Ⅱ-Ⅵ族化合物半導体
英語表記：Ⅱ-Ⅵ Compound Semiconductors
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Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体
英語表記：three-five compound semiconductor
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Ⅳ族半導体
英語表記：group Ⅳ semiconductors
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1探針法
英語表記：one-point probe method
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2パステスト
英語表記：two-pass testingdouble insertion testing
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2ボート装置
英語表記：two boat system
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2極スパッタリング装置
英語表記：diode sputtering system
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2次イオン質量分析法
英語表記：Secondary Ion Mass Spectrometry
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2床3塔型純水装置 2B3T型純水装置
英語表記：two bed three tower deionizing equipmenttwo bed three tower demineralizing equipment
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2進表現
英語表記：binary code expression
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3D-NANDフラッシュメモリ
英語表記：3D-NAND flash memory
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3Dグラフィックス用LSI
英語表記：LSI for three Dimension graphics
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3点基準
英語表記：three points reference
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4探針法
英語表記：four-point probe method
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A/D変換器
英語表記：A/D Converter
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A/D変換器
英語表記：A/D converter
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ABCパラメータ
英語表記：ABC parameter
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ACF 異方性導電膜
英語表記：anisotropic conductive film
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ACパラメトリックテスト ACテスト
英語表記：AC parametric testAC test
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AC特性
英語表記：AC characteristics
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AD-DA変換機
英語表記：AD-DA converter
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AFM
英語表記：atomic force microscope
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AGA EGA
英語表記：advanced global
alignment
enhanced global
alignment
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AGV 自走型搬送車
英語表記：automatic guided
vehicle
詳細
ALC アルゴリズムコントローラ
英語表記：algorithm controller
詳細
ALD(原子層堆積)
英語表記：Atomic Layer Deposition
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APM洗浄
英語表記：ammonia-hydrogen peroxide mixture cleaning
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ASIC
英語表記：application specific integration circuit
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ASSP
英語表記：Application Specific Standard Product
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ATE テスタ
英語表記：automatic test
equipment
test system
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ATPG
英語表記：automatic test
program generator
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ATスピードテスト
英語表記：at speed test
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AWG 波形シンセサイザ
英語表記：arbitrary wave form
generator
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AlN基板（窒化アルミニウム基板）
英語表記：aluminum nitride substrate
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Al高圧リフロー
英語表記：Al high pressure reflow filling
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BBレシオ
英語表記：Book-to-Bill Ratio
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BESOI
英語表記：Bond Etch SOL
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BGA
英語表記：Ball Grid Array
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BGA
英語表記：ball grid array
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BGA（Ball Grid Array）の組立プロセス
英語表記：assembly process of BGA
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BIST（ビスト）
英語表記：Built in Self Test
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BMD
英語表記：Bulk Microdefect
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BPSGリフロー
英語表記：reflow of boro phospho silicate glass
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BiCMOS
英語表記：Bipolar Complementary MOS
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C-V法
英語表記：Capacitance-Voltage method
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CAD
英語表記：Computer Aided Design
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CCD
英語表記：Charge Coupled Device
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CEマーキング
英語表記：CE marking
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CIM
英語表記：computer integrated
manufacturing
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CIMアプリケーションフレームワーク
英語表記：CIM application
frame work
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CMOS
英語表記：complementary metal oxide semiconductor
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CMOSの構造
英語表記：Complementary Metal Oxide Semiconductor
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CMOSイメージセンサ
英語表記：CMOS image sensor
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CMP
英語表記：chemical mechanical
polishing
chemical mechanical
planarization
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CMP
英語表記：Chemical Mechanical Polishing
詳細
CMP
英語表記：chemical Mechanical Polishing
詳細
CMP (化学的機械研磨)
英語表記：Chemical Mechanical Polishing
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CMP後洗浄
英語表記：post-CMP cleaning
詳細
CMP後洗浄
英語表記：cleaning after CMP
詳細
CMP工程の欠陥評価手法
英語表記：defect evaluation method of CMP process
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CMP廃水処理装置
英語表記：CMP waste water treatment equipment
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CNC 凝縮核測定器
英語表記：condensation
nucleus counter
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CO2バブラ
英語表記：CO2bubbler
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COB
英語表記：Chip On Board
詳細
COB COG
英語表記：chip on board
ship on glass
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COO
英語表記：Cost Of Ownership
詳細
COO
英語表記：cost of ownership
詳細
COO
英語表記：cost of ownership
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COP
英語表記：crystal originated particle
詳細
COP
英語表記：crystal originated particle
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CPU、MPU
英語表記：Central Processing Unit、Microprocessing Unit
詳細
CSP
英語表記：Chip Size Package, Chip Scale Package
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CSP
英語表記：chip size package
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CVD
英語表記：chemical vapor deposition
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CVD装置
英語表記：chemical vapor deposition system
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CVD有機シリコン酸化膜
英語表記：CVD organic silicon oxide
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CZ法
英語表記：Czochralski method
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CZ法Si単結晶育成装置
英語表記：CZ method Si single crystal growth equipment
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CZ法（チョクラルスキ法）
英語表記：Czochralski Method
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Cat CVD装置 触媒CVD装置
英語表記：catalyst CVD system
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Crマスク
英語表記：Cr on glass mask
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Cu膜めっき
英語表記：copper electrolytic, electroless deposition
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D/A 変換器
英語表記：D/A converter
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D/A変換器
英語表記：D/A Converter
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DART
英語表記：distribution analysis
in realtime
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DCパラメトリックテスト DCテスト
英語表記：DC parametric testDC test
詳細
DCパラメトリックテストシステム
英語表記：DC parametric test system
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DC測定ユニット
英語表記：DC mesurement unit
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DFE
英語表記：design for
environment
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DFT
英語表記：Design for Testability
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DGS
英語表記：device ground sence
詳細
DHF洗浄
英語表記：dolute hydrogen fluoride cleaning
詳細
DIP
英語表記：Dual In-line Package
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DLTS
英語表記：Deep Level Transient Spectroscopy
詳細
DLTS
英語表記：deep level transient spectroscopy
詳細
DOP粒子 DOP
英語表記：DOP particledioctyl phthalate particle
詳細
DOS粒子 DOS
英語表記：DOS particledioctyl sebacate particle
詳細
DOWN TIME
英語表記：down time
詳細
DRAM
英語表記：dynamic random access memory
詳細
DRAM
英語表記：Dynamic Random Access Memory
詳細
DSA
英語表記：Directed Self Align
詳細
DSP
英語表記：Digital Signal Processor
詳細
DSP デジタルシグナルプロセッサ
英語表記：digital signal
processor
詳細
DUT
英語表記：device under test
詳細
DUTボード ソケットボード テストボード ロードボード パフォーマンスボード フィクスチャボード マザーボード DUTーI／F DIB
英語表記：DUT boardsocket boardtest boardload boardperformance boardfixture boardmother boardDUT interfacedevice interface board
詳細
DUT電源 DPS バイアス電源
英語表記：DUT power supplydevice power supply
詳細
DWウェーハ
英語表記：diffused wafer
詳細
Dashエッチング
英語表記：Dash etching
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Deal-Groveモデル
英語表記：Deal-Grove model
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Double Patterning（1）
英語表記：Double Patterning
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Double Patterning（2）
英語表記：Double Patterning
詳細
Dynamic-SIMS
英語表記：Dynamic-Secondary Ion Mass Spectroscopy
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EBテスタ法
英語表記：EB (Electron Beam) tester method
詳細
EBデータ変換
英語表記：EB data converston
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ECR エッチング装置
英語表記：electron cyclotron resonance etching system
詳細
ECR スパッタリング装置
英語表記：electron coupling resonance sputtering system
詳細
ECR プラズマCVD装置
英語表記：electron coupling resonance plasma enhanced CVD system
詳細
ECRエッチング装置
英語表記：Electron Cyclotron Resonance Plasma Etcher
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ECRスパッタリング
英語表記：Electron Cyclotron Resonance sputtering
詳細
ECRプラズマCVD
英語表記：Electron Cyclotron Resonance plasma CVD
詳細
EDTA
英語表記：ethylendiamin tetra acetic acid
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EEMポリシング
英語表記：elastic emmision machining
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EL 2準位
英語表記：EL 2 level
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ELID研削
英語表記：electrolytic in process dressing grinding
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ELTRAN
英語表記：Epitaxial Layer Transfer
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EMS 環境マネジメントシステム
英語表記：enronmental
management
system
詳細
EPD
英語表記：Htch Pit Density
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ES
英語表記：Engineering Sample
詳細
ESD
英語表記：Electro-Static Discharge, Electro-Static Destroy
詳細
ESD保護
英語表記：electrostatic discharge protection
詳細
ESH EHS
英語表記：environment safety
and health
environmental
health and safety
詳細
EUVの光源
英語表記：Extremly Ultra Violet
詳細
EUV露光リソグラフィ
英語表記：Extremly Ultra Violet Lithography
詳細
FA対応バーンイン装置
英語表記：corresponding burn -in system of factory automation
詳細
FDｰSOI（完全空乏型SOI）
英語表記：Fully Depleted Silicon on Insulator
詳細
FET(電界効果トランジスタ)
英語表記：Field Effect Transistor
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FIB法
英語表記：FIB (Focused Ion Beam) method
詳細
FPD
英語表記：flow pattern defect
詳細
FPD GFLD GF3D
英語表記：focal plane deviation gloval front least-squares deviation gloval front three points deviation
詳細
FPGA
英語表記：Field Programmable Gate Array
詳細
FPM洗浄
英語表記：hydrofluoric acid-hydrogen peroxide mixture cleaning
詳細
FQA 平坦度適用領域
英語表記：fixed quality
詳細
FRｰ4
英語表記：FR-4
Fiber Reinforced-4
詳細
FSG
英語表記：fluorine doped silicate glass
詳細
FT-IR (フーリエ変換赤外分光法)
英語表記：Fourie Transform Infrared spectroscopy
詳細
FUSI
英語表記：Fully Silicided
詳細
FZ装置
英語表記：FZ equipment
詳細
FZ法
英語表記：Floating Zone method
詳細
FeRAM構造
英語表記：FeRAM structure
詳細
FinFET(Tri Gate MOS)
英語表記：
詳細
GBIR TTV
英語表記：global backside ideal range total thickness variation
詳細
GEM
英語表記：generic equipment
model
詳細
GEM
英語表記：Generic Equipment Model
詳細
GO／NO-GO試験 PASS／FAIL試験
英語表記：GO/NO-GO testPASS/FAIL test
詳細
HALO／ポケット
英語表記：HALO/ pocket
詳細
HAST プレッシャクッカ
英語表記：highly accelerated
temperature and
humidity stress
test
pressure cooker
詳細
HAST（高温高湿ストレス試験）
英語表記：Highly Accelerated Stress Test
詳細
HDL
英語表記：Hardware Description Language
詳細
HDP-CVD
英語表記：high density plasma CVD
詳細
HEPAフィルタ
英語表記：high efficiency particulate air filterHEPA filter
詳細
HFキット
英語表記：High Frequency kit
詳細
HF治具
英語表記：high frequency test head interface
詳細
HF蒸気洗浄装置
英語表記：HF vapor cleaninge equipmen
詳細
HPM洗浄
英語表記：hydrochloric acid-hydrogen peroxide mixture cleaning
詳細
HSG
英語表記：hemi spherical grained
詳細
HSMS
英語表記：High-speed SECS Message Services
詳細
HSMS
英語表記：high speed SECS
message service
詳細
HSQ
英語表記：Hydrogensilsesqunoxane
詳細
Half pitchとNode
英語表記：Half pitch and Node
詳細
High-k膜（高誘電率膜）
英語表記：High-k film (high dielectric constant film)
詳細
ICP-MS
英語表記：inductively coupled
