial growth mechanism

詳細

エピタキシャル成長装置

英語表記：epitaxial growth systems

詳細

エピタキシャル成長装置

英語表記：epitaxial growth system

詳細

エピタキシャル層欠陥

英語表記：epitaxial defect

詳細

エピタキシャル膜厚測定方法

英語表記：measurement method of epitaxial layer thickness

詳細

エミッション顕微鏡法

英語表記：Emission microscopy

詳細

エミッタ・ベース・コレクタ

英語表記：

詳細

エリプソメトリ膜厚測定

英語表記：elipsometry thickness measurement

詳細

エレクトレットエアフィルタ

英語表記： electric air filter

詳細

エレクトロマイグレーション

英語表記：electromigration

詳細

エレクトロマイグレーション

英語表記：electromigration

詳細

エレクトロマイグレーション(EM)

英語表記：Electro-Migration

詳細

エレクトロンサプレッサ　バイアス

英語表記：electron suppressor bias

詳細

エレクトロンフラッドガン

英語表記：electron flood gun

詳細

エレベーテッド・ソース・ドレイン

英語表記：Elevated Souece Drain

詳細

エロージョン

英語表記：erosion

詳細

エロージョン

英語表記：erosion

詳細

エンドステーション

英語表記：end-station

詳細

エンドレス　バンドソー

英語表記：endless band saw

詳細

オージェ電子出現電位分光法

英語表記：auger electron appearance spectroscopy

詳細

オージェ電子分光(AES)

英語表記：Auger Electron Spectroscopy

詳細

オージェ電子分光法

英語表記：Auger Electron Spectroscopy

詳細

オージェ電子分光法　AES

英語表記：auger electron spectroscopy

詳細

オーディオ信号測定機能

英語表記：audio signal measurement

詳細

オートカッタセット　オートセットアップ

英語表記：automatically cutter set automatically set-up

詳細

オートキャリブレーション機能

英語表記：automatic calibration function

詳細

オートセットアップ

英語表記：auto set up

詳細

オートダンパ　カップ内排気

英語表記：automatic damper sequential damper exhaust for coater exhaust for developer

詳細

オートドーピング

英語表記：autodoping

詳細

オートドーピング

英語表記：autodoping

詳細

オーバ　ポリッシュ

英語表記：over polish

詳細

オーバーサンプル型D/A変換器

英語表記：over-sampled D/A converter

詳細

オーバーポリッシング

英語表記：over polishing

詳細

オーバエッチング

英語表記：over-etching

詳細

オーバサンプルA/D変換器

英語表記：over sample A/D converter

詳細

オーバサンプル型D/A変換器

英語表記：Oversampled D/A Converter

詳細

オーバトラベル　オーバドライブ　くい込み量

英語表記：over travel over drive

詳細

オーバドライブ

英語表記：over drive

詳細

オーバハング

英語表記： overhang

詳細

オーバフローリンス

英語表記：over flow rinse

詳細

オーバヘッド時間

英語表記：overhead time

詳細

オーバライド

英語表記：over ride

詳細

オーブン温度分布　オーブン温度均一性

英語表記：baking temperature uniformity

詳細

オープンカセット　O.C.

英語表記：open cassette

詳細

オープンショートチェッカ

英語表記：open short checker

詳細

オープンマニュファクチャリング

英語表記：open manufacturing

詳細

オーミックコンタクト

英語表記：Ohmic contact

詳細

オールメタル製ガス供給システム

英語表記：all metal gas supplying system

詳細

オゾンアッシング装置

英語表記：ozone asher

詳細

オゾンモニタ

英語表記：ozone monitor

詳細

オゾン酸化

英語表記：ozone oxidation

詳細

オゾン水

英語表記：ozonized water

詳細

オゾン水

英語表記：ozone water

詳細

オゾン層破壊

英語表記：ozone depletion

詳細

オゾン添加超純水

英語表記：ozonized ultrapure water

詳細

オファクシスアライメント

英語表記：off axis alignment

詳細

オフアクシスアライメント

英語表記：off-axis alignment

詳細

オフセット

英語表記：offset

詳細

オフセット

英語表記：offset

詳細

オフセットコントロール

英語表記：offset control

詳細

オフセット印刷機

英語表記：offset printing press

詳細

オフセンタ

英語表記：off center

詳細

オフライン処理

英語表記：off line process

詳細

オペレーションボックス

英語表記：operation box

詳細

オリエンタ

英語表記：orienter

詳細

オリエンテーションフラット　オリフラ

英語表記：orientation flat

詳細

オリフラ合わせ機構

英語表記：orientation flat aligner

詳細

オリフラ整合装置

英語表記：orientation flat arrange equipment

詳細

オンアクシスアライメント

英語表記：on-axis alignment

詳細

オンザフライ　リンクブロー

英語表記：on-the-fly link-blow

詳細

オンザフライスプリット　RTTC　RTWC

英語表記：on-the-fly split real time timing control real time wave control

詳細

オンライン処理

英語表記：on line process

詳細

カーケンドールボイド

英語表記：Kirkendall void

詳細

カードル

英語表記：bundled

詳細

カーフロス

英語表記：kerf loss

詳細

カーリング

英語表記：curling

詳細

カスケードドライバ

英語表記：cascaded driver

詳細

カスコード型差動増幅器

英語表記：Cascoded differential amplifier

詳細

カセットID

英語表記：cassette ID

詳細

カセット　ツー　カセット

英語表記：cassette-to-cassette handling

詳細

カセット　マガジン

英語表記：cassette　magazine

詳細

カセットトランスファ

英語表記：cassette transfer

詳細

カセットレス洗浄装置

英語表記：cassetteless wet cleaning equipment

詳細

カセット洗浄装置

英語表記：cassette cleaning equipment

詳細

カソード　ターゲット電極

英語表記：cathode　target electrode

詳細

カソードルミネッセンス法

英語表記：CL: Cathodoluminescence

詳細

カチオン交換樹脂

英語表記：cation exchange resin

詳細

カチオン交換樹脂塔

英語表記：cation exchanger

詳細

カットオフ

英語表記：cut off

詳細

カットラインチェック　カーフチェック

英語表記：kerf inspection

詳細

カップリンス

英語表記：bowl rinse

詳細

カップ温湿度調整

英語表記：cup temperatureーhumidity controller

詳細

カップ温度湿度調整

英語表記：bowl temperature and humidity control

詳細

カテゴリ　ビン

英語表記：category bin

詳細

カメラツールオフセット

英語表記：camera-tool offset

詳細

カラーフィルタ試験

英語表記：coler filter test

詳細

カラムアライメント

英語表記：column alignment

詳細

カラムコントロール

英語表記：column control

詳細

カル

英語表記：cull

詳細

カルーセル

英語表記：carousel

詳細

カレントミラー回路

英語表記：

詳細

カンチレバー

英語表記：cantilever

詳細

カンチレバープロービングカード

英語表記：cantilever probing card

詳細

ガード

英語表記：guard

詳細

ガイドローラ　ガイドプーリー

英語表記：guide roller　guide pulley

詳細

ガウシアンビーム

英語表記：Gaussian beam,叩ot beam

詳細

ガス・粒子変換

英語表記：gas to particle conversion

詳細

ガスクロマトグラフ

英語表記：gas chromatograph

詳細

ガスクロマトグラフィ質量分析計 GCｰMS

英語表記：gas chromatography mass spectrometer

詳細

ガスクロマトグラフィ質量分析法

英語表記：GC-MS: Gas Chromatography Mass Spectrometry

詳細

ガスソースMBE

英語表記：gas source MBE

詳細

ガスソース分子線エピタキシャル成長装置　MOMBE装置　CBE装置

英語表記：gas source molecular beam epitaxial growth system　metal organic molecular beam epitaxial growth system　chemical beam epitaxial system