plasma mass
spectrometer
詳細
ICTS
英語表記：Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy
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ICの機能試験
英語表記：Functional testing of ICs
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IC内部回路
英語表記：IC internal circuit
詳細
IDDQ試験 静止電源電流試験
英語表記：IDDQ testquiescent power supply current test
詳細
IDM
英語表記：Integrated Device Manufacturer
詳細
IDブレード
英語表記：inner diameter blade
詳細
IGBT
英語表記：Insulated Gate Bipolar Transistor
詳細
IMEC
英語表記：Interuniversity MicroelectronicsCenter
詳細
IMS基板（金属系絶縁基板）
英語表記：Insulated Metal Substrate
詳細
IPAべーパ乾燥
英語表記：IPA Vapor/Dry
詳細
IPAマランゴニ乾燥
英語表記：IPA marangoni drying
詳細
IPA回収・再生装置
英語表記：isopropyl alcohol reprocessor
詳細
IPA乾燥
英語表記：IPA vapor drying
詳細
IPA乾燥
英語表記：isopropyl alcohol drying
詳細
IPA蒸気乾燥
英語表記：IPA vapor drying
詳細
IPVD
英語表記：ionized physical vapor deposition
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IPプロバイダ
英語表記：Intellectual Property (IP)Provider
詳細
IRLAS(赤外半導体レーザ吸収分光)
英語表記：infrared diode laser absorption spectroscopy
詳細
ISSCC
英語表記：International Solid-State Circuits Conference
詳細
ITOX
英語表記：internal thermal oxidation
詳細
International SEMATECH
英語表記：International SEMATECH
詳細
Ir、IrO2
英語表記：iridium, iridium dioxide
詳細
I／Oピン ドライバ／コンパレータ
英語表記：IOpindriver/comparator
詳細
I／O切り換え時間
英語表記：I/Oswitching transition
詳細
I／Q位相エラー測定
英語表記：I/Q phase error measurement
詳細
JEITA
英語表記：Japan Electronics antd Information Technology Industries Association
詳細
KGD
英語表記：known good die
詳細
LAN
英語表記：local area network
詳細
LCA
英語表記：life cycle
assessment
詳細
LCCO₂
英語表記：life cycle CO₂
詳細
LDD
英語表記：Lightly Doped Drain
詳細
LED
英語表記：Light Emitting Diode
詳細
LER(ライン エッジ ラフネス)
英語表記：LER (Line Edge Roughness)
詳細
LOCOS
英語表記：local oxidation of silicon
詳細
LPDモード（Light Point Defect）面の粗さ
英語表記：roughness by LPD mode
詳細
LSTD
英語表記：Laser Scattering
Tomography
Defect
詳細
LSTD
英語表記：laser scattering tomograply defect
詳細
LTV
英語表記：local thickness variation
詳細
Linear Parabolicモデル
英語表記：Linear Parabolic model
詳細
MCBF
英語表記：mean cycle between
failure
詳細
MCL
英語表記：metal contaminationlevel
詳細
MCM-C
英語表記：Multi Chip Module Cofired ceramics
詳細
MCM-D
英語表記：Multi Chip Module Deposited dielectric
詳細
MCM-L
英語表記：Multi Chip Module organic Laminates
詳細
MCM（マルチチップモジュール）
英語表記：Multi Chip Module
詳細
MCZ結晶引き上げ装置
英語表記：MCZ crystal growth equipment
詳細
MCZ法
英語表記：magnetic field applied Czochralski method
詳細
MCZ法
英語表記：Magnetic Field Applied CZ法
詳細
MOCVD
英語表記：metal organic CVD
詳細
MOS FET
英語表記：Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor
詳細
MPU
英語表記：micro processor unit
詳細
MRAM(1)
英語表記：MagnetoresistiveRandom Access Memory
詳細
MRAM(2) (STT-MRAM)
英語表記：
詳細
MSDS
英語表記：material safety
詳細
MTBF
英語表記：mean time between failure
詳細
MTTR
英語表記：mean time to repair
詳細
MWBA
英語表記：mean wafers between asist
詳細
MWBF
英語表記：mean wafers between failure
詳細
Mixed Signal LSI
英語表記：
詳細
Mアルカリ度 酸消費量
英語表記：M-alkalinity alkalinity
詳細
N20窒化
英語表記：Nitrous Oxide nitridation
詳細
N2O窒化
英語表記：N2O nitridation of silicon oxide
詳細
NANDフラッシュメモリ
英語表記：NAND Flash memory
詳細
NA 開口数
英語表記：numerical aperture
詳細
NC制御面取装置
英語表記：NC-control chamfering machine
詳細
NDウェーハ
英語表記：neutro transmutation dopingwafer
詳細
NEDIA
英語表記：Nippon Electronic Device Industry Association
詳細
NH3 窒化
英語表記：ammnium nitridation
詳細
NO酸窒化
英語表記：NO nitridation of silicon oxide
詳細
NO窒化
英語表記：Nitric Oxide nitridation
詳細
OBIC法
英語表記：OBIC : Optical Beam Induced Current
詳細
OBIRCH法
英語表記：OBIRCH method
詳細
OCR
英語表記：optical code reader
詳細
OC曲線
英語表記：Operating Characteristic curve
詳細
ODブレード
英語表記：outer diameter blade
詳細
OF加工
英語表記：Orientation Flat marking
詳細
OPP
英語表記：Optical Precipitate Profiler
詳細
OSAT
英語表記：Outsourced Semiconductor Assembly & Test
詳細
OSF
英語表記：oxidation induced stacking fault
詳細
P/n測定器
英語表記：P/n type measurement system
詳細
PACE
英語表記：Plasma Assisted Chemical Etching
詳細
PBS Poly-silicon Back Seal
英語表記：PBS
Poly-silicon Back Seal
詳細
PCB
英語表記：printed circuit board
詳細
PCT（プレッシャクッカー試験）
英語表記：Pressure Cooker Test
詳細
PDC
英語表記：PersonalDigitalCellulartelecommunicationsystem
詳細
PFCガス
英語表記：PFC (perfluoro-compound）gas
詳細
PGA
英語表記：Pin Grid Array
詳細
PGA（Pin Grid Array）の組立プロセス
英語表記：assembly process for PGA
詳細
PID温度制御
英語表記：PID temperature control
詳細
PIII
英語表記：Plasma Imersion Ion plantation
詳細
PLCC
英語表記：Plastic Lead Chip Carrier
詳細
PLL
英語表記：Phase Locked Loop
詳細
PLLの仕様
英語表記：PLL specifications
詳細
PPMU
英語表記：per pin
measurement unit
詳細
PPS
英語表記：per pin source
詳細
PRAM
英語表記：Phase Change RAM
詳細
PRTR 環境汚染物質排出移動登録
英語表記：pollutant release
and transfer
register
詳細
PSA
英語表記：pressure swing
adsorption
詳細
PSG
英語表記：Phosphorous Silicate Glass
詳細
PSL粒子 標準粒子
英語表記：polystylene latex particlestandard particle
詳細
PUA
英語表記：percent usable area
詳細
PVAスポンジ
英語表記：poly vinyl alcohol sponge
詳細
PZT系強誘電体
英語表記：PZT family ferroelectric
詳細
Porous Law-k膜
英語表記：Porous Law-k film
詳細
P偏光 ブルースター角入射測定方 PPB
英語表記：infrared absorption spectroscopy with P-polarized radiation at Brewster angle
詳細
QFP
英語表記：Quad Flat Package
詳細
QFP
英語表記：quad flat package
詳細
QMS (四重極質量分析)
英語表記：Q u a d r Ⅱ 0 0 2 e M a s s Spectrometer
詳細
QMS (四重極質量分析)
英語表記：Q u a d r Ⅱ 0 0 1 e M a s s Spectrometer
詳細
QMS (四重極質量分析)
英語表記：Q u a d r Ⅱ 0 0 4 e M a s s Spectrometer
詳細
QMS (四重極質量分析)
英語表記：Q u a d r Ⅱ 0 0 3 e M a s s Spectrometer
詳細
R-SF
英語表記：Ring Stacking Fault
詳細
RAM
英語表記：reliability availability
maintainability
詳細
RCA洗浄
英語表記：RCA Cleaning
詳細
RCA洗浄
英語表記：RCA Cleaning
詳細
RC線路
英語表記：RC transmission line
詳細
RC遅延
英語表記：RC delay time
詳細
RF型加速器 RFQ型加速器
英語表記：radio frequency linac(linear accelerator)radio frequency quadrapole accelerator
詳細
RIBE
英語表記：Reactive Ion Beam Etching
詳細
RIE
英語表記：Reactive Ion Etching
詳細
RIE（反応性イオンエッチング）
英語表記：Reactive Ion Etching
詳細
RIEダメージ
英語表記：Reactive Ion Etching damage
詳細
ROMテストデータメモリ データメモリ
英語表記：ROM test data
memory
data memory
詳細
RPT
英語表記：Raw Process Time
詳細
RTA(高温短時間アニール)
英語表記：Rapid Thermal Anneal
詳細
RTL
英語表記：Resister Transfer Level
詳細
RTP
英語表記：rapid thermal process
詳細
RTP
英語表記：Rapid Thermal Process
詳細
RTP酸化
英語表記：oxidation by Rapid Thermal Processmg
詳細
RTP酸化
英語表記：oxidation by Rapid Thermal Processmg
詳細
ReRAM
英語表記：Resistive Random Access Memory
詳細
Ru、Ru0 2
英語表記：ruthenium, ruthenium dioxide
詳細
SACエッチング
英語表記：self-aligned contact etching
詳細
SBT系強誘電体
英語表記：SBT family ferroelectric
詳細
SC1
英語表記：Standard Clean 1
詳細
SC2
英語表記：Standard Clean 2
詳細
SCALPEL
英語表記：Scattering with Angular Limitation in Projection Electron-beam Lithography
詳細
SCM（サプライチェーン管理）
英語表記：Supply Chain Management
詳細
SDI FI
英語表記：silt density index
fouling index
詳細
SEAJ
英語表記：Semiconductor Equipment Association of Japan
詳細
SECS
英語表記：semiconductor
equipment
community
standard
詳細
SECS
英語表記：SEMI Equipment Communications Standard
詳細
SEMI
英語表記：Semiconductor Equipment and Materials Institute
詳細
SEMIスタンダード
英語表記：semi standards
詳細
SEM法
英語表記：SEM : Scanning Electron Microscopy
詳細
SIMOX
英語表記：separartion by implanted oxygen
詳細
SIMOX
英語表記：separartion by implanted oxygen
詳細
SIMOX SOIウェーハ
英語表記：separation by implantaion of oxygen SOI wafer
詳細
SMD(表面欠陥)
英語表記：Surface Micro Defect
詳細
SMIF
英語表記：standard mechanical
interface
詳細
SOG
英語表記：spin-on-glass
詳細
SOI
英語表記：Silicon on Insulator
詳細
SOI
英語表記：silicon on insulator
詳細
SOI技術
英語表記：Silicon On Insulator Technology
詳細
SOI結晶
英語表記：Silicon on Insulator
詳細
SOP/SOJ
英語表記：Small Outline Package/ Small Outline J-leaded package
詳細
SOS
英語表記：Silicon On Sapphire
詳細
SPM洗浄
英語表記：sulfuric acid-hydrogen peroxide mixture cleaning
詳細
SRAM
英語表記：Static Random Access Memory
詳細
SR露光装置 SOR露光装置
英語表記：synchtionrotron radiation
詳細
SSIS
英語表記：Society of Semiconductor Industry Specialists
詳細
STA
英語表記：Static Timing Analysis
詳細
STARC
英語表記：Semiconductor Technology Academic Research Center
詳細
STCセル構造
英語表記：STC cell structure
詳細
STI
英語表記：Shallow Trench Isolation
詳細
STIR
英語表記：site total indication reading
詳細
STIエッチング
英語表記：STI etching
詳細
Schmid因子
英語表記：Schmid factor
詳細
Seccoエッチング
英語表記：Secco etching
詳細
Si/Al界面
英語表記：Si/Al interface
詳細
Sirtl エッチング
英語表記：Sirtle etching
詳細
Siアイランド
英語表記：Si island
詳細
Siノジュール
英語表記：Si nodule
詳細
Si異方性エッチング
英語表記：Si anisotropic etching
詳細
Si高抵抗層析出
英語表記：Si precipitates with high resistance
詳細
Si酸化
英語表記：Silicon Oxidation
詳細
Si酸窒化
英語表記：nitridation of Silicon oxide
詳細
Si窒化
英語表記：Silicon nitridation
詳細
Sパラメータ
英語表記：S parameter
詳細
Sボンド S字ボンド
英語表記：S shape bond
詳細
T/F（トリムアンドフォーム）
英語表記：trim and form
詳細
T/F金型
英語表記：Trimming and Forming die
詳細
T/F装置
英語表記：Trimming and Forming equipment
詳細
TABテープ
英語表記：Tape Automated Bonding tape
詳細
TAT
英語表記：turn-around-time
詳細
TCP
英語表記：Tape Carrier Package
詳細
TCP/IP
英語表記：Transmission Control Protocol/Internet Protocol
詳細
TCT（温度サイクル試験）
英語表記：Temperature Cycling Test
詳細
TDDB
英語表記：Time Dependent Dielectric Breakdown
詳細
TDDB試験 酸化膜経時破壊試験
英語表記：time dependent dielectric breakdown
詳細
TDR キャリブレーション
英語表記：time domain refractometry calibration
詳細
TDS 全蒸発残留物
英語表記： total dissolved solid
詳細
TED BED
英語表記：transient enhanced
diffusion
boron enhanced
diffusion
詳細
TEG
英語表記：test elementary group
詳細
TEG
英語表記：Test Element Group: TEG
詳細
TEGを用いた信頼性試験
英語表記：reliability test using TEG (Test Element Group)
詳細
TEM法
英語表記：TEM: Transmission Electron Microscopy
詳細
TEOS
英語表記：tetra ethoxy silane
詳細
TEOS -03 CVD
英語表記：TEOSー03 CVD
詳細
TEOS-O₃ CVD
英語表記：TEOS-O3 atmospheric pressure CVD
詳細
THB（高温高湿バイアス試験）
英語表記：Temperature Humidity Bias test
詳細
TIR
英語表記：Total Indicator Reading
詳細
TIR GFLR GF3R
英語表記：total indicator reading gloval front least-squares range gloval front three points range
詳細
TMAH
英語表記：tetramethyl ammonium hydroxide
詳細
TMP
英語表記：tester management
processor
詳細
TOC 全有機炭素
英語表記：total organic carbon
詳細
TOC計 全有機炭素計
英語表記：total organic carbon analyzer
詳細
TOX 全有機ハロゲン化合物
英語表記：total organic
halogen
詳細
TTLアライメント
英語表記：through-the-lens alignment
詳細
TTLオートフォーカス
英語表記：through-the-lens auto focusing
詳細
TTRアライメント
英語表記：through-the-reticle alignment
詳細
TTV
英語表記：total thickness variation
詳細
Ti制御 Tiモニタ ジャンクション温度制御
英語表記：Ti controlTi monitorjunction temperature controll
詳細
ULPAフィルタ
英語表記：ultra low penetration air filterULPA filter
詳細
UPH
英語表記：unit per hour
詳細
UVドライ酸化
英語表記：UV dry oxidation
詳細
UV照射装置
英語表記：UV irradiatiion equipment
詳細
UV洗浄
英語表記：ultra-violet light cleaning
詳細
V/Iソース
英語表記：V/I source
詳細
VSWR測定
英語表記：VSWR measurement
詳細
Voronkov
英語表記：Voronkov
詳細
Vth
英語表記：threshold voltage
詳細
Vt差リファレンス
英語表記：reference voltage source based on Vt difference
詳細
Vシリーズモデル
英語表記：Vseries MODEM
詳細
WAN
英語表記：wide area network
詳細
WIP
英語表記：work in process
詳細
WIPトラッキング
英語表記：WIP tracking
詳細
WSA
英語表記：wafer surface analysis
詳細
Wrightエッチング
英語表記：Wright etching
詳細
X-Yステージ X-Yテーブル
英語表記：X-Y stage X-Y table
詳細
X-Y軸位置決め精度
英語表記：X-Y axis positioning accuracy
詳細
XYコーディネータ
英語表記：XY coordinator
詳細
X線トポグラフ法 XRT
英語表記：X-ray topography
詳細
X線リソグラフィ
英語表記：X-ray lithography
詳細
X線リソグラフィ
英語表記：X-ray lithography
詳細
X線回析法
英語表記：X-ray diffractometry
詳細
X線吸収端微細構造（XANES）
英語表記：X-ray Absorption Near-Edge Structure (XANES)
詳細
X線吸収微細構造（XAFS）
英語表記：X-ray absorption fine structure (XAFS)
詳細
X線検査装置
英語表記：X-ray inspection equipment
詳細
X線光電子分光法
英語表記：XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy
詳細
X線光電子分光法 XPS
英語表記：X-ray photoelectron spectroscopy
詳細
X線照射ダメージ
英語表記：X-ray irradiation damage
詳細
X線透視法
英語表記：radiographic technique
詳細
X線露光装置
英語表記：X-ray aligner
詳細
Z軸コントロール精度
英語表記：Z axis positioning
accuracy
詳細
n型半導体
英語表記：n-type semiconductor
詳細
pH測定
英語表記：pH measurement
詳細
pH調整剤注入装置
英語表記：pH adjustment equipment
詳細
pH調整装置
英語表記：pH control equipment
詳細
p型半導体
英語表記：p-type semiconductor
詳細
swp (表面波プラズマ)
英語表記：Surface Wave Plasma
詳細
tr ts
英語表記：rise time
fall time
詳細
van der Pauw法
英語表記：van der Pauw method
詳細
ｉ型半導体 真性半導体
英語表記：i-type semiconductor
詳細
じょ限量
英語表記：allowable
concentration
詳細
すべり系、すべり面
英語表記：slip system、slip
planc
詳細
そり
英語表記：sori, bow, warp
詳細
そり制御装置
英語表記：sori control system
詳細
といし軸
英語表記：wheel spindle
詳細
と粒
英語表記：abrasive grains
詳細
と粒率
英語表記：grain volume percentage
詳細
ならし成形
英語表記：mold conditioning process
詳細
はがれ 圧着はがれ
英語表記：peel off
bond lift off
non stick
詳細
はんだめっき
英語表記：solder plating
詳細
はんだディップ
英語表記：solder dipping
詳細
はんだディップ装置
英語表記：solder dipping equipment
詳細
はんだボール
英語表記：solder ball
詳細
はんだボール搭載装置
英語表記：solder ball mounter
詳細
はんだメッキ装置
英語表記：solder plating
詳細
はんだ材料
英語表記：Solder Material
詳細
はんだ浸し試験装置
英語表記：solder dip test
system
詳細
はんだ接合部疲労解析
英語表記：fatigue simulation of solder joints
詳細
ふっ酸モニタ
英語表記：hydrogen fluoride
monitor
詳細
ふっ酸過酸化水素洗浄液
英語表記：hydrofluoric acid hydrogen peroxide mixture cleaning solution
詳細
ふっ酸回収装置
英語表記：hydrofluoric acid
regenerator
詳細
ふっ酸添加純水
英語表記：HF added pure water
詳細
ふっ素イオン計
英語表記：fluoride ion monitor
詳細
ふっ素回収装置
英語表記：fluoride reclamation
equipment
詳細
ふっ素廃水処理装置
英語表記：fluorine waste water
treatment
equipment
詳細
へキサメチルジシラザン
英語表記：Hexamethyldisilazane :HMDS
詳細
へテロダイン検出
英語表記：heterodyne alignment
詳細
べクタ走査
英語表記：vector scan
詳細
るつぼ移動ストローク
英語表記：crucible lift travel
詳細
るつぼ移動速度
英語表記：crucible lift rate
詳細
るつぼ回転速度
英語表記：crucible rotation rate
詳細