詳細

ガスボックス

英語表記：gas box

詳細

ガス希釈器

英語表記：gas dilution system

詳細

ガス供給センタ

英語表記：total gas supply system

詳細

ガス精製装置

英語表記：gas purifier

詳細

ガス導入系

英語表記：gas feed system

詳細

ガス濃度検出器

英語表記：gas concentration sensor

詳細

ガス配管接合技術

英語表記：gas pipeline installation technology

詳細

ガス溶存水洗浄

英語表記：gas disolved water cleaning

詳細

ガス漏れ警報器

英語表記：gas leakage detector alarm

詳細

ガラスエポキシ樹脂基板

英語表記：glass epoxy resin board

詳細

ガラス基板

英語表記：glass substrate

詳細

ガラス転移点

英語表記：glass transition temperature

詳細

ガラス封止装置

英語表記：glass frit sealing equipment

詳細

キーホール

英語表記：key hole

詳細

キナルジン酸

英語表記：quinaldic acid

詳細

キネマチックカップリング

英語表記：kinematic coupling

詳細

キャドナビゲーション

英語表記：CAD navigation

詳細

キャビテーション洗浄

英語表記：cavitation jet cleaning

詳細

キャビティ

英語表記：cavity

詳細

キャピティ

英語表記：cavity

詳細

キャピラリ

英語表記：capillary

詳細

キャリーオーバ

英語表記：carry over

詳細

キャリア

英語表記：wafer carrier

詳細

キャリア

英語表記：carrier

詳細

キャリアの凍結

英語表記：carrier freeze out

詳細

キャリアガス

英語表記：carner gas

詳細

キャリブレーションボード

英語表記：calibration board

詳細

キャリヤ

英語表記：carrier

詳細

キャリヤガス

英語表記：carrier gas

詳細

キャリヤガス

英語表記：carrier gas

詳細

キャリヤサイズ

英語表記：carrier size

詳細

キャリヤテープ　ボート

英語表記：carrier tape boat

詳細

キャリヤボックス

英語表記：carrier box

詳細

キャリヤラック

英語表記：carrier rack

詳細

キュアタイム

英語表記：curing time

詳細

キュア装置

英語表記：curing oven

詳細

キレート剤

英語表記：chelate agent

詳細

キレート剤添加洗浄薬品

英語表記：chelating agent added cleaning chemical

詳細

キレート樹脂吸着塔

英語表記：chelate resin column

詳細

ギャップフィル

英語表記：gap fill

詳細

クーリングステージ

英語表記：cooling stage

詳細

クーリングプレート

英語表記：chill plate

詳細

クーロン効果

英語表記：Coulomb interaction

詳細

クーロン散乱

英語表記：Coulomb scattering

詳細

クイックコネクタ

英語表記：quick connector quick disconnecting coupling

詳細

クイックダンプリンス

英語表記：quick dump rinse

詳細

クエン酸洗浄

英語表記：citric acid cleaning

詳細

クヌーセン　セル

英語表記：Knudsen cell

詳細

クヌッセンセル

英語表記：knudsen cell

詳細

クラスタ

英語表記：cluster

詳細

クラスタ

英語表記：cluster

詳細

クラスタ・イオンビーム蒸着装置

英語表記：ionized cluster beam evaporation system

詳細

クラスタツール

英語表記：cluster tool

詳細

クラック

英語表記：crack

詳細

クラッシュフォーミング

英語表記：crash forming

詳細

クラブ形状

英語表記：club shape

詳細

クリードラフトチャンバ

英語表記：clean draft chamber

詳細

クリープフィード研削

英語表記：creepfeed grinding

詳細

クリーンエレベータ

英語表記：clean elevator

詳細

クリーンチューブシステム CTS

英語表記：clean tube system CTS

詳細

クリーントイレ

英語表記：clean toilet

詳細

クリーントンネル

英語表記：clean tunnel

詳細

クリーンドライエア

英語表記：clean dried air

詳細

クリーンブース

英語表記：clean booth

詳細

クリーンベンチ 清浄作業台

英語表記：clean bench clean work station

詳細

クリーンペーパー

英語表記：clean paper

詳細

クリーンルーム

英語表記：clean room

詳細

クリーンロッカー

英語表記：clean locker

詳細

クリーンロボット

英語表記：clean robot

詳細

クリーン手洗器

英語表記：clean hand washer

詳細

クレータリング

英語表記：cratering

詳細

クレイドル

英語表記：cradle

詳細

クローズド システム

英語表記：closed system

詳細

クローズド マニュファクチャリング

英語表記：closed manufacturing

詳細

クロスオーバ

英語表記：cross over

詳細

クロスコンタミネーション

英語表記：cross contamination

詳細

クロスコンタミネーション

英語表記：cross contamination

詳細

クロストーク

英語表記：crosstalk

詳細

クロッキング方式

英語表記：

詳細

クロマ信号測定機能

英語表記：chroma signal measurement

詳細

グラインディングホイール

英語表記：grinding wheel

詳細

グラファイトヒータ　アニール装置

英語表記：graphite heater annealer

詳細

グリシン

英語表記：glycine

詳細

グリッチ

英語表記：glitch

詳細

グリッチ

英語表記：glitch

詳細

グリッパフィーダ

英語表記：index gripper

詳細

グループローラ　メインローラ　溝車

英語表記：grooved roller　main roller

詳細

グレージング

英語表記：grazing

詳細

グレーティングパネル

英語表記：grated panel

詳細

グローバル

英語表記：global

詳細

グローバルアライメント

英語表記：global alignment

詳細

グローバルティルト　グローバルレベリング

英語表記：global tilting global leveling

詳細

グローバルプラナリゼーション

英語表記：global planarization

詳細

グローバル配線

英語表記：global wiring

詳細

グロスリークテスト

英語表記：gross leak testing

詳細

ケーキホッパ

英語表記：cake hopper

詳細

ケミカルエアフィルタ ガス除去用エアフィルタ

英語表記：chemical air filter

詳細

ケミカルドライエッチング (CDE)装置

英語表記：Chemical Dry Etching equipment : CDE equipment

詳細

ケミカル汚染

英語表記：chemical contamination

詳細

ケルビン接続

英語表記：kelvin contact

詳細

ゲート

英語表記：gate

詳細

ゲート・スタック

英語表記：Gate Stack

詳細

ゲートインサートピース

英語表記：gate insert piece

詳細

ゲートカット

英語表記：gate cutting

詳細

ゲートバルブ

英語表記：gate valve

詳細

ゲートバルブ

英語表記：gate valve

詳細

ゲート残り

英語表記：remaining gate

詳細

ゲート接地増幅回路

英語表記：Grounded gateamp lifiercir

詳細

ゲート絶縁耐圧

英語表記：gate breakdown voltage

詳細

ゲート絶縁膜

英語表記：gate dielectrics

詳細

ゲッタリング

英語表記：Gettering

詳細

ゲッタリング

英語表記：gettering

詳細

ゲッタリング

英語表記：gettering

詳細

ゲッタリング

英語表記：gettering

詳細

ゲッタリング

英語表記：gettering

詳細

ゲル型イオン交換樹脂

英語表記：gel type ion exchange resin

詳細

コ・ポリマー

英語表記：co-polymer

詳細

コージェネレーション

英語表記：cogeneration

詳細

コールドウォール

英語表記：cold wall

詳細

コールドエバポレータ

英語表記：cold evaporator

詳細

コアテスト

英語表記：

詳細

コッククロフト

英語表記：cockcroft

詳細

コヒーレンス度

英語表記：coherence factor

詳細

コプラナリティ

英語表記：coplanarity

詳細

コリメータ

英語表記：collimator

詳細

コリメート　スパッタリング

英語表記：collimate sputtering

詳細

コリメートスパッタ

英語表記：collimated sputtering

詳細

コレットヒータ

英語表記：collet heater

詳細

コロージョン

英語表記：corrosion

詳細

コロイダルシリカ

英語表記：colloidal silica

詳細

コンスタントヒートツール

英語表記：constant temperature constant heat tool

詳細

コンタクト/ビア

英語表記：contact/via hole

詳細

コンタクト/ビア形成

英語表記：contact/via formation

詳細

コンタクトチェック

英語表記：contact check

詳細

コンタクトプロキシミティ露光装置

英語表記：contact proximity

詳細

コンタクトホール

英語表記：contact hole

詳細

コンタクトボード

英語表記：contact board

詳細

コンタクト高抵抗化要因

英語表記：high contact resistance Issues

詳細

コンタクト抵抗の低抵抗化

英語表記：reduction Of contact res1Stance

詳細

コンタミネーション

英語表記：contamination

詳細

コンタミ量

英語表記：contamination level

詳細

コンダクタンス法

英語表記：conductance method

詳細

コンディショニング　ドレッシング

英語表記：conditioning dressing

詳細

コントラスト

英語表記：contrast

詳細

コンバージョンキット

英語表記：conversion kit

詳細

コンパレータ

英語表記：comparator

詳細

コンピュータ支援故障解析手法

英語表記：CAFA : Computer Aided Fail­ure Analysis

詳細

コンベヤ

英語表記：conveyer

詳細

ゴースト法

英語表記：GOHST method

詳細

サーチスピード

英語表記：search speed

詳細

サーチレベル

英語表記：search level

詳細

サービスエリア

英語表記：service area

詳細

サーマルチャンバ

英語表記：thermal chamber

詳細

サーマルビア

英語表記：thermal via

詳細

サイクルタイム

英語表記：cycle time

詳細

サイクル時間

英語表記：cycle time

詳細

サイクル処理時間

英語表記：cycle time

詳細

サイト

英語表記：saite

詳細

サイトFPD　SBID　SFLD　SF3D　SFQD

英語表記：site focal plane deviation　site back ideal deviation　site front least-squares global deviation　site front three points deviation　site front least-squares site deviation

詳細

サイトTIR　SBIR　SFLR　SF3R　SFQR

英語表記：site total indicator reading　site back ideal range (local thickness variation)　site front least-squares global range　site front three points range　site front least-squares range

詳細

サイトアレイ

英語表記：site array

詳細

サイトサイズ

英語表記：site size

詳細

サイドロブ

英語表記：side lobe

詳細

サイリスタ

英語表記：

詳細

サセプタ

英語表記：susceptor

詳細

サセプタ

英語表記：susceptor

詳細

サックバック

英語表記：suck back

詳細

サックバック

英語表記：suck back

詳細

サブサイト

英語表記：subsite

詳細

サブシステム ポリッシングシステム

英語表記：subsystem

詳細

サブストレート

英語表記：substrate

詳細

サブマスタ

英語表記：sub-master

詳細

サマリデータ

英語表記：summary data

詳細

サリサイド

英語表記：salicide : self-aligned silicide

詳細

サンプリング

英語表記：sampling

詳細

サンプリング　デジタイザ

英語表記：sampling digitizer

詳細

サンプルアンドディファレンス

英語表記：sample and 　difference

詳細

シーケンシャルパターン発生器　SQPG

英語表記：sequential pattern generator

詳細

シース

英語表記：sheath

詳細

シーズニング

英語表記：seasoning

詳細

シーズニング

英語表記：seasoning

詳細

シーソー

英語表記：see saw

詳細

シート抵抗測定

英語表記：sheet resistance measurement

詳細

シードチャック

英語表記：seed chuck

詳細

シード移動ストローク

英語表記：seed lift travel

詳細

シード移動速度

英語表記：seed lift rate

詳細

シード回転速度　結晶回転速度　S／R

英語表記：seed rotation rate　crystal rotation

詳細

シード軸

英語表記：seed shaft

詳細

シード層

英語表記：seed layer

詳細

シーム

英語表記：seam

詳細

シーム溶接装置

英語表記：parallel seam resistance welding equipment

詳細

シールドルーム

英語表記：shielding room

詳細

シェープ

英語表記：shape

詳細

シクロプタン誘導体

英語表記：cyclobutane derivative

詳細

システムLSI

英語表記：system LSI

詳細

システムLSI　

英語表記：

詳細

システムLSIテストシステム　SoCテストシステム　ミックスドシグナルテストシステム

英語表記：system LSI test system system on chip test system mixed signal test system

詳細

システム端末

英語表記：terminal

詳細

シフトレジスタ

英語表記：

詳細

シャロー　ジャンクション

英語表記：shallow junction

詳細

シャワー板　カソード

英語表記：shower plate　cathode

詳細

シュムープロット

英語表記：shmoo plot

詳細

ショット

英語表記：shot

詳細

ショットキ　バリア　ダイオード

英語表記：

詳細

ショットキバリア

英語表記：Schottky barrier

詳細

ショットキ効果

英語表記：Schottky effect

詳細

ショットキ障壁

英語表記：Schottky barrier

詳細

ショットスケーリング　ショット倍率

英語表記：shot scaling

詳細

ショットローテーション

英語表記：shot rotation

詳細

ショット雑音

英語表記：Shot noise

詳細

ショット数

英語表記：number Of shots

詳細

ショルダ

英語表記：shoulder

詳細

シリカ

英語表記：silica

詳細

シリカ計

英語表記：silica analyzer

詳細

シリコン

英語表記：Silicon

詳細

シリコンサイクル

英語表記：

詳細

シリコントレンチ

英語表記：silicon trench

詳細

シリコンバレー

英語表記：Silicon Valley

詳細

シリコン基板

英語表記：silicon substrate

詳細

シリコン酸化膜

英語表記：silicon dioxide

詳細

シリコン単結晶の物性

英語表記：physical properties of single crystal

詳細

シリコン単結晶成長

英語表記：silicon single crystal growth

詳細

シリコン融液対流

英語表記：silicon liquid phase convection

詳細

シリサイド

英語表記：silicide

詳細

シリサイド化

英語表記：silicidation

詳細

シリル化プロセス

英語表記：silyl process

詳細

シリル化処理装置

英語表記：silylation system

詳細

シリンダキャビネット

英語表記：cylinder cabinet

詳細

シリンダボンベ 内部研磨クリーンボンベ

英語表記：cylinder ultra clean cylinder

詳細

シリンダ型装置

英語表記：

詳細

シロキサン

英語表記：siloxane

詳細

シロキサン結合

英語表記：siloxane bonding

詳細

シンギュレーションセパレート

英語表記：singulation separate

詳細

シングルカセットロータ

英語表記：single cassette rotor

詳細

シンタ

英語表記：sinter

詳細

シンニング

英語表記：thinning

詳細

シンニング

英語表記：thinning

詳細

ジーメンス法

英語表記：siemens method

詳細

ジアゾナフトキノン感光剤

英語表記：diazonapthoquinone Photo active compound

詳細

ジッタ測定器　時間解析器　タイムメジャーメントデジタイザ

英語表記：time analizer

詳細

ジャストエッチング

英語表記：just etching

詳細

ジャミング

英語表記：jamming

詳細

ジャム率

英語表記：jamming rate

詳細

ジャンクションスパイク

英語表記：junction spike

詳細

ジョブショップ

英語表記：job shop

詳細

ジルコニアスラリー

英語表記：zirconium slurry

詳細

スーパーボルテージ機能

英語表記：super voltage function

詳細

スーパバッファメモリ　SBM　HBM

英語表記：super buffer memory

詳細

スイープ測定サーチ

英語表記：sweep mesurement

詳細

スイッチング特性

英語表記：switching characteristic

詳細

スカベンジャ

英語表記：scavenger

詳細

スカム

英語表記：scum

詳細

スキップ測定

英語表記：skip measurement

詳細

スキャナ

英語表記：Scanner

詳細

スキャナ

英語表記：scanner

詳細

スキャナーサイトフラットネス　SFFD　SFSR

英語表記：scanner site flatnesss　site front least-squares subsite deviation　site front least-squares subsite range