るつぼ駆動機構
英語表記：crucible lift mechanism
詳細
るつぼ軸
英語表記：crucible shaft
詳細
ろ材誘電型エアフィルタ
英語表記：charged-media
electric air filter
詳細
アークチャンバ
英語表記：arc chamber
詳細
アークランプ アニール装置
英語表記：arc lamp annealer
詳細
アース棒
英語表記：earth bar grounding bar
詳細
アイススクラブ洗浄
英語表記：ice scrubber cleaning
詳細
アイダイアグラムマスクテスト
英語表記：eye diagram mask test
詳細
アイランド ダイバッド
英語表記：die pad
詳細
アイランドダウン ディプレス
英語表記：depressed die pad
詳細
アインシュタインの関係式
英語表記：Einstein's equation
詳細
アウタリード
英語表記：outer lead
詳細
アウタリードボンダ
英語表記：Outer Lead bonder
詳細
アウタリードボンディング
英語表記：outer lead bonding
詳細
アウタリードボンディング アウタリードボンダ
英語表記：outer lead bonding
outer lead bonder
詳細
アクセプタ準位
英語表記：acceptor level
詳細
アクティブダンパ
英語表記：active amper
詳細
アスペクト比
英語表記：aspect ratio
詳細
アスペクト比
英語表記：Aspect Ratio
詳細
アスペクト比
英語表記：aspect ratio
詳細
アズカットウェーハスライドウェーハ
英語表記：as-cut wafer sliced wafer
詳細
アッシング機構
英語表記：ashing mechanism
詳細
アッシング装置
英語表記：ashing system
詳細
アトミック･レイヤー･エッチング
英語表記：Atomic Layer Etching
詳細
アトムプローブ電界イオン顕微鏡
英語表記：Atom Probe Field Ion Microscope: APFIM
詳細
アドヒージョンユニット
英語表記：adhesion unit
詳細
アドレスサイズ
英語表記：address unit
詳細
アドレススクランブル機能
英語表記：address scramble function
詳細
アドレスマルチ機能
英語表記：address multiplex function
詳細
アナログ・テジタル混載
英語表記：LSI(analog・digital mixed LSI)
詳細
アニーリング（熱処理）
英語表記：annealing
詳細
アニール(熱処理)
英語表記：Annealing
詳細
アニール・拡散
英語表記：annealing and diffusion
詳細
アニール温度
英語表記：annealing temperature
詳細
アニール均一性
英語表記：annealing uniformity
詳細
アニール室
英語表記：annealing chamber
詳細
アニオン交換樹脂
英語表記：anion exchange
resin
詳細
アニオン交換樹脂塔
英語表記：anion exchanger
詳細
アハラノフ・ボーム（AB）効果
英語表記：Aharonov-Bohm effect
詳細
アフターコロージョン
英語表記：アフターコロージョン
詳細
アフタキュア ポストキュア
英語表記：after cure
post cure
詳細
アフタコロージョン
英語表記：after-corrosion
詳細
アモルファスフロロカーボン
英語表記：a-C:F:amorphous fluorocarbon
詳細
アライメントオフセット
英語表記：alignment offset
詳細
アライメントスコープ
英語表記：alignment scope
詳細
アライメントステージ
英語表記：alignment stage
詳細
アライメントマーク 合せマーク
英語表記：alignment mark
詳細
アライメント精度
英語表記：alignment accuracy
詳細
アライメント精度
英語表記：alignment accuracy
詳細
アライメント精度 位置合せ精度
英語表記：alignment accuracy
詳細
アルゴリズミック パターン発生器 ALPG
英語表記：algorithmic pattern
genetator
詳細
アルミナ基板
英語表記：alumina substrate
詳細
アルミナ砥粒
英語表記：alumina abrasive
詳細
アルミニウムワイヤ
英語表記：aluminum wire
詳細
アルミニウム配線
英語表記：aluminum conductor
詳細
アルミ腐食
英語表記：aluminum corrosion
詳細
アレニウスグラフ アレニウスプロット
英語表記：Arrhenius graph
Arrhenius plot
dependence of life
time on
temperature plot
詳細
アレニウスプロット
英語表記：Arrhenius plot
詳細
アレニウス則
英語表記：Arrhenius model
詳細
アロイスパイク
英語表記：alloy spike
詳細
アンダーソン局在
英語表記：Anderson localization
詳細
アンダーフィル
英語表記：underfill
詳細
アンダエッチング
英語表記：under-etching
詳細
アンダエッチング
英語表記：under etching
詳細
アンダカット サイドエッチング
英語表記：undercut
side etching
詳細
アンチモン化ガリウム
英語表記：Gallium antimonide
詳細
アンテナ比
英語表記：antenna retio
詳細
イオンアシスト反応
英語表記：lon¯assisted reactions
詳細
イオンインプランテーション
英語表記：ion implantation
詳細
イオンエネルギー分析
英語表記：ion energy analysis
詳細
イオンクロマトグラフ
英語表記：ion chromato graph
詳細
イオンビーム スパッタリング装置
英語表記：ion beam sputtering system
詳細
イオンビームエッチング装置
英語表記：ion beam etching equipment
詳細
イオンビームエッチング装置 イオンミリング装置
英語表記：ion beam etching
system
ion milling system
詳細
イオンビームプロセス
英語表記：ion beam process
詳細
イオンビームリソグラフィ
英語表記：ion beam lithography
詳細
イオンプレーティング装置
英語表記：ion plating system
詳細
イオンマイクロプローブ分析法 IMMA
英語表記：ion mocro probe mass analysis method
詳細
イオンミリング
英語表記：ion milling
詳細
イオン温度
英語表記：Ionic temperature
詳細
イオン化断面積
英語表記：Ionization cross section
詳細
イオン化不純物散乱
英語表記：ionized impurity scattering
詳細
イオン交換樹脂
英語表記：ion exchange resin
詳細
イオン交換樹脂交換容量 イオン交換容量
英語表記：ion exchange
capacity
詳細
イオン交換装置
英語表記：ion exchange
equipment
詳細
イオン交換膜
英語表記：ion exchange
membrance
詳細
イオン散乱過程
英語表記：ion scattering
詳細
イオン照射
英語表記：ionic bombardment
詳細
イオン注入
英語表記：ion implantation
詳細
イオン注入
英語表記：Ion Implantation
詳細
イオン注入 イオン打込み
英語表記：ion implantation
詳細
イオン注入ダメージ
英語表記：Implant Damage
詳細
イオン注入プロセス
英語表記：ion implantation process
詳細
イオン注入応用技術
英語表記：ion beam application
詳細
イオン注入過程
英語表記：ion implantation process
詳細
イオン注入装置
英語表記：Ion Implantation System
詳細
イオン注入装置
英語表記：ion implanter
詳細
イオン注入誘起欠陥
英語表記：ion-induced lattice
defect
詳細
イオン電流密度
英語表記：ion current density
詳細
イオン分解能
英語表記：mass resolution
詳細
イナージェンガス消火設備
英語表記：inergen gas
extinguishing
system
詳細
イマージョンレンズ
英語表記：Immersion lens
詳細
イメージセンサテストシステム
英語表記：image sensor test
system
詳細
イメージプロセッサユニット IPU
英語表記：image processor
unit
詳細
イメージリバーサルプロセス
英語表記：Image reversal process
詳細
イルミネータ
英語表記：illuminator
詳細
インカ マーカ
英語表記：inker
marker
詳細
インカ（マーカ）
英語表記：inker (marker)
詳細
インクジェット式マーキング装置
英語表記：inkjet printer
詳細
インクマーク
英語表記：ink marking
詳細
インクマーク装置
英語表記：ink marker
詳細
インゴット回転式切断機
英語表記：rotating ingot slicing machine
詳細
インゴット端面形状測定装置
英語表記：ingot end face bow measuring system
詳細
インサートリング フロッグリング インターフェースリング ハウジング ポゴタワー
英語表記：insert ring
frog ring
interface ring
housing
pogo tower
詳細
インジェクタノズル
英語表記：injector nozzle
詳細
インスペクション
英語表記：inspection
詳細
インターナルギア
内歯歯車
英語表記：internal gear
詳細
インタフェースタイミング
英語表記：interface timing
詳細
インタフェースユニット
英語表記：interface unit
詳細
インデクサ フィーダ
英語表記：indexer
詳細
インデックスタイム
英語表記：index time
詳細
インデックス送り
英語表記：indexing
詳細
インデックス量
英語表記：index amount
詳細
イントリンシック
英語表記：intrinsic gettering
詳細
イントリンシックゲッタリング
英語表記：Intrinsic Gettering, Internal Gettering:
IG
詳細
インナリード
英語表記：inner lead
詳細
インナリード／アウタリード
英語表記：inner-lead/outer-lead
詳細
インナリードボンダ
英語表記：Inner Lead bonder
詳細
インナリードボンディング
英語表記：inner lead bonding
詳細
インナリードボンディング インナリードボンダ
英語表記：inner lead bonding
inner lead bonder
詳細
インバータ（Inverter）回路
英語表記：
詳細
インフィード研削
英語表記：infeed grinding
詳細
インプリント特性
英語表記：imprint characteristics
詳細
インプロセスゲージ IPG
英語表記：in-process gauge
詳細
インラインガスフィルタ
英語表記：in-line gas filter
詳細
インラインシステム
英語表記：inline system
詳細
インラインパーティクノレモニタ
英語表記：inline depth detecting monitor
詳細
インラインヒータ
英語表記：inline heater
詳細
インライン深さ検出モニタ
英語表記：inline depth detecting monitor
詳細
ウインドウコンパレータ
英語表記：window comparator
詳細
ウェーハ シッピングボックス（出荷容器）
英語表記：wafer shipping box
詳細
ウェーハ 自動移動装置
英語表記：wafer automatic transfer system
詳細
ウェーハ・ローディング・アンローディング
英語表記：wafer loading/ unloading
詳細
ウェーハアライメント
英語表記：wafer alignment
詳細
ウェーハエンド
英語表記：wafer end
詳細
ウェーハカセット
英語表記：wafer cassette
詳細
ウェーハクーリング ステージ
英語表記：wafer cooling stage
詳細
ウェーハスケーリング
英語表記：wafer scaling
詳細
ウェーハステージ
英語表記：wafer stage
詳細
ウェーハチェンジャ
英語表記：wafer changer
詳細
ウェーハチャック
英語表記：wafer chuck
詳細
ウェーハツイスト
英語表記：wafer twist
詳細
ウェーハテーブル 吸着ステージチャック
英語表記：wafer table
chuck
詳細
ウェーハテープ
英語表記：wafer tape
詳細
ウェーハテープホットブロー
英語表記：wafer tape hot blow
詳細
ウェーハティルト
英語表記：wafer tilt
詳細
ウェーハティルト ウェーハレベリング
英語表記：wafer tilting
wafer leveling
詳細
ウェーハテスト ウェーハソート プローブテスト EDSテスト
英語表記：wafer test
wafer sort
probe test
electrical die sot
test
詳細
ウェーハディスク
英語表記：wafer disk
詳細
ウェーハディストーション
英語表記：wafer distortion
詳細
ウェーハフレーム ウェーハリング
英語表記：wafer frame
詳細
ウェーハフレームカセット
英語表記：wafer frame cassette
詳細
ウェーハプローバ プローバ
英語表記：wafer prober
詳細
ウェーハホイスト
英語表記：wafer hoist
詳細
ウェーハマウンタ
英語表記：wafer mounter
詳細
ウェーハマップ
英語表記：wafer map
詳細
ウェーハレベルCSP
英語表記：wafer level CSP
詳細
ウェーハレベルバーンイン装置 WLBI装置 ウェーハバーンイン装置
英語表記：wafer level burn-in
system
wafer burn-in
system
詳細
ウェーハレベルパッケージング
英語表記：wafer level packaging
詳細
ウェーハローテーション
英語表記：wafer rotation error
詳細
ウェーハ異物検査装置
英語表記：wafer inspection equipment
詳細
ウェーハ間均一性
英語表記：wafer to wafer uniformity
詳細
ウェーハ間注入均一性
英語表記：wafer-to-wafer uniformity
詳細
ウェーハ形状認識
英語表記：wafer profile recognition
詳細
ウェーハ内注入均一性
英語表記：dose uniformity
詳細
ウェーハ表面検査
英語表記：wafer surface inspection
詳細
ウェーブガイド 分析官
英語表記：wave guide
analyzing chamber
詳細
ウェーブフォームアナライザ WFA ウェーブトレーサ
英語表記：wave form analyzer
wave tracer
詳細
ウェッジボンディング ウェッジボンダ
英語表記：wedge bonding
wedge bonder
詳細
ウェットエッチング
英語表記：wetetching
詳細
ウェットエッチング機構
英語表記：wet etching mechanism
詳細
ウェットエッチング装置
英語表記：wet etching equipment
詳細
ウェットエッチング装置
英語表記：wet etching system
詳細
ウェット式レジスト剥離装置
英語表記：wet type resist stripping system
詳細
ウェハプローバ
英語表記：wafer prober
詳細
ウェハ加工
英語表記：wafer marking
詳細
ウェハ固定
英語表記：wafer chucking
詳細
ウェハ冷却機構
英語表記：wafer cooling structure
詳細
ウェル形成
英語表記：well fabrication
詳細
ウエートアジャスタ
英語表記：wait adjuster
詳細
ウエーハピッチ
英語表記：wafer pitch
詳細
ウエーハホルダ
英語表記：wafer holder
詳細
ウエーハ加熱機構
英語表記：wafer heating mechanisum
詳細
ウエーブスキャン
英語表記：wave scan
詳細
ウエッジツール
英語表記：wedged tool
詳細
ウエットエッチング
英語表記：Wet Etching
詳細
ウエハプロセス総論
英語表記：wafer process overview
詳細
ウォーターバック方式
英語表記：water-back system
詳細
ウォーターマーク
英語表記：water mark
詳細
ウォーターマーク
英語表記：water mark
詳細
ウォータポリシング 水研磨
英語表記：water polishing
詳細
ウォールアングル ショルダアングル テーパ角
英語表記：wall angle
shoulder angle
taper angle
詳細
エアーソルダ
英語表記：air soldering
詳細
エアーバック方式
英語表記：air-back system
詳細
エアアイソレーション
英語表記：air isolation
詳細
エアカーテン
英語表記：air curtain
詳細
エアテンション
英語表記：air tension
詳細
エアワッシャ
英語表記：air washer
詳細
エア加圧方式
英語表記：air pressure type
詳細
エキシマレーザ
英語表記：excrmer laser
詳細
エキシマレーザ露光
英語表記：excimer laser exposure
詳細
エキストリンシックゲッタリング
英語表記：Extrinsic Gettering
: IG
詳細
エキスバンドステージ
英語表記：expand stage
詳細
エキスバンド装置 エキスパンド率
英語表記：expansion ratio
詳細
エクステンション
英語表記：Extension
詳細
エクストリンシックゲッタリング
英語表記：extrinsic gettering
詳細
エクストリンシックゲッタリング
英語表記：Extrinsic Gettering, External Gettering: IG
詳細
エサキ効果
英語表記：Esaki effect
詳細
エックス線光電子分光法
英語表記：X-ray Photoelectron Spectroscopy
詳細
エッジ エクスクルージョン
英語表記：edge exclusion
詳細
エッジイクスクルージョン
英語表記：edge exclusion
詳細
エッジコレクション
英語表記：edge correction
詳細
エッジセンサ
英語表記：edge sensor
詳細
エッジセンサ
英語表記：edge sensor
詳細
エッジリンス エッジクリーン
英語表記：
edge bead remover
E.B.R.
詳細
エッチストップ
英語表記：etch stop
詳細
エッチストップ
英語表記：ecth stop
詳細
エッチストップ
英語表記：etch stop
詳細
エッチドウェーハ エッチングウェーハ
英語表記：etched wafer etching wafer
詳細
エッチバック
英語表記：etchi bakku
詳細
エッチファクタ
英語表記：etch factor
詳細
エッチングダメージ
英語表記：etching damage
詳細
エッチングプロセス
英語表記：etching process
詳細
エッチングリードフレーム
英語表記：etching lead-frame
詳細
エッチング開口率
英語表記：exposed area ratio
詳細
エッチング均一性
英語表記：etch uniformity
詳細
エッチング均一性
英語表記：etching uniformity
詳細
エッチング残渣
英語表記：etch residue
詳細
エッチング室
英語表記：etching chamber
詳細
エッチング終点検出
英語表記：etching end point detection
詳細
エッチング終点検出機構
英語表記：etching end-point detection
詳細
エッチング選択比 エッチング選択制
英語表記：etch selectivity
詳細
エッチング装置
英語表記：etching system
詳細
エッチング装置
英語表記：etching equipment
詳細
エッチング速度
英語表記：etch rate
詳細
エッチング特性
英語表記：etching characteristics
詳細
エッチング反応生成物
英語表記：creative product by etching reaction
詳細
エネルギー コンタミネーション
英語表記：energy
contamination
詳細
エネルギー分散X線分光法
英語表記：energy dispersive X-ray spectroscopy
詳細
エピタキシャルウエーハ
英語表記：epitaxial wafer
詳細
エピタキシャル成長
英語表記：epitaxial growth
詳細
エピタキシャル成長機構
英語表記：epitaxial growth mechanism
詳細
エピタキシャル成長装置
英語表記：epitaxial growth systems
詳細
エピタキシャル成長装置
英語表記：epitaxial growth system
詳細
エピタキシャル層欠陥
英語表記：epitaxial defect
詳細
エピタキシャル膜厚測定方法
英語表記：measurement method of epitaxial layer thickness
詳細
エミッション顕微鏡法
英語表記：Emission microscopy
詳細
エリプソメトリ膜厚測定
英語表記：elipsometry thickness measurement
詳細
エレクトレットエアフィルタ
英語表記： electric air filter
詳細
エレクトロマイグレーション
英語表記：electromigration
詳細
エレクトロマイグレーション
英語表記：electromigration
詳細
エレクトロマイグレーション(EM)
英語表記：Electro-Migration
詳細
エレクトロンサプレッサ バイアス
英語表記：electron suppressor
bias
詳細
エレクトロンフラッドガン
英語表記：electron flood gun
詳細
エレベーテッド・ソース・ドレイン
英語表記：Elevated Souece Drain
詳細
エンドステーション
英語表記：end-station
詳細
エンドレス バンドソー
英語表記：endless band saw
詳細
オージェ電子出現電位分光法
英語表記：auger electron appearance spectroscopy
詳細
オージェ電子分光(AES)
英語表記：Auger Electron Spectroscopy
詳細
オージェ電子分光法
英語表記：Auger Electron Spectroscopy
詳細
オージェ電子分光法 AES
英語表記：auger electron spectroscopy
詳細
オーディオ信号測定機能
英語表記：audio signal
measurement
詳細
オートカッタセット オートセットアップ
英語表記：automatically cutter
set
automatically set-up
詳細
オートキャリブレーション機能
英語表記：automatic calibration function
詳細
オートセットアップ
英語表記：auto set up
詳細
オートダンパ カップ内排気
英語表記：automatic damper
sequential damper
exhaust for coater
exhaust for
developer
詳細
オートドーピング
英語表記：autodoping
詳細
オートドーピング
英語表記：autodoping
詳細
オーバ ポリッシュ
英語表記：over polish
詳細
オーバーサンプル型D/A変換器
英語表記：over-sampled D/A converter
詳細
オーバーポリッシング
英語表記：over polishing
詳細
オーバエッチング
英語表記：over-etching
詳細
オーバサンプルA/D変換器
英語表記：over sample A/D converter
詳細
オーバサンプル型D/A変換器
英語表記：Oversampled D/A Converter
詳細
オーバトラベル オーバドライブ くい込み量
英語表記：over travel
over drive
詳細
オーバドライブ
英語表記：over drive
詳細
オーバフローリンス
英語表記：over flow rinse
詳細
オーバヘッド時間
英語表記：overhead time
詳細
オーブン温度分布 オーブン温度均一性
英語表記：baking temperature
uniformity
詳細
オープンカセット O.C.
英語表記：open cassette
詳細
オープンショートチェッカ
英語表記：open short checker
詳細
オープンマニュファクチャリング
英語表記：open manufacturing
詳細
オーミックコンタクト
英語表記：Ohmic contact
詳細
オールメタル製ガス供給システム
英語表記：all metal gas
supplying system
詳細
オゾンアッシング装置
英語表記：ozone asher
詳細
オゾンモニタ
英語表記：ozone monitor
詳細
オゾン酸化
英語表記：ozone oxidation
詳細
オゾン水
英語表記：ozonized water
詳細
オゾン層破壊
英語表記：ozone depletion
詳細
オゾン添加超純水
英語表記：ozonized ultrapure water
詳細
オファクシスアライメント
英語表記：off axis alignment
詳細
オフアクシスアライメント
英語表記：off-axis alignment
詳細
オフセットコントロール
英語表記：offset control
詳細
オフセット印刷機
英語表記：offset printing press
詳細
オフライン処理
英語表記：off line process
詳細
オペレーションボックス
英語表記：operation box
詳細
オリエンテーションフラット オリフラ
英語表記：orientation flat
詳細
オリフラ合わせ機構
英語表記：orientation flat aligner
詳細
オリフラ整合装置
英語表記：orientation flat arrange equipment
詳細
オンアクシスアライメント
英語表記：on-axis alignment
詳細
オンザフライ リンクブロー
英語表記：on-the-fly
link-blow
詳細
オンザフライスプリット RTTC RTWC
英語表記：on-the-fly
split
real time timing
control
real time wave
control
詳細
オンライン処理
英語表記：on line process
詳細
カーケンドールボイド
英語表記：Kirkendall void
詳細
カスケードドライバ
英語表記：cascaded driver
詳細
カスコード型差動増幅器
英語表記：Cascoded differential amplifier
詳細
カセットID