詳細

スキャンテスト

英語表記：

詳細

スキャンディレクション

英語表記：scan direction

詳細

スキャンデザイン　デバイス測定機能

英語表記：test function of scan designed devices

詳細

スキャンパステスト

英語表記：scan pass

詳細

スキャンビーム電流

英語表記：scanned beam current

詳細

スキュ-調整PLL

英語表記：Skew　adjust　PLL

詳細

スキュー

英語表記：skew

詳細

スクライビング

英語表記：scribing

詳細

スクラッチ

英語表記：scratch

詳細

スクラッチ

英語表記：scrach

詳細

スクラッチ

英語表記：scratch

詳細

スクラバ

英語表記：scrubber

詳細

スクラブ

英語表記：scrubbing

詳細

スクラブ洗浄

英語表記：scrubbing

詳細

スクリーニング

英語表記：screening

詳細

スクリーニング

英語表記：screening

詳細

スケール防止剤

英語表記：scale inhibitors

詳細

スタッカクレーンカセットリフタ

英語表記：stacker crane cassette lifter

詳細

スタックド　スタックドCSP

英語表記：stcked stcked CSP

詳細

スタティック　バーンイン装置

英語表記：static burn-in system

詳細

スタティックファンクションテスト

英語表記：static functional test

詳細

スタンドオフ

英語表記：stand-off

詳細

スタンバ　ディプレスステージ

英語表記：stamper depressed stage

詳細

スタンピングヘッド

英語表記：stamping head

詳細

スタンピングリードフレーム

英語表記：stamping lead-frame

詳細

スチーム酸化

英語表記：steam oxidation

詳細

スチーム酸化

英語表記：steam oxidation

詳細

ステージ

英語表記：stage

詳細

ステージ移動

英語表記：stage moving

詳細

ステージ姿勢

英語表記：stage attitude

詳細

ステージ連続移動

英語表記：Stage continuous movmg

詳細

ステッチボンド

英語表記：stitch bonding

詳細

ステッパ

英語表記：stepper

詳細

ステップアンドスキャン

英語表記：step-and-scan

詳細

ステップアンドリピート

英語表記：step and repeat

詳細

ステップエッチング

英語表記：step etching

詳細

ステップカット

英語表記：step cutting

詳細

ステップカバレージ　回り込み率

英語表記：step coverrage

詳細

ステップカバレッジ

英語表記：Step coverage

詳細

ステップカバレッジ

英語表記：Step coverage

詳細

ステップカバレッジ

英語表記：Step coverage

詳細

ステップピッチ

英語表記：step pitch

詳細

ステップ式投影露光装置

英語表記：stepping projection aligner

詳細

ステンシルマスク

英語表記：stencil mask

詳細

ストッカ

英語表記：stocker

詳細

ストッパ

英語表記：stopper

詳細

ストッパー膜

英語表記：stopper film

詳細

ストリート

英語表記：street

詳細

ストリエーション

英語表記：striation

詳細

ストリエーション

英語表記：striation

詳細

ストレスマイグレーション

英語表記：stress-migration

詳細

ストレスマイグレーション

英語表記：stress-induced migration

詳細

ストレスマイグレーション(SM)

英語表記：Stress-Migration

詳細

ストレスマイグレーション試験

英語表記：stress migration

詳細

ストレッチ　アンドスクイズ

英語表記：stretch and squees

詳細

ストローブ

英語表記：strobe

詳細

ストロープコンパレータ

英語表記：strobed comparator

詳細

ストロボ法

英語表記：stroboscopic imaging

詳細

スナップキュア

英語表記：snap cure

詳細

スパークギャップ

英語表記：spark gap

詳細

スパークギャップ

英語表記：spark gap

詳細

スパイラル型逆浸透膜モジュール

英語表記：spiral-wound type reverse osmosis membrane module

詳細

スパッタイオンポンプ

英語表記：sputter ion pump

詳細

スパッタエッチング

英語表記：sputter etching

詳細

スパッタエッチング

英語表記：スパッタエッチング

詳細

スパッタガン　スパッタリング装置

英語表記：sputter-gun sputtering system

詳細

スパッタリング

英語表記：sputtering

詳細

スパッタリング装置　スパッタ装置

英語表記：sputtering system

詳細

スパッタ率

英語表記：sputtering yield

詳細

スパンカ

英語表記：spanker

詳細

スピンカップ

英語表記：Spin cup

詳細

スピンカップ

英語表記：spin cup

詳細

スピンコータ

英語表記：spin coater

詳細

スピンコート法

英語表記：spin coat method

詳細

スピンチャック

英語表記：spin chuck

詳細

スピンチャック

英語表記：spin chuck

詳細

スピンデベロッパ

英語表記：spin developer

詳細

スピンドライヤ

英語表記：spin dryer

詳細

スピンドル

英語表記：spindle

詳細

スピンモータ　立ち上がり特性

英語表記：acceleration

詳細

スピンモータ回転数

英語表記：rotation speed

詳細

スピン乾燥

英語表記：spin drying

詳細

スピン乾燥

英語表記：spin drying

詳細

スピン洗浄

英語表記：spin cleaning

詳細

スピン洗浄装置

英語表記：spin cleaner

詳細

スピン洗浄装置

英語表記：spin cleaner

詳細

スプリンクラー設備

英語表記：sprinkler system

詳細

スプレーデベロッパ

英語表記：spray developer

詳細

スプレー型(バッチ)

英語表記：spray type

詳細

スプレー現像

英語表記：spray developing

詳細

スプレー式エッチング装置

英語表記：spray etching system

詳細

スプレー塗布

英語表記：spray coating

詳細

スペアロー／カラム予備行／列リンボー

英語表記：spare row/columnlimbo

詳細

スマートカット

英語表記：smart cut

詳細

スミア試験

英語表記：smear test

詳細

スムージング

英語表記：smoothing

詳細

スライシング

英語表記：Slicing

詳細

スライシング

英語表記：slicing

詳細

スライスベース

英語表記：slice base

詳細

スライム防止剤

英語表記：slime inhibitors

詳細

スラリー

英語表記：slurry

詳細

スラリー

英語表記：slurry

詳細

スラリーセパレータ

英語表記：slurry separator

詳細

スラリー分析終点検出法

英語表記：end point detection by slurry constituent analysis

詳細

スリーウェイ方式

英語表記：three-way

詳細

スリップ

英語表記：slip

詳細

スリップ

英語表記：slip

詳細

スルーザウォール構造

英語表記：through the wall structure

詳細

スループット

英語表記：throughput

詳細

スルーホール

英語表記：through hole

詳細

スルーレート

英語表記：slew rate

詳細

スローベント　ソフトベント

英語表記：slow vent　soft vent

詳細

スロー排気　ソフト排気

英語表記：slow pumping slow roughing　soft roughing

詳細

スワール

英語表記：swirl

詳細

スワール

英語表記：swirl

詳細

スワップ搬送

英語表記：swapped transportation

詳細

セグメント

英語表記：segment

詳細

セットアップ時間、ホール度時間

英語表記：

詳細

セミコンショー

英語表記：SEMICON SHOW

詳細

セミフルカット

英語表記：semi full cutting

詳細

セラミック基板

英語表記：ceramic substrate

詳細

セリアスラリー

英語表記：ceria slurry

詳細

セルフアライメント

英語表記：self alignment effect

詳細

セルフグラインド

英語表記：self grinding

詳細

セルフバイアス　陰極電圧降下　Vdc

英語表記：self bias

詳細

セルプロジェクション

英語表記：cell projection

詳細

センタブロック

英語表記：center block

詳細

センタリング

英語表記：centering

詳細

センダ

英語表記：sender

詳細

ゼータ電位

英語表記：zeta potential

詳細

ゼータ電位　界面同電位

英語表記：zeta potential electrokinetic potential

詳細

ゼーベック効果

英語表記：Seebeck effect

詳細

ゼロエミッション 産業廃棄物ゼロ

英語表記：zero emission

詳細

ソークタイム

英語表記：soak time

詳細

ソースキャビネット

英語表記：source cabinet

詳細

ソースマグネット

英語表記：ion source magnet

詳細

ソース接地増幅回路

英語表記：grounded source amplifier Circuit

詳細

ソータ

英語表記：sorter

詳細

ソープションポンプ

英語表記：sorption pump

詳細

ソーマーク

英語表記：saw mark

詳細

ソーマーク

英語表記：saw mark

詳細

ソケット式コンタクト

英語表記：socket type contact

詳細

ソフトランディング

英語表記：soft landing

詳細

ソルダマスク

英語表記：solder mask

詳細

ソルダレジスト

英語表記：solder resist

詳細

ソルダ封止装置

英語表記：solder sealing equipment

詳細

ゾーン数

英語表記：zone count

詳細

ターゲット

英語表記：target

詳細

ターゲット

英語表記：target

詳細

ターゲットスキャン

英語表記：target scan

詳細

ターゲット点　問題点

英語表記：tagget point recognition point

詳細

ターゲット利用効率

英語表記：efficiency of target utilization

詳細

ターボ分子ポンプ

英語表記：turbo molecular

詳細

ターンテーブル

英語表記：turn table

詳細

タイバー　ダムバー

英語表記：tie bar dam bar

詳細

タイミングエッジ

英語表記：timing edge

詳細

タイミングジェネレータ

英語表記：timing generator

詳細

タイミングチャート

英語表記：

詳細

タイミング相数　クロック相数

英語表記：number of timing phase number of clock

詳細

タイムモジュレーションエッチング

英語表記：time modulation etching

詳細

タッチローラ

英語表記：touch roller

詳細

タブレット

英語表記：tablet

詳細

タブレットプリヒート装置

英語表記：tablet pre heater

詳細

タングステン

英語表記：tungusten

詳細

タンデム型装置

英語表記：tandem electrostatic accelerator

詳細

ダーク条件

英語表記：ダーク条件

詳細

ダイ

英語表記：die

詳細

ダイアライメント

英語表記：die alignment

詳細

ダイオード

英語表記：

詳細

ダイクリーナ

英語表記：mold cleaner

詳細

ダイシアテスタ

英語表記：die shear tester

詳細

ダイシア強度

英語表記：die shear strength

詳細

ダイシング

英語表記：dicing

詳細

ダイシング

英語表記：dicing

詳細

ダイシングソー　ダイサ

英語表記：dicing saw

詳細

ダイシング装置

英語表記：Dicing Equipment

詳細

ダイセット

英語表記：die set

詳細

ダイトレイ

英語表記：die tray

詳細

ダイナミック　バーンイン装置

英語表記：dynamic burn-in system

詳細

ダイナミッククランプ　機能

英語表記：dynamic clamp

詳細

ダイナミックパターントレーサ　パターントレーサ　パターンシミュレータ

英語表記：dynamic pattern tracer pattern tracer pattern simulator

詳細

ダイナミックファンクションテスト

英語表記：dynamic functional test

詳細

ダイナミックロード　プログラマブルロード　アクティブロード

英語表記：dynamic load programmable load active load

詳細

ダイナミック電源電流測定

英語表記：dynamic power current measurement

詳細

ダイバーカット

英語表記：tiebar cutting

詳細

ダイバイダイアライメント

英語表記：die-by-die alignment

詳細

ダイバイダイティルト　ダイバイダイレベリング

英語表記：die-by-die tiliting die-by-die leveling

詳細

ダイパッド

英語表記：die-pad

詳細

ダイボンダ

英語表記：die bonding

詳細

ダイボンティング

英語表記：die bonding

詳細

ダイボンディング

英語表記：die bonding

詳細

ダイボンディング材料

英語表記：die bonding materials

詳細

ダイヤモンドCVD

英語表記：diamond CVD

詳細

ダイヤモンドホイール

英語表記：cup shaped daiamond grinding wheel

詳細

ダイヤモンドワイヤ

英語表記：daimonnd wire

詳細

ダイヤモンド外周刃といし

英語表記：diamond blade

詳細

ダイレクトインデックス機能　サンプリングプローブ機能