英語表記：cassette ID
詳細
カセット ツー カセット
英語表記：cassette-to-cassette handling
詳細
カセット マガジン
英語表記：cassette magazine
詳細
カセットトランスファ
英語表記：cassette transfer
詳細
カセットレス洗浄装置
英語表記：cassetteless wet cleaning equipment
詳細
カセット洗浄装置
英語表記：cassette cleaning equipment
詳細
カソード ターゲット電極
英語表記：cathode target electrode
詳細
カソードルミネッセンス法
英語表記：CL: Cathodoluminescence
詳細
カチオン交換樹脂
英語表記：cation exchange
resin
詳細
カチオン交換樹脂塔
英語表記：cation exchanger
詳細
カットラインチェック カーフチェック
英語表記：kerf inspection
詳細
カップリンス
英語表記：bowl rinse
詳細
カップ温湿度調整
英語表記：cup temperatureーhumidity controller
詳細
カップ温度湿度調整
英語表記：bowl temperature
and humidity control
詳細
カテゴリ ビン
英語表記：category
bin
詳細
カメラツールオフセット
英語表記：camera-tool offset
詳細
カラーフィルタ試験
英語表記：coler filter test
詳細
カラムアライメント
英語表記：column alignment
詳細
カラムコントロール
英語表記：column control
詳細
カルコパイライト型三元化合物半導体
英語表記：ternary chalcopyrite type compound semiconductors
詳細
カンチレバー
英語表記：cantilever
詳細
カンチレバープロービングカード
英語表記：cantilever probing card
詳細
ガイドローラ ガイドプーリー
英語表記：guide roller guide pulley
詳細
ガウシアンビーム
英語表記：Gaussian beam,叩ot beam
詳細
ガス・粒子変換
英語表記：gas to particle
conversion
詳細
ガスクロマトグラフ
英語表記：gas chromatograph
詳細
ガスクロマトグラフィ質量分析計 GCｰMS
英語表記：gas chromatography
mass spectrometer
詳細
ガスクロマトグラフィ質量分析法
英語表記：GC-MS: Gas Chromatography Mass Spectrometry
詳細
ガスソースMBE
英語表記：gas source MBE
詳細
ガスソース分子線エピタキシャル成長装置 MOMBE装置 CBE装置
英語表記：gas source molecular beam epitaxial growth system metal organic molecular beam epitaxial growth system chemical beam epitaxial system
詳細
ガス希釈器
英語表記：gas dilution system
詳細
ガス供給センタ
英語表記：total gas supply
system
詳細
ガス精製装置
英語表記：gas purifier
詳細
ガス導入系
英語表記：gas feed system
詳細
ガス濃度検出器
英語表記：gas concentration
sensor
詳細
ガス配管接合技術
英語表記：gas pipeline
installation
technology
詳細
ガス溶存水洗浄
英語表記：gas disolved water cleaning
詳細
ガス漏れ警報器
英語表記：gas leakage detector
alarm
詳細
ガラスエポキシ樹脂基板
英語表記：glass epoxy resin board
詳細
ガラス基板
英語表記：glass substrate
詳細
ガラス転移点
英語表記：glass transition temperature
詳細
ガラス封止装置
英語表記：glass frit sealing
equipment
詳細
キナルジン酸
英語表記：quinaldic acid
詳細
キネマチックカップリング
英語表記：kinematic coupling
詳細
キャドナビゲーション
英語表記：CAD navigation
詳細
キャビテーション洗浄
英語表記：cavitation jet cleaning
詳細
キャリーオーバ
英語表記：carry over
詳細
キャリア
英語表記：wafer carrier
詳細
キャリアの凍結
英語表記：carrier freeze out
詳細
キャリアガス
英語表記：carner gas
詳細
キャリブレーションボード
英語表記：calibration board
詳細
キャリヤガス
英語表記：carrier gas
詳細
キャリヤガス
英語表記：carrier gas
詳細
キャリヤサイズ
英語表記：carrier size
詳細
キャリヤテープ ボート
英語表記：carrier tape
boat
詳細
キャリヤボックス
英語表記：carrier box
詳細
キャリヤラック
英語表記：carrier rack
詳細
キュアタイム
英語表記：curing time
詳細
キュア装置
英語表記：curing oven
詳細
キレート剤
英語表記：chelate agent
詳細
キレート剤添加洗浄薬品
英語表記：chelating agent added cleaning chemical
詳細
キレート樹脂吸着塔
英語表記：chelate resin column
詳細
クーリングステージ
英語表記：cooling stage
詳細
クーリングプレート
英語表記：chill plate
詳細
クーロンブロッケード
英語表記：Coulomb blockade
詳細
クーロン効果
英語表記：Coulomb interaction
詳細
クーロン散乱
英語表記：Coulomb scattering
詳細
クイックコネクタ
英語表記：quick connector
quick disconnecting
coupling
詳細
クイックダンプリンス
英語表記：quick dump rinse
詳細
クエン酸洗浄
英語表記：citric acid cleaning
詳細
クヌーセン セル
英語表記：Knudsen cell
詳細
クヌッセンセル
英語表記：knudsen cell
詳細
クラスタ・イオンビーム蒸着装置
英語表記：ionized cluster beam evaporation system
詳細
クラスタイオンビーム法
英語表記：cluster ion beam method
詳細
クラスタツール
英語表記：cluster tool
詳細
クラッシュフォーミング
英語表記：crash forming
詳細
クラマース・クローニッヒの関係式
英語表記：Kramers - Kronig relation
詳細
クリードラフトチャンバ
英語表記：clean draft chamber
詳細
クリープフィード研削
英語表記：creepfeed grinding
詳細
クリーンエレベータ
英語表記：clean elevator
詳細
クリーンチューブシステム CTS
英語表記：clean tube system
CTS
詳細
クリーントイレ
英語表記：clean toilet
詳細
クリーントンネル
英語表記：clean tunnel
詳細
クリーンドライエア
英語表記：clean dried air
詳細
クリーンブース
英語表記：clean booth
詳細
クリーンベンチ 清浄作業台
英語表記：clean bench
clean work station
詳細
クリーンペーパー
英語表記：clean paper
詳細
クリーンルーム
英語表記：clean room
詳細
クリーンロッカー
英語表記：clean locker
詳細
クリーンロボット
英語表記：clean robot
詳細
クリーン手洗器
英語表記：clean hand washer
詳細
クレータリング
英語表記：cratering
詳細
クローズド システム
英語表記：closed system
詳細
クローズド マニュファクチャリング
英語表記：closed
manufacturing
詳細
クロスオーバ
英語表記：cross over
詳細
クロスコンタミネーション
英語表記：cross contamination
詳細
クロスコンタミネーション
英語表記：cross contamination
詳細
クロマ信号測定機能
英語表記：chroma signal
measurement
詳細
グラインディングホイール
英語表記：grinding wheel
詳細
グラファイトヒータ アニール装置
英語表記：graphite heater annealer
詳細
グリッパフィーダ
英語表記：index gripper
詳細
グループローラ メインローラ 溝車
英語表記：grooved roller main roller
詳細
グレーティングパネル
英語表記：grated panel
詳細
グローバルアライメント
英語表記：global alignment
詳細
グローバルティルト グローバルレベリング
英語表記：global tilting
global leveling
詳細
グローバルプラナリゼーション
英語表記：global planarization
詳細
グローバル配線
英語表記：global wiring
詳細
グロスリークテスト
英語表記：gross leak testing
詳細
ケーキホッパ
英語表記：cake hopper
詳細
ケイ素（シリコン）
英語表記：silicon
詳細
ケミカルエアフィルタ ガス除去用エアフィルタ
英語表記：chemical air filter
詳細
ケミカルドライエッチング (CDE)装置
英語表記：Chemical Dry Etching equipment : CDE equipment
詳細
ケミカル汚染
英語表記：chemical
contamination
詳細
ケルビン接続
英語表記：kelvin contact
詳細
ゲート・スタック
英語表記：Gate Stack
詳細
ゲートインサートピース
英語表記：gate insert piece
詳細
ゲートカット
英語表記：gate cutting
詳細
ゲートバルブ
英語表記：gate valve
詳細
ゲートバルブ
英語表記：gate valve
詳細
ゲート残り
英語表記：remaining gate
詳細
ゲート接地増幅回路
英語表記：Grounded gateamp lifiercir
詳細
ゲート絶縁耐圧
英語表記：gate breakdown voltage
詳細
ゲート絶縁膜
英語表記：gate dielectrics
詳細
ゲル型イオン交換樹脂
英語表記：gel type ion exchange resin
詳細
コ・ポリマー
英語表記：co-polymer
詳細
コージェネレーション
英語表記：cogeneration
詳細
コールドウォール
英語表記：cold wall
詳細
コールドエバポレータ
英語表記：cold evaporator
詳細
コッククロフト
英語表記：cockcroft
詳細
コヒーレンス度
英語表記：coherence factor
詳細
コプラナリティ
英語表記：coplanarity
詳細
コリメート スパッタリング
英語表記：collimate sputtering
詳細
コリメートスパッタ
英語表記：collimated sputtering
詳細
コレットヒータ
英語表記：collet heater
詳細
コロイダルシリカ
英語表記：colloidal silica
詳細
コンスタントヒートツール
英語表記：constant
temperature
constant heat tool
詳細
コンタクト/ビア
英語表記：contact/via hole
詳細
コンタクト/ビア形成
英語表記：contact/via formation
詳細
コンタクトチェック
英語表記：contact check
詳細
コンタクトプロキシミティ露光装置
英語表記：contact proximity
詳細
コンタクトホール
英語表記：contact hole
詳細
コンタクトボード
英語表記：contact board
詳細
コンタクト高抵抗化要因
英語表記：high contact resistance Issues
詳細
コンタクト抵抗の低抵抗化
英語表記：reduction Of contact res1Stance
詳細
コンタミネーション
英語表記：contamination
詳細
コンタミ量
英語表記：contamination level
詳細
コンダクタンス法
英語表記：conductance method
詳細
コンディショニング ドレッシング
英語表記：conditioning
dressing
詳細
コンバージョンキット
英語表記：conversion kit
詳細
コンパレータ
英語表記：comparator
詳細
コンピュータ支援故障解析手法
英語表記：CAFA : Computer Aided Failure Analysis
詳細
ゴースト法
英語表記：GOHST method
詳細
サーチスピード
英語表記：search speed
詳細
サーチレベル
英語表記：search level
詳細
サービスエリア
英語表記：service area
詳細
サーマルチャンバ
英語表記：thermal chamber
詳細
サーマルビア
英語表記：thermal via
詳細
サイクルタイム
英語表記：cycle time
詳細
サイクル時間
英語表記：cycle time
詳細
サイクル処理時間
英語表記：cycle time
詳細
サイクロトロン共鳴
英語表記：cyclotron resonance
詳細
サイトFPD SBID SFLD SF3D SFQD
英語表記：site focal plane deviation site back ideal deviation site front least-squares global deviation site front three points deviation site front least-squares site deviation
詳細
サイトTIR SBIR SFLR SF3R SFQR
英語表記：site total indicator reading site back ideal range (local thickness variation) site front least-squares global range site front three points range site front least-squares range
詳細
サイトアレイ
英語表記：site array
詳細
サブシステム ポリッシングシステム
英語表記：subsystem
詳細
サブストレート
英語表記：substrate
詳細
サマリデータ
英語表記：summary data
詳細
サリサイド
英語表記：salicide : self-aligned silicide
詳細
サンプリング デジタイザ
英語表記：sampling digitizer
詳細
サンプルアンドディファレンス
英語表記：sample and
difference
詳細
シーケンシャルパターン発生器 SQPG
英語表記：sequential pattern
generator
詳細
シート抵抗測定
英語表記：sheet resistance measurement
詳細
シードチャック
英語表記：seed chuck
詳細
シード移動ストローク
英語表記：seed lift travel
詳細
シード移動速度
英語表記：seed lift rate
詳細
シード回転速度 結晶回転速度 S／R
英語表記：seed rotation rate crystal rotation
詳細
シーム溶接装置
英語表記：parallel seam
resistance
welding
equipment
詳細
シールドルーム
英語表記：shielding room
詳細
シクロプタン誘導体
英語表記：cyclobutane derivative
詳細
システムLSI
英語表記：system LSI
詳細
システムLSIテストシステム SoCテストシステム ミックスドシグナルテストシステム
英語表記：system LSI test
system
system on chip test
system
mixed signal test
system
詳細
シャロー ジャンクション
英語表記：shallow junction
詳細
シャワー板 カソード
英語表記：shower plate cathode
詳細
シュムープロット
英語表記：shmoo plot
詳細
ショットキバリア
英語表記：Schottky barrier
詳細
ショットキ効果
英語表記：Schottky effect
詳細
ショットキ障壁
英語表記：Schottky barrier
詳細
ショットスケーリング ショット倍率
英語表記：shot scaling
詳細
ショットローテーション
英語表記：shot rotation
詳細
ショット雑音
英語表記：Shot noise
詳細
ショット数
英語表記：number Of shots
詳細
シリカ計
英語表記：silica analyzer
詳細
シリコントレンチ
英語表記：silicon trench
詳細
シリコンバレー
英語表記：Silicon Valley
詳細
シリコン基板
英語表記：silicon substrate
詳細
シリコン酸化膜
英語表記：silicon dioxide
詳細
シリコン単結晶の物性
英語表記：physical properties
of single crystal
詳細
シリコン単結晶成長
英語表記：silicon single
crystal growth
詳細
シリコン融液対流
英語表記：silicon liquid phase convection
詳細
シリサイド化
英語表記：silicidation
詳細
シリル化プロセス
英語表記：silyl process
詳細
シリル化処理装置
英語表記：silylation system
詳細
シリンダキャビネット
英語表記：cylinder cabinet
詳細
シリンダボンベ 内部研磨クリーンボンベ
英語表記：cylinder
ultra clean cylinder
詳細
シロキサン結合
英語表記：siloxane bonding
詳細
シンギュレーションセパレート
英語表記：singulation separate
詳細
シングルカセットロータ
英語表記：single cassette rotor
詳細
ジーメンス法
英語表記：siemens method
詳細
ジアゾナフトキノン感光剤
英語表記：diazonapthoquinone Photo active compound
詳細
ジッタ測定器 時間解析器 タイムメジャーメントデジタイザ
英語表記：time analizer
詳細
ジャストエッチング
英語表記：just etching
詳細
ジャム率
英語表記：jamming rate
詳細
ジャンクションスパイク
英語表記：junction spike
詳細
ジルコニアスラリー
英語表記：zirconium slurry
詳細
スーパーボルテージ機能
英語表記：super voltage
function
詳細
スーパバッファメモリ SBM HBM
英語表記：super buffer
memory
詳細
スイープ測定サーチ
英語表記：sweep mesurement
詳細
スイッチング特性
英語表記：switching characteristic
詳細
スキップ測定
英語表記：skip measurement
詳細
スキャナーサイトフラットネス SFFD SFSR
英語表記：scanner site flatnesss site front least-squares subsite deviation site front least-squares subsite range
詳細
スキャンディレクション
英語表記：scan direction
詳細
スキャンデザイン デバイス測定機能
英語表記：test function of scan
designed devices
詳細
スキャンパステスト
英語表記：scan pass
詳細
スキャンビーム電流
英語表記：scanned beam current
詳細
スキュ-調整PLL
英語表記：Skew adjust PLL
詳細
スクリーニング
英語表記：screening
詳細
スクリーニング
英語表記：screening
詳細
スケール防止剤
英語表記：scale inhibitors
詳細
スタッカクレーンカセットリフタ
英語表記：stacker crane
cassette lifter
詳細
スタックド スタックドCSP
英語表記：stcked
stcked CSP
詳細
スタティック バーンイン装置
英語表記：static burn-in
system
詳細
スタティックファンクションテスト
英語表記：static functional
test
詳細
スタンバ ディプレスステージ
英語表記：stamper
depressed stage
詳細
スタンピングヘッド
英語表記：stamping head
詳細
スタンピングリードフレーム
英語表記：stamping lead-frame
詳細
スチーム酸化
英語表記：steam oxidation
詳細
スチーム酸化
英語表記：steam oxidation
詳細
ステージ移動
英語表記：stage moving
詳細
ステージ姿勢
英語表記：stage attitude
詳細
ステージ連続移動
英語表記：Stage continuous movmg
詳細
ステッチボンド
英語表記：stitch bonding
詳細
ステップアンドスキャン
英語表記：step-and-scan
詳細
ステップアンドリピート
英語表記：step and repeat
詳細
ステップエッチング
英語表記：step etching
詳細
ステップカット
英語表記：step cutting
詳細
ステップカバレージ 回り込み率
英語表記：step coverrage
詳細
ステップカバレッジ
英語表記：Step coverage
詳細
ステップカバレッジ
英語表記：Step coverage
詳細
ステップカバレッジ
英語表記：Step coverage
詳細
ステップピッチ
英語表記：step pitch
詳細
ステップ式投影露光装置
英語表記：stepping projection aligner
詳細
ステンシルマスク
英語表記：stencil mask
詳細
ストッパー膜
英語表記：stopper film
詳細
ストリエーション
英語表記：striation
詳細
ストリエーション
英語表記：striation
詳細
ストレスマイグレーション
英語表記：stress-migration
詳細
ストレスマイグレーション
英語表記：stress-induced migration
詳細
ストレスマイグレーション(SM)
英語表記：Stress-Migration
詳細
ストレスマイグレーション試験
英語表記：stress migration
詳細
ストレッチ アンドスクイズ
英語表記：stretch and squees
詳細
ストロープコンパレータ
英語表記：strobed comparator
詳細
ストロボ法
英語表記：stroboscopic
imaging
詳細
スナップキュア
英語表記：snap cure
詳細
スパークギャップ
英語表記：spark gap
詳細
スパークギャップ
英語表記：spark gap
詳細
スパイラル型逆浸透膜モジュール
英語表記：spiral-wound type reverse osmosis
membrane module
詳細
スパッタイオンポンプ
英語表記：sputter ion pump
詳細
スパッタエッチング
英語表記：sputter etching
詳細
スパッタエッチング
英語表記：スパッタエッチング
詳細
スパッタガン スパッタリング装置
英語表記：sputter-gun sputtering system
詳細
スパッタリング
英語表記：sputtering
詳細
スパッタリング
英語表記：sputtering
詳細
スパッタリング装置 スパッタ装置
英語表記：sputtering system
詳細
スパッタ率
英語表記：sputtering yield
詳細
スパッタ率（スパッタリング率）
英語表記：sputter rate
詳細
スピンコータ
英語表記：spin coater
詳細
スピンコート法
英語表記：spin coat method
詳細
スピンチャック
英語表記：spin chuck
詳細
スピンチャック
英語表記：spin chuck
詳細
スピンデベロッパ
英語表記：spin developer
詳細
スピンドライヤ
英語表記：spin dryer
詳細
スピンモータ 立ち上がり特性
英語表記：acceleration
詳細
スピンモータ回転数
英語表記：rotation speed
詳細
スピン乾燥
英語表記：spin drying
詳細
スピン乾燥
英語表記：spin drying
詳細
スピン洗浄
英語表記：spin cleaning
詳細
スピン洗浄装置
英語表記：spin cleaner
詳細
スピン洗浄装置
英語表記：spin cleaner
詳細
スプリンクラー設備
英語表記：sprinkler system
詳細
スプレーデベロッパ
英語表記：spray developer
詳細
スプレー型(バッチ)
英語表記：spray type
詳細
スプレー現像
英語表記：spray developing
詳細
スプレー式エッチング装置
英語表記：spray etching system
詳細
スプレー塗布
英語表記：spray coating
詳細
スペアロー／カラム予備行／列リンボー
英語表記：spare row/columnlimbo
詳細
スマートカット
英語表記：smart cut
詳細
スライスベース
英語表記：slice base
詳細
スライム防止剤
英語表記：slime inhibitors
詳細
スラリーセパレータ
英語表記：slurry separator
詳細
スラリー分析終点検出法
英語表記：end point detection by slurry constituent analysis
詳細
スリーウェイ方式
英語表記：three-way
詳細
スルーザウォール構造
英語表記：through the wall
structure
詳細
スループット
英語表記：throughput
詳細
スルーホール
英語表記：through hole
詳細
スローベント ソフトベント
英語表記：slow vent soft vent
詳細
スロー排気 ソフト排気
英語表記：slow pumping slow roughing soft roughing
詳細
スワップ搬送
英語表記：swapped
transportation
詳細
セミコンショー
英語表記：SEMICON SHOW
詳細
セミフルカット
英語表記：semi full cutting
詳細
セラミック基板
英語表記：ceramic substrate
詳細
セリアスラリー
英語表記：ceria slurry
詳細
セルフアライメント
英語表記：self alignment effect
詳細
セルフグラインド
英語表記：self grinding
詳細
セルフバイアス 陰極電圧降下 Vdc
英語表記：self bias
詳細
セルプロジェクション
英語表記：cell projection
詳細
センタブロック
英語表記：center block
詳細
ゼータ電位
英語表記：zeta potential
詳細
ゼータ電位 界面同電位
英語表記：zeta potential
electrokinetic
potential
詳細
ゼーベック効果
英語表記：Seebeck effect
詳細
ゼロエミッション 産業廃棄物ゼロ
英語表記：zero emission
詳細
ソースキャビネット
英語表記：source cabinet
詳細
ソースマグネット
英語表記：ion source magnet
詳細
ソース接地増幅回路