英語表記：direct index function sampling prove function

詳細

ダイレクトピックアップ　ボンディング

英語表記：direct pick-up

詳細

ダイレクト印刷機

英語表記：printing press

詳細

ダウンセット　アップセット

英語表記：down set up set

詳細

ダウンフロー型アッシング装置　ダウンストリーム型アッシング装置

英語表記：down flow asher down stream achere

詳細

ダッシュネック

英語表記：Dash's neck

詳細

ダブルスキャン　デュアルスキャン

英語表記：dual scan

詳細

ダマシン

英語表記：damascene

詳細

ダマシン

英語表記：damascene

詳細

ダマシンプロセス

英語表記：damascene process

詳細

ダミーウェーハ

英語表記：dummy wafer

詳細

ダミーウェーハ

英語表記：dummy wafer

詳細

ダミーサイクル

英語表記：dummy cycle

詳細

ダミーパターン

英語表記：dummy pattern

詳細

ダムバー残り

英語表記：protrusion tiebar

詳細

ダムブロック

英語表記：dam block

詳細

ダメージ

英語表記：damage

詳細

ダメージ

英語表記：damage

詳細

ダンサローラ

英語表記：dancer roller

詳細

チェーン注入

英語表記：chained implants

詳細

チェイスブロック

英語表記：chase unit

詳細

チッピング

英語表記：chipping

詳細

チップ ダイ

英語表記：chip die

詳細

チップアライメント

英語表記：chip alignment

詳細

チップクラック

英語表記：chip crack

詳細

チップクラック解析

英語表記：simulation of die cracking

詳細

チップバーンイン

英語表記：chip burn-in

詳細

チップ関連故障解析手法

英語表記：failure analysis methods related to device chips

詳細

チップ上の故障メカニズム

英語表記：failure mechanism on device chips

詳細

チップ突上げ

英語表記：plunge up

詳細

チップ裏面側からの解析法

英語表記：failure analysis from backside of chips

詳細

チャージアップ

英語表記：charge up

詳細

チャージアップダメージ

英語表記：Charge up Damage

詳細

チャージポンピング法

英語表記：charge pumping method

詳細

チャージポンプ回路

英語表記：charge pump circuit

詳細

チャイルド・ラングミュアの式

英語表記：Child-Langmuir equation

詳細

チャックテーブル

英語表記：chuck table

詳細

チャック洗浄機構

英語表記：chuck cleaning mechanism

詳細

チャネリング

英語表記：channeling

詳細

チャネリング

英語表記：channeling

詳細

チャネリング

英語表記：channeling

詳細

チャネリング防止

英語表記：channeling protection

詳細

チャネルストッパ

英語表記：channel stopper

詳細

チャンネリング

英語表記：Channeling

詳細

チャンバ

英語表記：chamber vessel

詳細

チャンバクリーニング　プラズマクリーニング

英語表記：chamber cleaning　plasma cleaning

詳細

チャンバコントローラ

英語表記：chamber controller

詳細

チューブコントローラ

英語表記：tube controller

詳細

チューブラ型逆浸透膜モジュール 管状型逆浸透膜モジュール

英語表記：tubular type reverse osmosis membrane

詳細

チョクラルスキー法

英語表記：Czochralski

詳細

チョッパ機構

英語表記：chopper mechanism

詳細

ツーウェイ方式

英語表記：two-way

詳細

ツールチェンジャ

英語表記：tool changer

詳細

ツールハイト

英語表記：tool height

詳細

ツール研磨

英語表記：tool lapping

詳細

ツール取付長さ

英語表記：setting length of tool

詳細

ツエナ効果

英語表記：Zener effect

詳細

ツルーイング

英語表記：truing

詳細

テーパエッチング

英語表記：taper etching

詳細

テーピング

英語表記：taping

詳細

テーブル

英語表記：table

詳細

テーブルティア

英語表記：table tear

詳細

テープカット

英語表記：tape cutting

詳細

テープキャリヤ

英語表記：tape carrier film carrier

詳細

テープキャリヤパッケージ　PCP

英語表記：tape carrier package

詳細

テープボンディング　TAB

英語表記：tape automated bonding

詳細

テープレスカット

英語表記：tapeless cuttiing

詳細

テープ剥離装置

英語表記：tape peeling machine

詳細

テール

英語表記：tail

詳細

テール処理

英語表記：tail process

詳細

ティルトステップ

英語表記：multiple tilt angle implantation

詳細

テイルのばらつき

英語表記：tail length dispersion

詳細

テイルレングス

英語表記：tail length

詳細

テクスチャマッピング

英語表記：texture mapping

詳細

テスタ

英語表記：IC test system

詳細

テスタコンピュータ　TCP　テストプロセッサコントローラ　テスタコントローラ

英語表記：tester control processor

詳細

テスティング

英語表記：testing

詳細

テストべクタジェネレータ

英語表記：test vector generator

詳細

テストサイト

英語表記：test-site

詳細

テストシミュレータ

英語表記：test simulator

詳細

テストステーション

英語表記：test station

詳細

テストスペック

英語表記：test specification

詳細

テストバーンイン装置　テスティングバーンイン装置

英語表記：test burn-in system testing burn-in system

詳細

テストパターンメモリ　ローカルメモリ

英語表記：test pattern memory local memory

詳細

テストヘッド

英語表記：test head

詳細

テストボックス　アプリケーションボックス

英語表記：test box application box

詳細

テストレートピリオド

英語表記：test rate period

詳細

テレセントリック

英語表記：telecentric system

詳細

テンションヘッド　チャックボディ　ホイールヘッド

英語表記：tension head

詳細

テンプレート

英語表記：template

詳細

データセパレーションテスト

英語表記：data separation

詳細

データトポロジ機能　データスクランブル機能

英語表記：data topological fanction

詳細

データベースシステム

英語表記：data base system

詳細

データリテンションテスト

英語表記：data retension test

詳細

データレート

英語表記：data rate

詳細

データレベル電源

英語表記：data level source

詳細

データロギング　データログ

英語表記：data logging data log

詳細

データログメモリ

英語表記：data logging memory

詳細

データ処理

英語表記：data processing

詳細

ディザドPLL

英語表記：Dithered PLL

詳細

ディスクリート半導体

英語表記：

詳細

ディスペンサ

英語表記：dispenser

詳細

ディスペンサノズル

英語表記：dispenser nozzle

詳細

ディッシング

英語表記：dishing

詳細