英語表記：grounded source amplifier Circuit
詳細
ソープションポンプ
英語表記：sorption pump
詳細
ソケット式コンタクト
英語表記：socket type contact
詳細
ソフトランディング
英語表記：soft landing
詳細
ソルダマスク
英語表記：solder mask
詳細
ソルダレジスト
英語表記：solder resist
詳細
ソルダ封止装置
英語表記：solder sealing
equipment
詳細
ターゲットスキャン
英語表記：target scan
詳細
ターゲット点 問題点
英語表記：tagget point
recognition point
詳細
ターゲット利用効率
英語表記：efficiency of target utilization
詳細
ターボ分子ポンプ
英語表記：turbo molecular
詳細
ターンテーブル
英語表記：turn table
詳細
タイバー ダムバー
英語表記：tie bar
dam bar
詳細
タイミングエッジ
英語表記：timing edge
詳細
タイミングジェネレータ
英語表記：timing generator
詳細
タイミング相数 クロック相数
英語表記：number of timing
phase
number of clock
詳細
タイムモジュレーションエッチング
英語表記：time modulation etching
詳細
タッチローラ
英語表記：touch roller
詳細
タブレットプリヒート装置
英語表記：tablet pre heater
詳細
タンデム型装置
英語表記：tandem electrostatic accelerator
詳細
ダイアライメント
英語表記：die alignment
詳細
ダイクリーナ
英語表記：mold cleaner
詳細
ダイシアテスタ
英語表記：die shear tester
詳細
ダイシア強度
英語表記：die shear strength
詳細
ダイシングソー ダイサ
英語表記：dicing saw
詳細
ダイシング装置
英語表記：Dicing Equipment
詳細
ダイナミック バーンイン装置
英語表記：dynamic burn-in
system
詳細
ダイナミッククランプ 機能
英語表記：dynamic clamp
詳細
ダイナミックパターントレーサ パターントレーサ パターンシミュレータ
英語表記：dynamic pattern
tracer
pattern tracer
pattern simulator
詳細
ダイナミックファンクションテスト
英語表記：dynamic functional
test
詳細
ダイナミックロード プログラマブルロード アクティブロード
英語表記：dynamic load
programmable load
active load
詳細
ダイナミック電源電流測定
英語表記：dynamic power
current
measurement
詳細
ダイバーカット
英語表記：tiebar cutting
詳細
ダイバイダイアライメント
英語表記：die-by-die alignment
詳細
ダイバイダイティルト ダイバイダイレベリング
英語表記：die-by-die tiliting
die-by-die leveling
詳細
ダイボンダ
英語表記：die bonding
詳細
ダイボンティング
英語表記：die bonding
詳細
ダイボンディング
英語表記：die bonding
詳細
ダイボンディング材料
英語表記：die bonding materials
詳細
ダイヤモンドCVD
英語表記：diamond CVD
詳細
ダイヤモンドホイール
英語表記：cup shaped daiamond grinding wheel
詳細
ダイヤモンドワイヤ
英語表記：daimonnd wire
詳細
ダイヤモンド外周刃といし
英語表記：diamond blade
詳細
ダイレクトインデックス機能 サンプリングプローブ機能
英語表記：direct index function
sampling prove
function
詳細
ダイレクトピックアップ ボンディング
英語表記：direct pick-up
詳細
ダイレクト印刷機
英語表記：printing press
詳細
ダウンセット アップセット
英語表記：down set
up set
詳細
ダウンフロー型アッシング装置 ダウンストリーム型アッシング装置
英語表記：down flow asher
down stream achere
詳細
ダッシュネック
英語表記：Dash's neck
詳細
ダブルスキャン デュアルスキャン
英語表記：dual scan
詳細
ダマシンプロセス
英語表記：damascene process
詳細
ダミーウェーハ
英語表記：dummy wafer
詳細
ダミーウェーハ
英語表記：dummy wafer
詳細
ダミーサイクル
英語表記：dummy cycle
詳細
ダミーパターン
英語表記：dummy pattern
詳細
ダムバー残り
英語表記：protrusion tiebar
詳細
ダンサローラ
英語表記：dancer roller
詳細
チェーン注入
英語表記：chained implants
詳細
チェイスブロック
英語表記：chase unit
詳細
チップアライメント
英語表記：chip alignment
詳細
チップクラック
英語表記：chip crack
詳細
チップクラック解析
英語表記：simulation of die cracking
詳細
チップバーンイン
英語表記：chip burn-in
詳細
チップ関連故障解析手法
英語表記：failure analysis methods related to device chips
詳細
チップ上の故障メカニズム
英語表記：failure mechanism on device chips
詳細
チップ裏面側からの解析法
英語表記：failure analysis from backside of chips
詳細
チャージアップ
英語表記：charge up
詳細
チャージアップダメージ
英語表記：Charge up Damage
詳細
チャージポンピング法
英語表記：charge pumping method
詳細
チャージポンプ回路
英語表記：charge pump circuit
詳細
チャイルド・ラングミュアの式
英語表記：Child-Langmuir equation
詳細
チャックテーブル
英語表記：chuck table
詳細
チャック洗浄機構
英語表記：chuck cleaning mechanism
詳細
チャネリング
英語表記：channeling
詳細
チャネリング
英語表記：channeling
詳細
チャネリング
英語表記：channeling
詳細
チャネリング防止
英語表記：channeling protection
詳細
チャネルストッパ
英語表記：channel stopper
詳細
チャンネリング
英語表記：Channeling
詳細
チャンバ
英語表記：chamber vessel
詳細
チャンバクリーニング プラズマクリーニング
英語表記：chamber cleaning plasma cleaning
詳細
チャンバコントローラ
英語表記：chamber controller
詳細
チューブコントローラ
英語表記：tube controller
詳細
チューブラ型逆浸透膜モジュール 管状型逆浸透膜モジュール
英語表記：tubular type reverse
osmosis membrane
詳細
チョクラルスキー法
英語表記：Czochralski
詳細
チョッパ機構
英語表記：chopper mechanism
詳細
ツールチェンジャ
英語表記：tool changer
詳細
ツールハイト
英語表記：tool height
詳細
ツール研磨
英語表記：tool lapping
詳細
ツール取付長さ
英語表記：setting length of tool
詳細
ツエナ効果
英語表記：Zener effect
詳細
テーパエッチング
英語表記：taper etching
詳細
テーブルティア
英語表記：table tear
詳細
テープカット
英語表記：tape cutting
詳細
テープキャリヤ
英語表記：tape carrier
film carrier
詳細
テープキャリヤパッケージ PCP
英語表記：tape carrier
package
詳細
テープボンディング TAB
英語表記：tape automated bonding
詳細
テープレスカット
英語表記：tapeless cuttiing
詳細
テープ剥離装置
英語表記：tape peeling machine
詳細
テール処理
英語表記：tail process
詳細
ティルトステップ
英語表記：multiple tilt angle
implantation
詳細
テイルのばらつき
英語表記：tail length
dispersion
詳細
テイルレングス
英語表記：tail length
詳細
テクスチャマッピング
英語表記：texture mapping
詳細
テスタ
英語表記：IC test system
詳細
テスタコンピュータ TCP テストプロセッサコントローラ テスタコントローラ
英語表記：tester control
processor
詳細
テストべクタジェネレータ
英語表記：test vector
generator
詳細
テストシミュレータ
英語表記：test simulator
詳細
テストステーション
英語表記：test station
詳細
テストスペック
英語表記：test specification
詳細
テストバーンイン装置 テスティングバーンイン装置
英語表記：test burn-in system
testing burn-in
system
詳細
テストパターンメモリ ローカルメモリ
英語表記：test pattern memory
local memory
詳細
テストボックス アプリケーションボックス
英語表記：test box
application box
詳細
テストレートピリオド
英語表記：test rate
period
詳細
テルル化水銀カドミウム
英語表記：HgCdTe
詳細
テレセントリック
英語表記：telecentric system
詳細
テンションヘッド チャックボディ ホイールヘッド
英語表記：tension head
詳細
データセパレーションテスト
英語表記：data separation
詳細
データトポロジ機能 データスクランブル機能
英語表記：data topological fanction
詳細
データベースシステム
英語表記：data base system
詳細
データリテンションテスト
英語表記：data retension test
詳細
データレベル電源
英語表記：data level source
詳細
データロギング データログ
英語表記：data logging
data log
詳細
データログメモリ
英語表記：data logging
memory
詳細
データ処理
英語表記：data processing
詳細
ディザドPLL
英語表記：Dithered PLL
詳細
ディスペンサノズル
英語表記：dispenser nozzle
詳細
ディップデベロッパ
英語表記：dip developer
詳細
ディファレンシャル DC測定
英語表記：differential DC
measurement
詳細
デカボラン注入
英語表記：decaborane implantation
詳細
デッドウェイト方式
英語表記：dead weight type
詳細
デバイスGNDリレー
英語表記：DUT ground relay
詳細
デバイスプログラム テストプログラム
英語表記：device program
test program
詳細
デバイスプログラム トランスレータ
英語表記：device program
translator
詳細
デバイ温度
英語表記：Debye temperature
詳細
デバイ遮蔽
英語表記：debye shield
詳細
デバイ長
英語表記：debye length
詳細
デマウント装置 ウェーハ剥がし機
英語表記：demounting machine demount station
詳細
デューティ比
英語表記：duty ratio
詳細
デュアルALPG
英語表記：dual ALPG
詳細
デュアルカット
英語表記：dual cutting
cuple cutting
詳細
デュアルゲート
英語表記：dual-gate
詳細
デュアルタイミングジェネレータ
英語表記：dual timing
generator
詳細
デュアルダマシン
英語表記：dual damascene
詳細
デュアルダマシン法
英語表記：dual-damacene
詳細
トータルオーバレイ精度
英語表記：total overlay accuracy
詳細
トータルメタルロス
英語表記：total metal loss
詳細
トップリング
英語表記：toppuringu
詳細
トップリング 強制駆動機構
英語表記：top ring forced drive
詳細
トライオード型RIE装置
英語表記：triode reactive ion etching system
詳細
トラバーサ リールトラバースユニット
英語表記：traverser
unit of traversing reel
詳細
トランジスタ
英語表記：Transistor
詳細
トランスインピテダンス増幅器
英語表記：trans impedance amplifier
詳細
トランスデューサ
英語表記：transducer
詳細
トランスファモールド
英語表記：transfer molding
詳細
トランスファ出力 射出力
英語表記：transfer force
詳細
トランバース滴下
英語表記：transverse dispense
詳細
トリガ端子
英語表記：trigger terminal
詳細
トリクロルシラン：SiHCl3
英語表記：tri-clorosilane
詳細
トリハロメタン
英語表記：trihalomethanes
詳細
トルク電流終点検出法
英語表記：torque current end point detection
詳細
トレースガスモニタ
英語表記：trace gas monitor
詳細
トレー搬送
英語表記：tray handling
詳細
トレンチエッチング
英語表記：trench etching
詳細
トレンチファースト
英語表記：trench first
詳細
トレンチ内ドーピング
英語表記：doping in trench
詳細
トレンチ分離
英語表記：shallow trench isolation
詳細
トンネル効果
英語表記：tunneling effect
詳細
トンネル効果
英語表記：tunnel effect
詳細
ドーズウインドウ
英語表記：dose window
詳細
ドーズ合わせ込み
英語表記：dose matching
詳細
ドーパント蒸発法
英語表記：dopant
evaporation
詳細
ドーピング（不純物添加）
英語表記：Doping
詳細
ドーピング効果
英語表記：doping effect
詳細
ドーピング装置
英語表記：doping system
詳細
ドープトオキサイド
英語表記：doped oxide
詳細
ドープドオキサイド
英語表記：doped oxide
詳細
ドットロギング
英語表記：dot logging
詳細
ドナーキラー処理
英語表記：donor killer treatment
詳細
ドナー準位
英語表記：donor level
詳細
ドナー消去 ドナーキラー
英語表記：donor annihilation donor killer
詳細
ドライインｰドライアウト
英語表記：dry-in dry-out
詳細
ドライイン・ドライアウト
英語表記：dry in dry out
詳細
ドライエッチング
英語表記：Dry Etching
詳細
ドライエッチング
英語表記：dry etching
詳細
ドライエッチング性
英語表記：dry etching
詳細
ドライエッチング装置
英語表記：dry etching system
詳細
ドライエッチング装置
英語表記：dry etching equipment
詳細
ドライホーニング装置
英語表記：dry powder horning
machine
詳細
ドライポンプ
英語表記：dry vacuum pump
詳細
ドライ現像
英語表記：dry developing
詳細
ドライ酸化
英語表記：dry oxidation
詳細
ドライ洗浄
英語表記：dry cleaning
詳細
ドライ洗浄装置
英語表記：dry cleaning
equipment
詳細
ドライ洗浄法
英語表記：dry cleaning method
詳細
ドラフトチャンバ
英語表記：draft chamber
詳細
ドレインボックス
英語表記：drain box
詳細
ナノインプリント
英語表記：Nano Imprint
詳細
ナノトポロジー
英語表記：nanotopology
詳細
ナノメータ描画
英語表記：nanometric lithography
詳細
ナローギャップ型RIE装置
英語表記：narrow gap reactive ion etching system
詳細
ナローギャップ半導体
英語表記：narrow gap semiconductor, narrow bandgap semiconductor
詳細
ニアフィールド走査型光学顕微鏡（NSOM）
英語表記：NSOM: Near-field Scanning Optical Microscope
詳細
ニ次元拡散
英語表記：two-dimensional diffusion
詳細
ニ次電子放出
英語表記：secondary—electron emission
詳細
ニ段階拡散
英語表記：two step diffusion
詳細
ネガ型レジスト
英語表記：negative type resist
詳細
ノズル レジストノズル
英語表記：nozzle
詳細
ノズルスキャン
英語表記：nozzle scan
詳細
ノックオン効果
英語表記：knock-on effect
詳細
ノッチ面取り装置
英語表記：wafer notch chamfering machine
詳細
ノボラック樹脂
英語表記：novolac resin
詳細
ハードケース対応ローダ
英語表記：hardcase adaptable loader
詳細
ハーフカット
英語表記：half cutting
詳細
ハーフトーン型位相シフトマスク
英語表記：attenuated Phaseーshifting mask, half-tone phase-shifting mask
詳細
ハーフトーン型位相シフト露光法
英語表記：attenuated Phaseーshifting method, half-tone phaseshifting method
詳細
ハイインピーダンス
英語表記：high-impedance
detection function
詳細
ハイエネルギーイオン注入装置
英語表記：High Energy Ion Implantation System
詳細
ハイドロプレーン現象
英語表記：hydroplane phenomenon
詳細
ハイブリットボンダ
英語表記：hybrid bonder
詳細
ハイブリッドIC（混成集積回路），ハイブリッドモジュール
英語表記：hybrid IC, hybrid module
詳細
ハイブリッドスキャン
英語表記：hybrid scan
詳細
ハブレスブレード リングブレード
英語表記：hubless blade
ring blade
詳細
ハロゲンランプ アニール装置
英語表記：halogen lamp annealer
詳細
ハロゲン化物消火設備
英語表記：halogenide
extinguishing
system
詳細
ハンドラ オートハンドラ
英語表記：handler
autohandler
詳細
バーティカルオートドーピング
英語表記：vertical autodoping
詳細
バーニング水素焼き
英語表記：burning
hydrogen gas burning
詳細
バーンインエスケープ
英語表記：burn-in escape
詳細
バーンインコントローラ
英語表記：burn-in controller
詳細
バーンインストレス機能
英語表記：burn-in stress
function
詳細
バーンインタイマ
英語表記：burn-in timer
詳細
バーンインチャンバ
英語表記：burn-in chamber
詳細
バーンイントラッキング トラッキング
英語表記：burn-in tracking
詳細
バーンイントレイ
英語表記：burn-in tray
詳細
バーンインボード
英語表記：burn-in board
詳細
バーンインボードイジェクタ
英語表記：burn-in board
ejecter
詳細
バーンインボードインサータ
英語表記：burn-in board
inserter
詳細
バーンインボードチェッカ
英語表記：burn-in board
checker
詳細
バーンインラック
英語表記：burn-in rack
詳細
バーンイン試験
英語表記：burn-in test
詳細
バーンイン装置
英語表記：burn-in system
詳細
バイアス－温度（B-T）試験
英語表記：Bias-Temperature test
詳細
バイアス スパッタリング装置
英語表記：bias sputtering system
詳細
バイアススパッタ
英語表記：bias sputter
詳細
バイアスプラズマCVD
英語表記：bias plasma CVD
詳細
バイナリサーチ バイナリスキャン
英語表記：binary search
binary scan
詳細
バイパスコンデンサリレードライバ
英語表記：by-pass capacitor
relay driver
詳細
バイパス漏洩
英語表記：bypass leakage
詳細
バキュームパッド
英語表記：vacuum pad
詳細
バスタブ曲線
英語表記：bath-tub curve
詳細
バッキングパッド
英語表記：backing pad
詳細
バッキングフィルム
英語表記：backing film
詳細
バッキングプレート
英語表記：backing plate
詳細
バックグラインド
英語表記：back grind
詳細
バックサイドダメージ
英語表記：back side damage
詳細
バックサイドダメージ
英語表記：Backside Damage
:BSD
詳細
バックサイドダメージ
英語表記：BSD(Backside Damage)
詳細
バックサイドプレッシャ
英語表記：back side pressure
詳細
バックサイドプレッシャー
英語表記：backside pressure
詳細
バックリンス
英語表記：back rinse
詳細
バックリンス
英語表記：back rinse
詳細
バッチ間注入均一性
英語表記：batch-to-batch dose
uniformity
詳細
バッチ式
英語表記：batch processing
詳細
バッチ式洗浄装置 ウェットステーション
英語表記：batch cleaning
equipmwnt
wet station
詳細
バッチ洗浄
英語表記：batch cleaning
詳細
バッチ搬送
英語表記：batch transportation
詳細
バッファ層
英語表記：buffer layer
詳細
バドル現像
英語表記：puddle developing
詳細
バブルリークテスト装置
英語表記：bubble leak tester
詳細
バリ
英語表記：burr
flash
bleed
詳細
バリアハイト
英語表記：barrier height
詳細
バリアブル・レンジ・ホッピング
英語表記：variable range hopping
詳細
バリアメタル
英語表記：barrier metal
詳細
バリアメタル
英語表記：barrier metals
詳細
バリアメタルの種類
英語表記：barrier metals
詳細
バリスティック伝導
英語表記：ballistic transport
詳細
バルク欠陥
英語表記：bulk defect
詳細
バルブマニホールドボックスガス供給制御装置
英語表記：gas supplying
system
詳細
バレル型アッシング装置
英語表記：barrel acher
詳細
バンクコントローラ
英語表記：bank controller
詳細
バンドギャッブナロウイング
英語表記：band gap narrowing
詳細
バンドギャップファレンス
英語表記：band-gap reference
詳細
バンド構造
英語表記：band structure
詳細
バンド理論
英語表記：Band Theory
詳細
バンプ ワイヤバンプ
英語表記：bump
wire bump
詳細
バンプ―構造
英語表記：bamboo structure
詳細
バンプテスト機能
英語表記：bump test unction
詳細
バンプ形成
英語表記：bump formation process
詳細
パーシャルエッチング
英語表記：partial etching
詳細
パーシャルサイト
英語表記：partial site
詳細
パージモード付シリンダバルブ
英語表記：cylinder valve with
purge mode
詳細
パースペクティブコレクション
英語表記：perspective collection
詳細
パーティクルカウンタ ダストカウンタ 光散乱パーティクルカウンタ
英語表記：particle counter
dust counter
light scattering
particle counter
詳細
パーティションパネル
英語表記：partition panel
詳細
パーティングライン
英語表記：parting line
詳細
パーピンテスタ パーピンリソーステスタ
英語表記：per-pin tester
per-pin resource
tester
詳細
パイプライン型A/D変換器
英語表記：pipeline A/D converter
詳細
パイロットピン
英語表記：pilot pin
location pin
詳細
パウダートラップ
英語表記：powder trap
詳細
パターンシフト
英語表記：pattern shift
詳細
パターンジェネレータ
英語表記：pattern generator
詳細
パターンマッチング法
英語表記：pattern matching method
詳細
パターンマルチプレクス機能
英語表記：pattern multiplex
function
詳細
パターン位置精度
英語表記：pattern placement accuracy
詳細
パターン依存性
英語表記：pattern dependence
詳細
パターン寸法精度
英語表記：dimension accuracy
詳細
パターン倒壊
英語表記：pattern collapse
詳細
パターン認識 画像認識
英語表記：pattern recognition
詳細
パターン発生プログラム
英語表記：pattern generation
program
詳細
パターン密度依存性
英語表記：pattern density dependence
詳細
パッケージそり解析
英語表記：Package warpage analysis
詳細
パッケージに発生する不良
英語表記：failures in package
詳細
パッケージの機能
英語表記：function of package
詳細
パッケージの種類
英語表記：variety of package
詳細
パッケージの電気特性解析モデル化
英語表記：Package electrical characteristic analysis modeling
詳細
パッケージクラック
英語表記：package crack
詳細
パッケージテスト ファイナルテスト
英語表記：package test
final test
詳細
パッケージノイズ解析
英語表記：analysis of package noise
詳細
パッケージ各部名称
英語表記：construction of package
詳細
パッケージ関連の故障メカニズム
英語表記：failure mechanism related to paskaging
詳細
パッケージ関連故障解析手法
英語表記：failure analysis related to packaging
詳細
パッケージ材料
英語表記：package materials
詳細
パッケージ電気的特性
英語表記：package electrical characteristics
詳細
パッシベーション
英語表記：passivation
詳細
パッドクリープ
英語表記：pad creep
詳細
パッド加圧リング
英語表記：pad pressure ring
詳細
パドル現像
英語表記：puddle developing
詳細
パラレルダウンフローリンス
英語表記：parallel downflow rinse
詳細
パラレルビーム
英語表記：parallel beam
詳細
パルスヒートツール
英語表記：pulse heated
thermode
pulse heat tool
詳細
パルスマスクテスト
英語表記：pulse mask test
詳細
パルスレーザ露光
英語表記：pulse laser exposure method
詳細
パルス変調プラズマエッチング装置
英語表記：pulse-time-modulated plasma etching equipment
詳細
パルセーションダンパアキュームレータエアチャンバ
英語表記：pulsation damper
accumulator
air chamber
詳細
ヒートスプレッダ
英語表記：heat spreader
詳細
ヒートブロック ヒート駒 ヒートプレート
英語表記：heat block
heat plate
詳細
ヒストグラムメモリ
英語表記：histogram memory
詳細
ヒューズリンク
英語表記：fuse link
詳細
ヒ化アルミニウム
英語表記：Aluminum arsenide
詳細
ヒ化ガリウム
英語表記：Gallium Arsenide : GaAs
詳細
ビームエネルギー
英語表記：beam energy
詳細
ビームコントロール
英語表記：beam control
詳細
ビームドリフト
英語表記：positioning drift
詳細
ビームフィルタ
英語表記：beam filter
詳細
ビームフォーマ
英語表記：beamformer
詳細
ビームポジショナ
英語表記：beam positioner
詳細
ビーム安定性
英語表記：beam stability
詳細
ビーム位置決め精度
英語表記：beam positioning
accuracy
詳細
ビーム径
英語表記：beam diameter
詳細
ビーム収束系
英語表記：beam focusing system
詳細
ビーム寸法精度
英語表記：beam Size accuracy
詳細
ビーム電流量 イオン電流量
英語表記：beam current
ion current
詳細
ビアファースト
英語表記：via first
詳細
ビットエラーレートテスト
英語表記：bit error rate test
詳細
ビットシリアル演算
英語表記：bit serial operational operation
詳細
ビデオ信号測定機能
英語表記：vodeo signal
measurement
詳細
ビトリファイド研削といし
英語表記：vitrified grinding wheel
詳細
ビルディングブロック
英語表記：building block
詳細
ビルドアップ基板
英語表記：build-up substrate
詳細
ビルドアップ基板
英語表記：build up PCB
詳細
ピボットディスペンスノズル
英語表記：pivot dispense nozzle
詳細
ピンエレクトロイクス
英語表記：pin electronics
詳細
ピンチカット
英語表記：pinch cutting
詳細
ピンホール漏洩
英語表記：pinhole leakage
詳細
ピンマルチプレクス機能
英語表記：pin-multiplex
function
詳細
ピンモニタ
英語表記：pin monitor
詳細
フーリエ変換赤外分光法
英語表記：Fourier Transform Infra-Red Spectroscopy
詳細
フーリエ変換赤外分光法 FT-IR
英語表記：Fourier transform infrared spectroscopy
詳細
フーリエ変換赤外分光法（FT-IR法）
英語表記：Fourier-Transform infrared spectroscopy
詳細
ファーネス移動ストローク
英語表記：furnace lift travel
詳細
ファイナルウェーハテスト ポストテスト
英語表記：final-wafer test
post test
詳細
ファイナルエナジー マグネット FEM
英語表記：final energy magnet
詳細
ファインアライメント
英語表記：fine alignment
詳細
ファインアライメント
英語表記：fine alignment
詳細
ファインピッチ
英語表記：fine pitch
詳細
ファインリークテスト
英語表記：fine leak testing
詳細
ファミリボックス ファミリヘッド
英語表記：family box
family head
詳細
ファラデーカップ
英語表記：Farady Cups
詳細
ファラデー系
英語表記：faraday system
詳細
ファンデアポー法
英語表記：Van der Pauw method
詳細
ファンフィルタユニット
英語表記：fan filter unit
詳細
フィジカル変換 ロジカル変換
英語表記：physical conversion
logical conversion
詳細
フィゾー干渉計方式
英語表記：Fizeau interferometer method
詳細
フィックの法則
英語表記：Fick'slaw
詳細
フィデューシャルマーク
英語表記：fiducial mark
詳細
フェーズクロック
英語表記：phase clock
詳細
フェイスダウンボンディング
英語表記：face down bonding
face bonding
詳細
フェイルビットマップ
英語表記：fail bit map
詳細
フェイルマーク
英語表記：fail mark
詳細
フェイルマークインスペクション インクドットインスペクション
英語表記：fail-mark inspection
ink dot inspection
詳細
フェルミ準位
英語表記：Fermi level
詳細
フォーウェイ方式
英語表記：four-way
詳細
フォーミングガス
英語表記：forming gas
mixed gas
詳細
フォトエッチング
英語表記：photo etching
詳細
フォトダイオード
英語表記：Photo Diode
詳細
フォトルミネセンス法
英語表記：photoluminescence spectroscopy
詳細
フォトレジスト
英語表記：photo resist
詳細
フォトレジスト･スピンコーティング
英語表記：Photo-resist Spin Coating
詳細
フォノン散乱
英語表記：phonon scattering
詳細
フットプリント
英語表記：foot print
詳細
フッ化不動態処理
英語表記：fluorine passivation
treatment
詳細
フッ酸
英語表記：hydrofluoric acid
詳細
フッ酸ベーパ
英語表記：hydrofluooric acid vapor
詳細
フッ素ドープSiO₂
英語表記：SiO₂ film fluorine doped silicon dioxide
詳細
フッ素樹脂
英語表記：FP : Fluoropolymer
詳細
フッ素添加シリコン酸化膜(SiOF膜)
英語表記：fluorine doped Silicon oxide
詳細
フュームドシリカ
英語表記：fumed silica
詳細
フラクタル構造
英語表記：fractal structure
詳細
フラッシュメモリ E／W サイクル試験装置
英語表記：flash memory E/W cycle test system
詳細
フラッシュランプ アニール装置
英語表記：flash lamp annealer
詳細
フランク・リード源
英語表記：Frank-Read-
source
詳細
フリーアクセスフロア
英語表記：free access floor
詳細
フリッカ雑音
英語表記：fliker noise
詳細
フリップチップボンダ
英語表記：flip chip bonder
詳細
フリップチップボンディング
英語表記：flip chip bonding
詳細
フリップチップボンディング フリップチップボンダ
英語表記：flip chip bonding
flip chip bonder
詳細
フリップチップ方式
英語表記：flip chip bonding
詳細
フルカット
英語表記：full cutting
詳細
フレームアベレージング
英語表記：frame averaging
詳細
フレームセンサ
英語表記：flame sensor
詳細
フレーム整列装置
英語表記：lead frame loader
詳細
フレーム搬送
英語表記：flame handling
詳細
フレキシブルプリント基板
英語表記：flexible printed wiring board
詳細
フレネル回折
英語表記：Fresnel diffraction
詳細
フローショップ
英語表記：flow shop
詳細
フローティングゾーン法 FZ法 浮遊帯域溶融法
英語表記：floating zone melting method
詳細
フロートポリシング
英語表記：float polishing
詳細
フロントサイドゲッタリング
英語表記：Front Side Gettering: FSG
詳細
ブライトエッチング
英語表記：bright etching
詳細
ブラシスクラバ
英語表記：brush scrubbing
詳細
ブラシスクラバ スクラブ洗浄機
英語表記：brush scrubber
詳細
ブラシ洗浄
英語表記：brush scrubbing
詳細
ブラッシング装置
英語表記：brushing machine
詳細
ブランカアレー
英語表記：blanker array
詳細
ブリッジ
英語表記：bridge failure, solder bridge
詳細
ブリュアンゾーン
英語表記：Brillouin zone
詳細
ブリユアン散乱
英語表記：Brillouin scattering
詳細
ブルーミング試験
英語表記：blooming test
詳細
ブレーキング装置
英語表記：wafer breaking equipment
詳細
ブレークスルー
英語表記：break through
詳細
ブレークダウン
英語表記：air break down
詳細
ブレードタイププロービングカード
英語表記：blade type probing card
詳細
ブレード原点セット カッタセット
英語表記：blade height calibration
詳細
ブレード張り上げ
英語表記：tensioning the blade
詳細
ブレード突き出し量
英語表記：blade exposure
詳細
ブレード破損検出装置
英語表記：blade breakage detection device
詳細
ブレード変位
英語表記：blade deflection
詳細
ブレード変位計
英語表記：blade deflection sensor
詳細
ブレード摩耗補正
英語表記：blade wear compensation
詳細
ブロックカット
英語表記：block cut
詳細
ブロックホスト
英語表記：block host
詳細
ブロック浮動小数点演算
英語表記：block floating point calculation
詳細
ブロッホ振動
英語表記：Bloch oscillation
詳細
プラスチックパッケージの組立プロセス
英語表記：assembly process for plastic package
詳細
プラズマCVD
英語表記：plasma - enhanced Chemical Vapor Deposition
詳細
プラズマCVD
英語表記：PECVD : Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
詳細
プラズマCVD装置
英語表記：plasma enhanced CVD system
詳細
プラズマTEOS CVD
英語表記：plasma TEOS CVD
詳細
プラズマX線源
英語表記：plasma X-ray source
詳細
プラズマアッシング装置
英語表記：plasma ashing system
詳細
プラズマエッチング
英語表記：Plasma Etching
詳細
プラズマエッチング装置
英語表記：plasma etching system
詳細
プラズマダウンフロー
英語表記：plasma downflow
詳細
プラズマダウンフロー処理
英語表記：plasma downflow treatment
詳細
プラズマダメージRIE_Damage（損傷）
英語表記：Plasma Damage
詳細
プラズマドーピング
英語表記：plasma doping
詳細
プラズマドーピング装置
英語表記：plasma doping system
詳細
プラズマフラッドガン PFG
英語表記：plasma flood gun
詳細
プラズマ汚染
英語表記：plasma contamination
詳細
プラズマ源
英語表記：plasma source
詳細
プラズマ酸化
英語表記：plasma oxidation
詳細
プラズマ酸化
英語表記：plasma oxidation
詳細
プラズマ振動
英語表記：plasma vibration
詳細
プラズマ振動法
英語表記：plasma oscillation method
詳細
プラズマ洗浄
英語表記：plasma cleaning
詳細
プラズマ洗浄装置
英語表記：plasma cleaning equipment
詳細
プラズマ損傷
英語表記：plasma damage
詳細
プラズマ窒化
英語表記：plasma nitridation
詳細
プラズマ電位
英語表記：plasma potential
詳細
プラズマ内電位
英語表記：plasma inside potential
詳細
プラズマ薄膜化法
英語表記：plasma assisted thinning method
詳細
プラズマ分離型 マイクロ波 プラズマCVD装置
英語表記：after glow microwave plasma enhanced CVD system
詳細
プラズマ分離型プラズマエッチング装置
英語表記：down stream plasma etching system
詳細
プラズマ陽極酸化装置
英語表記：plasma oxidations system
詳細
プラナリゼーション
英語表記：planarization
詳細
プランジャ等圧機構
英語表記：transfer pressure balancing mechanism
詳細
プリアモルファス化
英語表記：pre-amorphization
詳細
プリアライメント
英語表記：pre alignment
詳細
プリアライメント
英語表記：prealignment
詳細
プリアライメント
英語表記：pre-alignment
詳細
プリアンプ
英語表記：preamplifier
詳細
プリウェーハテスト プリテスト
英語表記：pre-wafer test
pre test
詳細
プリクリーニング チャンバ
英語表記：pre-cleaning chamber
詳細
プリスパッタリング
英語表記：pre-sputtering
詳細
プリディスペンス ダミーディスペンス プライムディスペンス
英語表記：pre-dispense
dummy-dispense
prime-dispense
詳細
プリベーク ソフトベーク PAB
英語表記：pre-bake
soft-bake
post-apply-bake
詳細
プルテスタ
英語表記：pull tester
詳細
プルテスト 引張強度
英語表記：pull test
詳細
プレストンの式
英語表記：Preston's Equation
詳細
プローブカード
英語表記：probing card
詳細
プローブカード コンタクトプローブ
英語表記：probe card
contact probe
詳細
プローブマークインスペクション 針跡インスペクション
英語表記：probe-mark
inspection
詳細
プローブ針 プローブニードル
英語表記：probe needle
詳細
プロキシミティベーク
英語表記：proximity bake
詳細
プロジェクションアライナ
英語表記：projection aligner
詳細
プロジェクテッドレンジ(投影)
英語表記：Projected Range:Rp
詳細
プロセス インデュースト パーティクル カウンタ
英語表記：process induced particle counter
詳細
プロセスインテグレーション
英語表記：process integration
詳細
プロセスインテグレーション
英語表記：process integration
詳細
プロセスウィンドウ
英語表記：process window
詳細
プロセスエリア
英語表記：process area
詳細
プロセスカップ 洗浄カップ スクラブステーション
英語表記：process cup
詳細
プロセスシミュレーション
英語表記：process simulation
詳細
プロセスチューブ
英語表記：process tube
詳細
プロセスデータ
英語表記：process data
詳細
プロセスレシピ
英語表記：process recipe
詳細
プロセス温度
英語表記：process temperature
詳細
プロセス管理システム
英語表記：process
management
system
詳細
プロセス余裕度
英語表記：process margm, process latitude
詳細
プロセス用排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas
abatement
equipment for
processor
詳細
プロセス要因
英語表記：process induced error
詳細
プロダクトミックス
英語表記：product mix
詳細
ヘキソード型RIE装置
英語表記：hexode type reactive ion etching system
詳細
ヘッド間均一性 HTH
英語表記：head to head uniformity
詳細
ヘテロ接合
英語表記：hetero junction
詳細
ヘテロ接合
英語表記：hetero junction
詳細
ヘリウムリークデテクタ
英語表記：helium leak detector
詳細
ヘリカル型エッチング装置
英語表記：herical type etching equipment
詳細
ヘリコン波エッチング装置
英語表記：helicon etching system
詳細
ヘリコン波エッチング装置
英語表記：hericon wave etching equipment
詳細
ヘリコン波プラズマ
英語表記：helicon wave plasma
詳細
ベーキング装置
英語表記：baking unit
詳細
ベーパフェーズ装置
英語表記：VPS equipment, Vapor Phase Soldering equipment
詳細
ベーパフェーズ法
英語表記：Vapor Phase Method
詳細
ベアチップ実装
英語表記：bare chip assembly
詳細
ベイシステム
英語表記：bay system
詳細
ベクトル相関法
英語表記：vector correlation method
詳細
ベストフィット基準
英語表記：best fit plane reference
詳細
ベベルカット
英語表記：bevel cutting
詳細
ベルトレス搬送
英語表記：beltless transfer system
詳細
ベルヌーイチャック
英語表記：Bernoulli chuck
詳細
ページテスト機能
英語表記：page test function
詳細
ペニングイオン化電子分光
英語表記：Penning ionization spectroscopy
詳細
ペリクル保護膜
英語表記：pellicle fiilm
詳細
ホール効果
英語表記：Hall effect
詳細
ホール効果
英語表記：Hall effect
詳細
ホール効果
英語表記：Hall effect
詳細
ホーロー基板
英語表記：porcelain enamel substrate
詳細
ホウ素ゲッタリング
英語表記：laser Scattering
Tomography
Defect
詳細
ホットエレクトロン（熱い電子）
英語表記：hot electron
詳細
ホットキャリア試験
英語表記：hot -carrier test
詳細
ホットゾーンパーツ 加熱構成部品
英語表記：hot zone parts
詳細
ホットチャック ヒートアップステージ
英語表記：hot chuck
heat up stage
詳細
ホットプレートはんだ付け
英語表記：hot plate soldering
詳細
ホットプレートオーブン
英語表記：hot plate oven
詳細
ホッピング伝導
英語表記：hopping conduction
詳細
ホローファイバ型逆浸透膜モジュール 中空糸型逆浸透膜モジュール
英語表記：hollow fiber type
reverse osmosis
menbrane module
詳細
ホワイトバランス処理
英語表記：white balance
詳細
ボーダレス配線
英語表記：borderless wiring
詳細
ボートエレベータ
英語表記：boat elevator
詳細
ボートトランスファ
英語表記：boat transfer
詳細
ボートハンドラ
英語表記：boat handler
詳細
ボートローダ
英語表記：boat loader
詳細
ボート移動ストローク
英語表記：boat lift travel
詳細
ボート回転機構
英語表記：boat rotation mechanism
詳細
ボードインサートチェック機能
英語表記：board insert check
function
詳細
ボーム条件
英語表記：Bohm's condition
詳細
ボールシアテスタ
英語表記：ball shear tester
詳細
ボールシア強度 ボンドシア強度
英語表記：ball shere strength
詳細
ボールバンプ法
英語表記：ball bump method for bump formation
詳細
ボールボンディング ボールボンダ
英語表記：ball bonding
ball bonder
nail head
bonder
詳細
ボール圧着径
英語表記：squashed ball diameter
詳細
ボイド、ボイドフリー
英語表記：void, void free
詳細
ボルツマン方程式
英語表記：Boltzmann's equation
詳細
ボロンレスフィルタ
英語表記：boron free filter
詳細
ボンディングスピード
英語表記：bonding speed
詳細
ボンディングパッド パッド
英語表記：bonding pad
詳細
ボンディングパラメータ
英語表記：bonding parameter
詳細
ボンディングヘッド
英語表記：bonding head
詳細
ボンディングワイヤ
英語表記：bonding wire
詳細
ボンディング荷重
英語表記：bonding force
詳細
ボンディング精度
英語表記：bonding accuracy
詳細
ボンディング長さ ボンディングスパン
英語表記：bonding length
詳細
ポーラスシリカ
英語表記：porous Silica
詳細
ポーラス型イオン交換
樹脂 MR型イオン交換樹脂
英語表記：porous type ion
exchange resin
macro reticular type
ion exchange resin
詳細
ポアソン比
英語表記：Poisson's ratio
詳細
ポイゾンドビア
英語表記：poisoned Via
詳細
ポゴコンタクト ポゴピン
英語表記：POGO contact
POGO pin
詳細
ポジ型レジスト
英語表記：positive type resist
詳細
ポストベーク アフタベーク ハードベーク
英語表記：post -bake
after-bake
hard-bake
詳細
ポッティング樹脂
英語表記：potting resin
詳細
ポッティング装置
英語表記：potting equipment
詳細
ポッドオープナー
英語表記：pod opener
詳細
ポリイミド
英語表記：PI : Polyimide
詳細
ポリイミド塗布
英語表記：polyimide coating
詳細
ポリゴンレンダリング
英語表記：polygon rendering
詳細
ポリサイド膜
英語表記：polycide film
詳細
ポリシュストップ
英語表記：polish stop
詳細
ポリシングスラリー
英語表記：polishing slurry
詳細
ポリシングスラリーの分散性
英語表記：dispersibility of polishing slurry
詳細
ポリッシュ レート
英語表記：polish rate
詳細
ポリッシング（鏡面研磨）
英語表記：Polishing
詳細
ポリバックシール
英語表記：PBS
(Poly Back Seal)
詳細
ポリ結晶 多結晶
英語表記：polycrystal
詳細
マーキングインク
英語表記：marking ink
詳細
マーキングエリア マーキング面積
英語表記：marking area
詳細
マーキングプローバ
英語表記：marking prober
詳細
マーキングマシン
英語表記：marking machine
詳細
マーキング強度 捺印強度
英語表記：marking strength
詳細
マーキング光学系
英語表記：marking opptics
詳細
マーキング速度
英語表記：marking speed
詳細
マーク検出
英語表記：mark detection
詳細
マイクロカラム
英語表記：nucrocolumn
詳細
マイクロシャロービット
英語表記：MSP:Micro Shallow Pit
詳細
マイクロスピリット
英語表記：microsplit
詳細
マイクロバブル
英語表記：micro bubble
詳細
マイクロプログラム
英語表記：micro program
詳細
マイクロプロセッサのマルチメディア拡張
英語表記：multimedia extensions for microprocessors
詳細
マイクロラフネス
英語表記：micro-roughness
詳細
マイクロラフネス
英語表記：micro-roughness
詳細
マイクロラフネス
英語表記：microroughness
詳細
マイクロラフネス
英語表記：microroughness
詳細
マイクロローディング効果
英語表記：Micro Loading Effect
詳細
マイクロローディング効果 RIEラグ
英語表記：microloading effect
RIE lag
詳細
マイクロ波 プラズマCVD装置
英語表記：microwave plasma enhanced CVD system
詳細
マイケルソン干渉法
英語表記：Michelson interference method
詳細
マウスホール
英語表記：mouse hole
詳細
マウント装置 ウェーハ貼付機
英語表記：mounting machcine mount station
詳細
マウント板
英語表記：mount plate top plate block carrier plate
詳細
マガジンスタッカ
英語表記：magazine stacker
詳細
マクロ成長（ストリエーション）
英語表記：macro growth
(striation)
詳細
マグネトロン スパッタリング装置
英語表記：magnetron sputtering system
詳細
マグネトロンスパッタ
英語表記：magnetron sputter
詳細
マグネトロン型RIE装置
英語表記：magnetron type RIE equil)ment
詳細
マグネトロン型RIE装置
英語表記：magnetron enhanced reactive ion etching system
詳細
マグネトロン放電
英語表記：magnetron discharge
詳細
マスキングブレード レチクルブラインド
英語表記：masking blade