ディッシング

英語表記：dishing

詳細

ディップデベロッパ

英語表記：dip developer

詳細

ディップ型

英語表記：dip type

詳細

ディファレンシャル　DC測定

英語表記：differential DC measurement

詳細

ディフェクト

英語表記：defect

詳細

ディンプル

英語表記：dimple

詳細

ディンプル

英語表記：dimple

詳細

デイライト

英語表記：daylight

詳細

デカボラン注入

英語表記：decaborane implantation

詳細

デゲート

英語表記：degating

詳細

デジタル

英語表記：Digital

詳細

デジタルIC

英語表記：

詳細

デスキュー

英語表記：de-skew

詳細

デッドウェイト方式

英語表記：dead weight type

詳細

デバイス

英語表記：

詳細

デバイスGNDリレー

英語表記：DUT ground relay

詳細

デバイスプログラム　テストプログラム

英語表記：device program test program

詳細

デバイスプログラム　トランスレータ

英語表記：device program translator

詳細

デバイ温度

英語表記：Debye temperature

詳細

デバイ遮蔽

英語表記：debye shield

詳細

デバイ長

英語表記：debye length

詳細

デバッガ

英語表記：debbuger

詳細

デファクトスタンダード

英語表記：

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デフロスタ

英語表記：defroster

詳細

デマウント装置　ウェーハ剥がし機

英語表記：demounting　machine demount station

詳細

デューティ比

英語表記：duty ratio

詳細

デュアルALPG

英語表記：dual ALPG

詳細

デュアルカット

英語表記：dual cutting cuple cutting

詳細

デュアルゲート

英語表記：dual-gate

詳細

デュアルタイミングジェネレータ

英語表記：dual timing generator

詳細

デュアルダマシン

英語表記：dual damascene

詳細

デュアルダマシン法

英語表記：dual-damacene

詳細

トータルオーバレイ精度

英語表記：total overlay accuracy

詳細

トータルメタルロス

英語表記：total metal loss

詳細

トップ

英語表記：top

詳細

トップリング

英語表記：toppuringu

詳細

トップリング　強制駆動機構

英語表記：top ring　forced drive

詳細

トライオード型RIE装置

英語表記：triode reactive ion etching system

詳細

トラップ

英語表記：Trap

詳細

トラバーサ　リールトラバースユニット

英語表記：traverser unit of traversing reel

詳細

トランジスタ

英語表記：Transistor

詳細

トランスインピテダンス増幅器

英語表記：trans impedance amplifier

詳細

トランスデューサ

英語表記：transducer

詳細

トランスファモールド

英語表記：transfer molding

詳細

トランスファ出力　射出力

英語表記：transfer force

詳細

トランバース滴下

英語表記：transverse dispense

詳細

トリガ端子

英語表記：trigger terminal

詳細

トリクロルシラン：SiHCl3

英語表記：tri-clorosilane

詳細

トリハロメタン

英語表記：trihalomethanes

詳細

トルク電流終点検出法

英語表記：torque current end point detection

詳細

トレースガスモニタ

英語表記：trace gas monitor

詳細

トレー搬送

英語表記：tray handling

詳細

トレイ

英語表記：tray

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トレンチエッチング

英語表記：trench etching

詳細

トレンチファースト

英語表記：trench first

詳細

トレンチ内ドーピング

英語表記：doping in trench

詳細

トレンチ分離

英語表記：shallow trench isolation

詳細

トンネルFET

英語表記：

詳細

トンネル効果

英語表記：tunnel effect

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ドーズ　ドーズ量

英語表記：dose

詳細

ドーズウインドウ

英語表記：dose window

詳細

ドーズ合わせ込み

英語表記：dose matching

詳細

ドーパント

英語表記：dopant

詳細

ドーパント蒸発法

英語表記：dopant evaporation

詳細

ドーピング

英語表記：doping

詳細

ドーピング（不純物添加）

英語表記：Doping

詳細

ドーピング効果

英語表記：doping effect

詳細

ドーピング装置

英語表記：doping system

詳細

ドープトオキサイド

英語表記：doped oxide

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ドープドオキサイド

英語表記：doped oxide

詳細

ドーム型治具

英語表記：dome jig

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ドットロギング

英語表記：dot logging

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ドナーとアクセプタ（1）

英語表記：

詳細

ドナーとアクセプタ（1）

英語表記：

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ドナーキラー処理

英語表記：donor killer treatment

詳細

ドナー消去　ドナーキラー

英語表記：donor annihilation　donor killer

詳細

ドライインｰドライアウト

英語表記：dry-in dry-out

詳細

ドライイン・ドライアウト

英語表記：dry in dry out

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ドライエッチング

英語表記：Dry Etching

詳細

ドライエッチング

英語表記：dry etching

詳細

ドライエッチング性

英語表記：dry etching

詳細

ドライエッチング装置

英語表記：dry etching system

詳細

ドライエッチング装置

英語表記：dry etching equipment

詳細

ドライバ

英語表記：driver

詳細

ドライホーニング装置

英語表記：dry powder horning machine

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ドライポンプ

英語表記：dry vacuum pump

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ドライ現像

英語表記：dry developing

詳細

ドライ酸化

英語表記：dry oxidation

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ドライ洗浄

英語表記：dry cleaning

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ドライ洗浄装置

英語表記：dry cleaning　 　equipment

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ドライ洗浄法

英語表記：dry cleaning method

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ドラフトチャンバ

英語表記：draft chamber

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ドレインボックス

英語表記：drain box