reticle blind
詳細
マスク/レチクル
英語表記：mask/reticle
詳細
マスク・ブランクス
英語表記：Mask Brancks
詳細
マスクバイアス
英語表記：mask bias
詳細
マスクリニアリティ
英語表記：mask linearity
詳細
マスク欠陥検査
英語表記：mask defect inspection
詳細
マスク欠陥修正
英語表記：mask defect repair
詳細
マスク材工ッチング
英語表記：mask material etching
詳細
マスク自動チェンジャ
英語表記：mask auto changer
詳細
マスク寸法
英語表記：mask dimension
詳細
マスク描画
英語表記：photo mask writing
詳細
マスク用メンブレン
英語表記：mask membrane
詳細
マスク用絶縁膜
英語表記：mask dielectrics
詳細
マスフローメータ
英語表記：mass flow meter
詳細
マックスウェル・ポルツマン分布
英語表記：MaxwellーBoltzman distribution
詳細
マッチモード
英語表記：pattern matching
mode
詳細
マッチングユニット マッチングボックス マッチングネットワーク
英語表記：matching unit
matching box
matching network
詳細
マッチング率
英語表記：pattern matching ratio
詳細
マッピング装置
英語表記：mapping system
詳細
マトリックスフレーム
英語表記：matrix frame
詳細
マトリックスリードフレーム
英語表記：matrix lead-frame
詳細
マニピュレータ ヘッドスタンド ヘッド架台
英語表記：manipulator
詳細
マニュアルステーション
英語表記：manual station
詳細
マランゴニカによる乾燥方法
英語表記：Marangoni force dry
詳細
マランゴニ乾燥
英語表記：marangoni drying
詳細
マランゴニ乾燥
英語表記：marangoni drying
詳細
マルチアライメント
英語表記：multi alignment
詳細
マルチサイトプロービング マルチプロービング
英語表記：multi-site probing
詳細
マルチステップ処理
英語表記：multi-step processing
詳細
マルチチップパッケージ
英語表記：Multi Chip Package: MCP
詳細
マルチチャンバ装置
英語表記：multi-chamber system
詳細
マルチトーン測定機能
英語表記：multi-tone function
詳細
マルチプレクサ
英語表記：multiplexer
詳細
マルチボンディング
英語表記：multiple bonding
詳細
マルチマガジン方式
英語表記：multi magazine ttype
詳細
マルチワイヤソー
英語表記：multi wire saw
詳細
マルチ測定
英語表記：multi-die probing
詳細
マンハッタン現象
英語表記：Manhattan phenomenon, chip standing
詳細
ミクスドシグナルテスタ
英語表記：mixed-signal test system
詳細
ミクロ成長(異常偏析)
英語表記：micro growth
詳細
ミスフィット転位
英語表記：misfit dislocation
詳細
ミスフィット転位
英語表記：misfit dislocation
詳細
ミックスアンドマッチ
英語表記：mix-and-match-
詳細
ミップマッピング
英語表記：mipmapping
詳細
ミディアムカレントイオン注入装置
英語表記：Medium Current Ion Implantation System
詳細
ミニエンバイロメント
英語表記：minienvironment
詳細
ミニバッチ装置
英語表記：mini batch system
詳細
ミニプリーツ型エアフィルタ
英語表記：mini-pleats type air
filter
詳細
ミニマルファブ
英語表記：Minimal Fab
詳細
ミラーウェーハ 鏡面ウエーハ ポリッシュドウエーハ
英語表記：mirror wafer polished wafer
詳細
ミラーブラヴェ指数
英語表記：Miller-Bravais index
詳細
ミラーレンズ投影露光装置
英語表記：mirror-lens projection aligner
詳細
ミラー指数
英語表記：Miller index
詳細
ミラー投影露光装置
英語表記：mirror projection aligner
詳細
ムーアの法則
英語表記：Moore' s law
詳細
メインフレーム プラットフォーム
英語表記：main frame plat form
詳細
メカニカルクランプ機構
英語表記：mechanical clamp
詳細
メカニカルスキャン
英語表記：mechanical scan
詳細
メカニカルチャック
英語表記：mechanical check
詳細
メカノケミカルポリシング
英語表記：mechano chemical poliching
詳細
メカノケミカル現象
英語表記：mechano-chemistry
詳細
メガソニック洗浄
英語表記：megasonic cleaning
詳細
メガソニック洗浄装置 メガヘルツ超音波洗浄装置
英語表記：megasonic cleaning equipment
詳細
メガヘルツ超音波洗 浄装置 メガソニックスプレー洗浄装置
英語表記：mega hertz
ultrasonic cleaning
equipment
megasonic spray
cleaning
equipment
詳細
メタクリル酸系レジスト
英語表記：methacrylate based resist
詳細
メタライゼーション
英語表記：metallization
詳細
メタライゼーション技術
英語表記：metallization technology
詳細
メタルCVD
英語表記：metal Chemical Vapor Deposi tion
詳細
メタル・ゲート
英語表記：Metal Gate
詳細
メタルコア基板
英語表記：metal core substrate
詳細
メタル研削といし
英語表記：metal grinding wheel
詳細
メディアプロセッサ
英語表記：media processor
詳細
メディアン寿命
英語表記：median life
詳細
メモリアルテストパターン
英語表記：memory test pattern
詳細
メモリテスタ
英語表記：memory test system
詳細
メモリテストシステム メモリテスタ
英語表記：memory test system
memory tester
詳細
メモリモジュール
英語表記：memory module
詳細
メルトレベル制御システム
英語表記：automatic melt level control system
詳細
メンブレンプロービングカード
英語表記：membrane probing card
詳細
メンブレンプローブカード
英語表記：membrane probe
card
詳細
モールドプレス
英語表記：molding press
詳細
モールド金型
英語表記：molding die
詳細
モールド樹脂
英語表記：molding compounds
詳細
モールド装置
英語表記：molding equipment
詳細
モールド装置，モールディング装置
英語表記：molding equipment, molding system
詳細
モールド不良
英語表記：failures in molding process
詳細
モアレトポグラフィ方式
英語表記：Moire topography
詳細
モニタード バーンイン装置
英語表記：monitored burn-in
system
詳細
モニタボード
英語表記：monitor board
詳細
モニタリング
英語表記：monitaring
詳細
モノシラン：SiH
英語表記：mono-silane
詳細
モノシラン反応機構
英語表記：reaction mechanism of monosilane
詳細
ヤング率
英語表記：Young's modulus
詳細
ユースポイント
英語表記：point of use
詳細
ユースポイント配管 端末配管
英語表記：distribution piping for ultrapure water
詳細
ユーティリティ
英語表記：utilities
utility program
詳細
ユーティリティ ボックス
英語表記：utility box
詳細
ライトインテグレータ
英語表記：light integrator
詳細
ライフタイム測定器
英語表記：lifetime measurement system
詳細
ラインアンドスペース
英語表記：line and space
詳細
ラインバランス
英語表記：line balancing
詳細
ラザフォード後方散 乱分光法 RBS
英語表記：Rutherford back scattering method
詳細
ラザフォード後方散乱分析
英語表記：Rutherford Backscattering Spectrometry
詳細
ラザフォード後方散乱法
英語表記：RBS: Rutherford Backscattering Spectroscopy
詳細
ラジオシティ法
英語表記：radio city process
詳細
ラジカル源
英語表記：radical source
詳細
ラジカル洗浄
英語表記：cleaning using radicals
詳細
ラスタ走査
英語表記：raster scan
詳細
ラッピング（粗研磨）
英語表記：Lapping
詳細
ラップドウェーハ ラッピングウェーハ
英語表記：lapped wafer lappping wafer
詳細
ラップラウンド
英語表記：lap round
詳細
ラテラルオートドーピング
英語表記：lateral autodoping
詳細
ラマン散乱
英語表記：Raman scattering
詳細
ラマン散乱分光法
英語表記：Raman spectroscopy
詳細
ラマン分光法 Raman
英語表記：Raman spectroscopy
詳細
ランク別捺印
英語表記：rank marking
詳細
ラングミュアプローブ
英語表記：Langmmr probe
詳細
ランゲリア指数 飽和指数
英語表記：Langelier index
saturation index
詳細
ランダウ準位
英語表記：Landau level
詳細
ランナストップ
英語表記：runner stop
詳細
ランプCVD装置
英語表記：ultraviolet lamp heating CVD system
詳細
ランプパワーコントロール
英語表記：lamp power control
詳細
ランプヒータ
英語表記：lamp heater
詳細
ランプ電圧測定 ランプ破壊試験
英語表記：ramp voltage test
詳細
ランプ配列
英語表記：lamp arrangement
詳細
リークテスト
英語表記：leak testing
詳細
リーク電流
英語表記：leak current
詳細
リードカット リード切断
英語表記：lead cutting
lead trimming
詳細
リードフレーム
英語表記：lead frame
詳細
リードフレーム
英語表記：lead-frame
詳細
リードフレーム材料
英語表記：material of lead-frame
詳細
リードロケイタ
英語表記：lead locator
詳細
リード加工機
英語表記：trim and forming
machine
cut and bending
machine
詳細
リード加工金型
英語表記：trim and forming die
cut and bending die
詳細
リード成形 リード曲げ
英語表記：lead forming
詳細
リード部品挿入フローソルダリング
英語表記：flow soldering for THD (Through Hole mount Device)
詳細
リード平坦度
英語表記：coplanarity
詳細
リーフ式コンタクト
英語表記：lerf type contact
詳細
リアルタイム救済判定機能
英語表記：real-time
redundancy
judgement function
詳細
リウム+E1381:E1385
英語表記：TEA CO2レーザ
TEAレーザ
詳細
リキッドバーンイン装置
英語表記：liquid burn-in
system
詳細
リコンフィギュラブルロジック
英語表記：reconfigurable logic
詳細
リコンフィギラブルコンピ ューティング
英語表記：reconfigurable computing
詳細
リセス プラグロス
英語表記：recess
plug loss
詳細
リソグラフィ
英語表記：lithography
詳細
リソグラフィ
英語表記：lithography
詳細
リソグラフィー
英語表記：lithography
詳細
リソグラフィ技術
英語表記：lithography
詳細
リダンダンシ アナライザ RAメモリリペア アナライザ
英語表記：redundancy analyzer
詳細
リダンダンシ機能 不良救済機能
英語表記：
redundancy function
詳細
リチャージ法 マルチブリング法
英語表記：recharge CZ method multi pulling method
詳細
リテーナプレッシャー
英語表記：retainer
詳細
リテーナリング
英語表記：retainer ring
詳細
リニアテストシステム アナログテストシステム
英語表記：linear test system
analog test system
詳細
リニアヘッドプレート
英語表記：head plate for linear type
詳細
リバースモーション
英語表記：reverse motion
詳細
リファレンス電源
英語表記：reference source
詳細
リフレッシュ機能
英語表記：refresh function
詳細
リフロークラック
英語表記：package cracking during reflow soldering
詳細
リフロークラック解析
英語表記：simulation of reflow cracking
詳細
リフローソルダリングプロセス
英語表記：reflow soldering process
詳細
リフロー装置
英語表記：reflow furnace
詳細
リフロー装置
英語表記：reflow soldering equipment
詳細
リフロー平坦化
英語表記：reflow planarization
詳細
リフロー埋め込み温度
英語表記：reflow temperature
詳細
リフロー埋め込み機構
英語表記：reflow mechanism
詳細
リミット値
英語表記：limit value
詳細
リリースフィルム
英語表記：release film
詳細
リンクカットデータ ヒューズデータ
英語表記：link cut data
fuse data
詳細
リン化ガリウム
英語表記：Gallium Phosphide : GaP
詳細
リン拡散ゲッタリング
英語表記：Phosphorus Diffusion Gettering: PDG
詳細
ルーチン制御プログラム
英語表記：routine control
program
詳細
ループ ループ形状 ループ高さ
英語表記：loop
waire loop
loop shape
loop height
詳細
ループコントロール
英語表記：loop control
詳細
ループフィルター
英語表記：loop filter
詳細
レーザ(LASER)
英語表記：Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation
詳細
レーザCVD装置
英語表記：laser assisted CVD system
詳細
レーザ アニール装置
英語表記：laser annealer
詳細
レーザ・アニール
英語表記：Laser Anneal
詳細
レーザはんだ付け
英語表記：Laser Soldering
詳細
レーザゲッタリング
英語表記：laser gettering
詳細
レーザゲッタリング
英語表記：laser gettering
詳細
レーザドーピング
英語表記：laser doping
詳細
レーザドーピング装置
英語表記：laser doping system
詳細
レーザパワー
英語表記：laser power
詳細
レーザビームテストシステム レーザビームプローバ
英語表記：laser beam test
system
laser beam prober
詳細
レーザプレーション
英語表記：laser ablation
詳細
レーザホモジナイザ
英語表記：laser homogenizer
詳細
レーザマーカ
英語表記：laser marker
詳細
レーザマーク
英語表記：laser marking
詳細
レーザマーク IDマーク
英語表記：laser mark
詳細
レーザマーク装置
英語表記：laser marker
詳細
レーザリペアシステム メモリリペアシステム リダンダントメモリリペアシステム
英語表記：laser repair system
memory repair
system
redundant memory
repair system
詳細
レーザレチクル描画
英語表記：laser reticle writing
詳細
レーザ干渉
英語表記：laser interference
詳細
レーザ共振器
英語表記：laser cavity
詳細
レーザ計測
英語表記：laser interferometer
詳細
レーザ顕微鏡
英語表記：laser microscope
詳細
レーザ出力安定度
英語表記：laser, output
stability
詳細
レーザ測定
英語表記：laser interferometry
詳細
レーザ溶接装置
英語表記：laser beam
welding
equipment
詳細
レーリーの式(2);焦点深度の式
英語表記：
詳細
レイズドフロア
英語表記：raised floor
詳細
レイトレーシング(光線追跡)法
英語表記：ray tracing process
詳細
レジスト・下地選択性
英語表記：selec tiV1 ty over resist and underlying materials
詳細
レジストの種類と感光機構
英語表記：resist materials and photosenSitive mechanism
詳細
レジストノズル
英語表記：resist nozzle
詳細
レジストヒーティング
英語表記：resist heating
詳細
レジストプロセス
英語表記：resist process
詳細
レジストボンプ
英語表記：resist pump
詳細
レジストポンプ ダイアフラムポンプ ベローズポンプ
英語表記：resist pump
diaphragm pump
bellows pump
詳細
レジストレーション
英語表記：registration
詳細
レジスト安定化ユニット
英語表記：resist curing system
詳細
レジスト安定化処理装置
英語表記：resist curmg system
詳細
レジスト温度調整
英語表記：resist temperature control
詳細
レジスト感度
英語表記：resist sensitivity
詳細
レジスト形状シミュレーション
英語表記：Simulation Of cross—sectional View Of resist
詳細
レジスト現像処理装置
英語表記：resist developer
詳細
レジスト処理装置
英語表記：resist processing equipment
詳細
レジスト選択性
英語表記：selectivity over resist
詳細
レジスト耐熱性
英語表記：resist thermal stability
詳細
レジスト耐熱性
英語表記：resist thermal stability
詳細
レジスト塗布処理装置
英語表記：resist coater
詳細
レジスト剥離液
英語表記：resist stripper
詳細
レジスト剥離装置
英語表記：resist stripping system
詳細
レジスト膜厚均一性
英語表記：resist film thickness uniformity
詳細
レジスト膜厚分布 レジスト膜均一性
英語表記：resist thickness uniformity
詳細
レジノイド研削といし
英語表記：resinoid grinding wheel
詳細
レジンカット
英語表記：resin cutting
詳細
レジン残り
英語表記：remaining resin
詳細
レチクルアライメント
英語表記：reticle alignment
詳細
レチクルステージ マスクステージ
英語表記：reticle stage
mask stage
詳細
レチクルホルダ マスクホルダ
英語表記：reticle holder
mask holder
詳細
レチクルローダ レチクルチェンジャ
英語表記：reticle loader
reticle changer
詳細
レチクルローテーション
英語表記：reticle rotation error
詳細
レチクル異物検査
英語表記：reticle inspection
詳細
レトログレード
英語表記：retro grade
詳細
レボリューションマーク
英語表記：revolution mark
詳細
レンズ投影露光装置
英語表記：lens projection aligner
詳細
ロータリーヘッドボンダ
英語表記：rotary head bonder
詳細
ローディングフレーム
英語表記：loading frame
詳細
ローディング効果
英語表記：loading effects
詳細
ローディング効果
英語表記：loading effect
詳細
ローディング効果 近接効果 疎密効果
英語表記：loading effect
proximity effect
詳細
ロードロック室 真空予備室
英語表記：load-lock chamber
詳細
ロギングメモリ
英語表記：logging memory
詳細
ロジックテスタ
英語表記：logic test system
詳細
ロジックテストシステム ロジックテスタ
英語表記：logic test system
logic tester
詳細
ロジックデバイス
英語表記：logic device
詳細
ワークブロック
英語表記：ingot mounting block
詳細
ワーク押さえ
英語表記：work clamp
work holder clamp
詳細
ワイドギャップ半導体
英語表記：widegap semiconductor, wide bandgap semiconductor
詳細
ワイブルグラフ ワイブルブロット
英語表記：weibull graph
weibull plot
詳細
ワイブル確率紙
英語表記：Weibull probability paper
詳細
ワイブル分布
英語表記：Weibull distribution
詳細
ワイヤのつぶれ幅
英語表記：deformation width of wire
詳細
ワイヤクランプ
英語表記：wire clamp
詳細
ワイヤタッチ
英語表記：wire touch
詳細
ワイヤテンション
英語表記：wire tension
詳細
ワイヤフィード
英語表記：wire feed
詳細
ワイヤボンティング
英語表記：wire bonding
詳細
ワイヤボンディング
英語表記：wire bonding
詳細
ワイヤボンディング装置
英語表記：wire bonder
詳細
ワイヤボンディング方式
英語表記：wire bonding
詳細
ワイヤリール ワイヤボビン リール
英語表記：wire reel
wire bobbin
reel
詳細
ワイヤレスボンティング装置
英語表記：wireless bonder
詳細
ワイヤレスボンディング ギャングボンディング シングルポイントボンディング
英語表記：wireless bonding
gang bonding
single point bonding
詳細
ワイヤ供給角度
英語表記：wire feed angle
詳細
ワイヤ曲がり カール量
英語表記：crooked wire
wire sway
wire curl
詳細
ワイヤ走行方式
英語表記：wire running method
詳細
ワイヤ流れ
英語表記：wiredeformation
wire sweep
詳細
ワックスレス研磨
英語表記：waxless polishing
詳細
ワンラインコンパイラ 1ラインコンパイラ
英語表記：one line compiler
詳細
αブレンディング
英語表記：alpha blending
詳細
μ－PCD法
英語表記： μ－Photo Conductive Decay method
詳細
ф450mm
英語表記：450mm Wafer
詳細
圧縮圧力
英語表記：compressive
stress
詳細
圧電気
英語表記：piezoelectricity
詳細
圧電効果
英語表記：piezoelectric effect
詳細
圧力ショット
英語表記：pressure shock
詳細
圧力検出器
英語表記：pressure sensor
詳細
圧力式ろ過器
英語表記：pressure filter
詳細
安全メガネ
英語表記：safety glasses
詳細
位相シフトマスク
英語表記：Phase-shifting mask
詳細
位相比較器
英語表記：phase comparator
詳細
位置ずれ
英語表記：Misalignment
詳細
異種金属間接触
英語表記：metal-metal contact
詳細
異種金属接触信頼性
英語表記：reliability of metalーmetal contact
詳細
異常拡散
英語表記：anomalous diffusion
詳細
異常酸素析出
英語表記：AOP:Anomalous Oxygen Precipitation, precipitate
詳細
異方性エッチング
英語表記：anisotropic etching
詳細
異方性エッチング
英語表記：anisotropic etching
詳細
移載インターロック
英語表記：transfer interlock
詳細
移載精度
英語表記：transfer accuracy
詳細
移送コレット 移送ノズル
英語表記：transfer collet
transfer nozzle
詳細
一過式冷却水設備
英語表記：one pass condensing
water system
one pass cooling
water system
詳細
一括式X線露光装置
英語表記：X-ray full wafer aligner
詳細
一次研磨
英語表記：stock removal polishing
詳細
一次純水
英語表記：primary pure water
詳細
一次純水装置 メイクアップシステム
英語表記：primary pure water
system
make-up system
詳細
一次粒子
英語表記：primary particle
詳細
一槽式洗浄装置 ワンバス式洗浄装置 単槽型洗浄装置
英語表記：one bath type cleaning equipment
詳細
一筆書き ライティング
英語表記：epoxy writing
詳細
一方向流型クリーンルーム
英語表記：unidirectional flow
clean room
詳細
印刷法
英語表記：printing method for bump formation
詳細
印字精度
英語表記：marking accuracy
詳細
引き上げ乾燥装置
英語表記：capillary drying
equipment
pull up drying
equipment
詳細
引出電圧
英語表記：extraction voltage
詳細
引出電極系
英語表記：extraction electrodes
詳細
引上シャフト
英語表記：pull shaft
詳細
陰極結合
英語表記：cathode coupling
詳細
隠面消去
英語表記：Hidden surface removal
詳細
右回転 CW
英語表記：clock wise
詳細
渦電流終点検出法
英語表記：end point detection by eddy current
詳細
渦電流法
英語表記：eddy current
詳細
液晶法
英語表記：Liquid crystal method
詳細
液浸ステッパ
英語表記：Immersion Stepper
詳細
液相エピタキシャル成長装置
英語表記：liquid phase epitaxial growth system
詳細
液体ソース供給装置
英語表記：liquid source delivery system
詳細
液体微粒子計
英語表記：liquid borne particle
counter
詳細
液体封止引上法 加圧引上法
英語表記：liquid encapsulation Czochralski method high pressure Czochralski method
詳細
円テーブル真空チャック
英語表記：vacuum chuck
詳細
円形カット
英語表記：circle cultting
詳細
円筒型プラズマエッチング装置
英語表記：barrel type plasma etching system
詳細
延性モード研削法
英語表記：brittle mode grinding
詳細
演算増幅器
英語表記：operational amplifier
詳細
演算増幅器
英語表記：operational amplifier
詳細
煙感知器
英語表記：smoke detector
詳細
遠心スプレー洗浄装置
英語表記：centrifugal spray cleaning equipment
詳細
遠心乾燥装置 スピンドライヤ
英語表記：centrifugal drying
equipment
spin rryer
詳細
鉛フリー
英語表記：lead-free
Pb-free
詳細
塩酸酸化
英語表記：hydrochloric acid oxidation
詳細
塩酸酸化
英語表記：HCl oxidation
詳細
塩素剤注入装置 塩素処理装置
英語表記：chlorination
equipment
詳細
汚染除去
英語表記：contamination control
詳細
汚泥脱水機
英語表記：sludge dehydrator
詳細
汚泥濃縮槽
英語表記：sludge thickener
詳細
往復カット
英語表記：down and up cutting
詳細
横広がり抑制
英語表記：lateral spread control
詳細
温湿度検出器
英語表記：temperature and
humidity sensor
詳細
温純水乾燥
英語表記：hot water drying
詳細
温超純水供給装置 超純水加熱装置
英語表記：deionized water
heating equipment
詳細
温度サイクル試験
英語表記：cycling test
詳細
温度プロファイル
英語表記：temperature profile
詳細
温度リカバリタイム
英語表記：temperature recovery time
詳細
温度下降時間
英語表記：temperature fall
time
詳細
温度計測終点検出法
英語表記：end point detection by temprerature measurement
詳細
温度上昇時間
英語表記：temperature rise
time
詳細
温度特性
英語表記：temperature dependence
詳細
温度偏差
英語表記：temperature
distribution
詳細
音響フォノン散乱
英語表記：acoustic phonon scattering
詳細
音響光学効果
英語表記：acousto-optic effect
詳細
下地ダメージ
英語表記：underlying damage layer
詳細
下地段差効果
英語表記：Effects of substrate steps
詳細
下定盤
英語表記：lower lapping plate
詳細
化学シフト
英語表記：chemical shift
詳細
化学吸着
英語表記：chemisorption
詳細
化学吸着
英語表記：chemisorption
詳細
化学吸着フィルタ
英語表記：chemical air filter
詳細
化学吸着フィルタ
英語表記：chemical filter
詳細
化学研磨
英語表記：chemical polishing
詳細
化学処理方式
英語表記：chemical treatment
詳細
化学洗浄
英語表記：chemical cleaning
詳細
化学増幅レジスト
英語表記：chemically amplified resist
詳細
化学増幅型レジスト
英語表記：chemicaiiy amplified resist
詳細
化学増幅型レジスト
英語表記：chemically amplified resist
詳細
化学増幅型レジスト処理装置
英語表記：chemically amplified resist processmg equipment
詳細
化学的機械研磨
英語表記：CMP : Chemical Mechanical Polishing
詳細
化学的気相成長
英語表記：CVD : Chemical Vapor Deposition
詳細
化学的気相成長法
英語表記：CVD:Chemical Vapor Deposition
詳細
化学的洗浄
英語表記：chemical cleaning method
詳細
化学量論的組成
英語表記：stoichiometry
詳細
化合物半導体
英語表記：Compound Semiconductor
詳細
化合物半導体のプロセス技術
英語表記：Process technology of compound semiconductors
詳細
価電子帯
英語表記：Valence band
詳細
加圧酸化
英語表記：high pressure oxidation
詳細
加圧法
英語表記：high pressure methode
詳細
加圧埋め込み
英語表記：force fill process
詳細
加工層
英語表記：work damage layer
詳細
加工変質層
英語表記：damaged layer
詳細
加重抵抗D/A変換器
英語表記：Weighted Resistor D/A Converter
詳細
加重抵抗D/A変換器
英語表記：weighted resistor D/A converter
詳細
加速管
英語表記：acceleration tube
詳細
加速寿命試験
英語表記：accelerated life test
詳細
加速電圧
英語表記：acceleration voltage
詳細
加速律
英語表記：acceleration factor
詳細
可変成形ビーム
英語表記：variable shaped beam
詳細
架橋反応
英語表記：cross¯linking
詳細
荷電中和法
英語表記：charge neutralization method
詳細
過酸化水素処理装置
英語表記：hydro-peroxide
removal equipment
詳細
過剰消去禁止機能 過剰書き込み禁止機能
英語表記：over-erase prohibit
function
over-programming
prohibit function
詳細
過冷却度
英語表記：supercooling limit
詳細
画素間演算
英語表記：pixel-to-pixel
operation
詳細
画像データプロセッサ
英語表記：image data
processor
詳細
画像データメモリ フレームメモリ
英語表記：image data memory
frame memory
詳細
画像データ処理
英語表記：image data
processing
詳細
画像間演算
英語表記：picture-to-picture
operation
詳細
画像処理検出
英語表記：Field Image Alignment:FIA
詳細
画面サイズ
英語表記：image field
詳細
解像度 解像力 解像線幅
英語表記：resolution
詳細
解像度限界
英語表記：resolution limit
詳細
解放循環式冷却水設備
英語表記：open circuit
condensing water
system
open circuit cooling
water system
詳細
解離過程
英語表記：dissociative process
詳細
解離断面積
英語表記：dissociation cross section
詳細
回転数立上げ時間
英語表記：revolution speed set up time
詳細
回転注入
英語表記：rotational implant
詳細
回転塗布
英語表記：rotation paint
詳細
回転版接触装置
英語表記：rotating biological
contactor
詳細
界面活性剤添加洗浄薬品
英語表記：surfactant added cleaning chemical
詳細
界面準位
英語表記：interface state
詳細
界面準位
英語表記：interface state
詳細
界面反応
英語表記：interface reaction
詳細
界面反応
英語表記：interfacial reaction
詳細
開環重合
英語表記：ring opening polymerization
詳細
開管法
英語表記：open-tube method
詳細
階間搬送
英語表記：interlevel
transportation
interfloor
transportation
詳細
階層処理
英語表記：hierarchical OperatiOn
詳細
階段接合，傾斜接合
英語表記：step junction, graded junction
詳細
外観検査装置
英語表記：visual inspection equipment
詳細
外形認識
英語表記：outline recognition
詳細
外周面取研削装置
英語表記：chamfer grinding machine
詳細
外装，リード加工
英語表記：lead finishing, lead forming
詳細
外装処理
英語表記：lead finishing
詳細
外部駆動能力
英語表記：external drive ability
詳細
外部燃焼装置
英語表記：external torch unit
詳細
外方拡散
英語表記：out-diffusion
詳細
外方拡散
英語表記：out-diffusion
詳細
拡散（熱拡散）
英語表記：Thermal Diffusion
詳細
拡散係数
英語表記：diffusion coefficient
詳細
拡散経路
英語表記：Diffusion path
詳細
拡散定数
英語表記：diffusion constant
詳細
拡散方法
英語表記：diffusion method
詳細
拡散炉
英語表記：Diffusion Furnace
詳細
格子間型拡散
英語表記：interstitial diffusion
詳細
格子間酸素
英語表記：interstitial
oxygen:Oi
詳細
格子定数
英語表記：lattice constant , lattice parameter
詳細
核磁気共鳴法 NMR
英語表記：nuclear magnetic resonance method
詳細
核磁気共嗚法
英語表記：NMR: Nuclear Magnetic Resonance
詳細
核阻止能
英語表記：unclear stopping
詳細
確率紙
英語表記：probability paper
詳細
角型カット
英語表記：square cutting
詳細
角錐コレット
英語表記：inverted pyramidal collet
詳細
角度研磨法
英語表記：angle lap method
詳細
角度分解オージェ電子分光法
英語表記：angle-resolved Auger electron spectroscopy
詳細
活性汚泥処理装置
英語表記：activated sludge
process equipment
詳細
活性化エネルギー
英語表記：activation energy
詳細
活性種 ラジカル
英語表記：activated species
radical
詳細
活性炭ろ過器 活性炭塔
英語表記：carbon filter
activated carbon
filter
詳細
活性炭吸着塔
英語表記：activated carbon
filter
詳細
乾式排ガス処理装置
英語表記：dry type exhaust gas
abatement
equipment
詳細
乾燥装置
英語表記：drying equipment
詳細
乾燥方法
英語表記：drying process
詳細
環化ゴム
英語表記：cyclic rubber
詳細
環境試験
英語表記：Environmental testing
詳細
環境制御型走査電子顕微鏡
英語表記：environmental scanning electron microscope
詳細
環境耐性
英語表記：environmental stability
詳細
緩衝フッ酸溶液
英語表記：buffered hydrofluoric acid
詳細
緩和誘起ゲッタリング
英語表記：relaxation-induced
gettering
詳細
貫通転位
英語表記：threading dislocation
詳細
還元剤注入装置
英語表記：dechlorination
equipment
詳細
還元性
英語表記：deoxidization
詳細
基準面
英語表記：reference plane
詳細
基板エッチング
英語表記：windowing
詳細
基板依存性
英語表記：substrate poisoning
詳細
基板温度効果
英語表記：effects of substrate temperature
詳細
基板冷却機構
英語表記：substrate cooling mechanism
詳細
期待値パターン
英語表記：expectation value
pattern
詳細
機械的方法
英語表記：mechanical cleaning method
詳細
機能モデル
英語表記：functional model
詳細
機能仕様
英語表記：functional specification
詳細
機能水
英語表記：functional water
詳細
機能水
英語表記：functional
water(ozonated
UPW, hydrogenated
UPW, specific gas
dissolved UPW
et.al)
詳細
機能設計とツール
英語表記：design and tool for function design
詳細
気圧倍率補正案
英語表記：magnification correction system for atmospheric pressure
詳細
気相エピタキシャル成長装置
英語表記：vaxialapor phase epitaxial growth system
詳細
気相拡散
英語表記：gas-phase diffusion
詳細
気相拡散
英語表記：vapor-phase diffusion
詳細
気相拡散法
英語表記：vapor Phase diffusion method
詳細
気相成長
英語表記：vapor phase growth
詳細
気相洗浄装置
英語表記：vapor phase cleaninge equipment
詳細
気体浮上搬送装置
英語表記：gas floating
transportationn
詳細
気密封止
英語表記：hermetic seal
詳細
気密封止
英語表記：hermetic sealing
詳細
気流可視化
英語表記：airflow visualization
詳細
気流速度
英語表記：airflow velocity
詳細
気流平行性
英語表記：airflow parallelism
詳細
擬似欠陥
英語表記：false defect
詳細
犠牲酸化
英語表記：sacrified oxidation
詳細
逆RIEラグ
英語表記：inverse RIE lag
詳細
逆ボンド
英語表記：reverse bonding
詳細
逆光電子分光法
英語表記：IPES: Inverse Photoelectron Spectroscopy
詳細
逆浸透装置
RO装置
英語表記：reverse osmosis unit
詳細
逆浸透膜 RO膜
英語表記：reverse osmosis
membrane
詳細
逆流防止バルブ
英語表記：back flow free check
valve system
詳細
吸じん装置
英語表記：dust collector
詳細
吸湿性解析
英語表記：simulation of moisture absorption
詳細
吸収体エッチング
英語表記：absorber pattern etching
詳細
吸着／非吸着 バキューム／ノンバキューム
英語表記：vacuum/nonvacuum
詳細
吸着ステージ
英語表記：vacuum chuck stage
詳細
吸着プレート
英語表記：vacuum plate
詳細
吸着材式排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas
abatement
equipment by
absorption process
詳細
吸着式ドライヤ
英語表記：absorption dryer
詳細
許容発熱負荷
英語表記：allowed heat load
詳細
共晶ボンディング
英語表記：eutectic bonding
詳細
強誘電体材料
英語表記：ferroelectric material
詳細
強誘電体薄膜
英語表記：ferroelectric thin film
詳細
強誘電体膜
英語表記：ferroelectric film
詳細
鏡面ウエーハ 表面検査装置表面LSM検査装置
英語表記：laser surface scanner light scattering measurement system
詳細
鏡面面取り装置
英語表記：edge polisher
詳細
凝集ろ過装置 マイクロフロックろ過器
英語表記：filtration equipment
with coagulation
詳細
凝集剤注入装置
英語表記：coagulants feeding
equipment
詳細
凝集沈でん装置
英語表記：coagulo
sedimentation tank
coagulo-settling
tank
詳細
凝集反応槽 混和槽
英語表記：rapid mixing
chamber
詳細
局所電界効果
英語表記：local electric field
effect
詳細
曲げ試験
英語表記：bending test
詳細
極低マンガン SUS 316 L
英語表記：Mn fume free
SUS 316 L
詳細
極微細描画
英語表記：ultra fine patterning
詳細
均熱長
英語表記：flat zone length
詳細
禁制帯幅のエネルギー
英語表記：bandgap energy
詳細
緊急ガス遮断装置
英語表記：emergency gas shut
off system
詳細
緊急シャワー
英語表記：emergency water
shower
詳細
緊急遮断弁
英語表記：emergency stop
valve
詳細
緊急排気設備
英語表記：emergency exhaust
system
詳細
緊急用排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas
abatement
equipment for
emergency
詳細
近接ギャップ
英語表記：proximity gap
詳細
近接効果
英語表記：proximity effect
詳細
近接効果
英語表記：proximity effect
詳細
近接効果補正
英語表記：OpticalProximity Correction : OPC
詳細
近接転写
英語表記： proximity printing
詳細
近接露光
英語表記：Proximity Exposure
詳細
近接露光方式
英語表記：proxmuty exposure method
詳細
金および白金拡散
英語表記：diffusion of Au and Pt
詳細
金型クリーニング
英語表記：mold cleaning
詳細
金型温度
英語表記：mold temperature
詳細
金属シリコン：MG-Si
英語表記：Metallurgical Grade-Silicon
詳細
金属汚染
英語表記：metal
contamination
詳細
金属汚染
英語表記：metalic contamination
詳細
金属系基板
英語表記：metal substrate
詳細
金属埋め込み(プラグ)
英語表記：plug formation
詳細
空間フィルタ
英語表記：spatial filtering
詳細
空間周波数
英語表記：spatial frequency
詳細
空間周波数変調型位相シフト露光法
英語表記：alternating phase-shift mask
詳細
空間電荷層
英語表記：space charge region
詳細
空気呼吸器
英語表記：self contained
breathing apparatus
詳細
空気調和設備
英語表記：air conditioning
system
詳細
空孔濃度
英語表記：vacancy
concentration
詳細
群遅延時間測定
英語表記：group delay
measurement
詳細
珪藻土ろ過器 プレコートろ過器
英語表記：diatomite filter
pre-coat filter
詳細
型締力
英語表記：mold clamping force
詳細
型内圧力
英語表記：internal die pressure
詳細
形状
英語表記：etched feature
詳細
形状異常
英語表記：profile irregularities
詳細
携帯電話用LSI
英語表記：ISI for Mobile Telephone Terminal
詳細
経時絶縁破壊 TDDB
英語表記：TDDB: Time Dependent Dielectric Breakdown
詳細
蛍光X線膜厚計
英語表記：X-ray fluorescence
coating
thickness
gauge
詳細
蛍光Ｘ線分光分析法 XRFS
英語表記：X-ray fluorescence spectroscopy
詳細
軽元素不純物
英語表記：light element
impurity
詳細
軽装ラック
英語表記：instrumentation
詳細
欠陥
英語表記：grown-in defect
詳細
欠陥・不純物
英語表記：defect / impurity
詳細
結晶、単結晶
英語表記：crystal,single crystal
詳細
結晶のねじれ
英語表記：twist of crystal
詳細
結晶引上機構
英語表記：crystal lift mechanism
詳細
結晶格子
英語表記：crystal lattice
詳細
結晶強度
英語表記：strength of crystal
詳細
結晶系
英語表記：crystal system
詳細
結晶欠陥
英語表記：crystal defect
詳細
結晶構造
英語表記：crystal structure
詳細
結晶軸
英語表記：crystallographic
詳細
結晶性
英語表記：crystalline characteristics
詳細
結晶配向性
英語表記：crystal orientation
詳細
結晶方位
英語表記：crystal orientation
詳細
結晶面
英語表記：crystal surface
詳細
結晶粒界
英語表記：grain boundary
詳細
検出器
英語表記： height detector
詳細
研削といし
英語表記：grinding wheel
詳細
研削ウエーハ厚さ
英語表記：actual wafer thickness
詳細
研削液
英語表記：grinding water
詳細
研削盤
英語表記：grinding machine
詳細
研削盤
英語表記：grinding machine
詳細
研削油剤装置
英語表記：coolant apparatus
詳細
研磨・クリーニング
英語表記：lapping, polishing and cleaning
詳細
研磨レート
英語表記：removal rate
詳細
研磨圧力
英語表記：polishing pressure
詳細
研磨温度
英語表記：polishing temperature
詳細
研磨材混合ホーニング装置
英語表記：wet powder honing
machine
詳細
研磨紙
英語表記：abrasive paper
sandpaper
詳細
研磨時間
英語表記：polishing time
詳細
研磨終点信号
英語表記：end point signal of polishing
詳細
研磨条件
英語表記：polishing condition
詳細
研磨性能
英語表記：polishing performance
詳細
研磨精度
英語表記：polishing accuracy
詳細
研磨定盤
英語表記：turn table platen
詳細
研磨抵抗
英語表記：polishing resistance
詳細
研磨特性
英語表記：polishing characteristics
詳細
研磨廃水処理装置
英語表記：grinding waste
water treatment
equipment
詳細
研磨布
英語表記：polishing cloth cloth pad buff
詳細
研磨布
英語表記：polishing pad
詳細
研磨布の圧縮率
英語表記：compressibility of polishing pad
詳細
研磨布の溝加工
英語表記：grooving of polishing pad
詳細
研磨布の硬度
英語表記：hardness of polishing pad
詳細
研磨布の粘弾性
英語表記：viscoelasticity of polishing pad
詳細
研磨布の物性
英語表記：properties of polishing pad
詳細
研磨布材
英語表記：polishing cloth material
詳細
研磨布寿命
英語表記：polishing pad life
詳細
研磨布密度
英語表記：apparent density of polishing pad
詳細
研磨量
英語表記：stock removal
詳細
顕微ラマン散乱分光法
英語表記：microscopic Raman spectroscopy
詳細
原子・励起分子ビーム照射法
英語表記：atom・excited molecule beam etching
詳細
原子間力顕微鏡 AFM
英語表記：atomic force microscope
詳細
原子間力顕微鏡（AFM）
英語表記：AFM: Atomic Force Microscope
詳細
原子吸光分光法
英語表記：AAS: Atomic Absorption Spectroscopy
詳細
原子吸光法
英語表記：atomic absorption analysis
詳細
原子層エピタキシャル成長装置 ALE装置
英語表記：atomic layer epitaxial growth system
詳細
原水調整槽
英語表記：waste water equalizing tank
詳細
減圧CVD装置 低圧CVD装置
英語表記：low pressure CVD system
詳細
減圧エッチング
英語表記：vacuum etching
詳細
減圧機構
英語表記：reduced pressure controller
詳細
減圧気相エピタキシャル成長装置 低圧気相エピタキシャル成長装置
英語表記：reduced pressure vapor phase epitaxial growth system low pressure vapor phase epitaxial growth system
詳細
減圧成形
英語表記：vacuum molding
詳細
減圧脱気液浸浸漬式エッチング装置
英語表記：evacuated wet etching system
詳細
減圧排気システム
英語表記：exhaust system
詳細
減速モード ディセルモード
英語表記：deceleration mode
decel mode
詳細
現像レート
英語表記：developing rate
詳細
現像液温度調整
英語表記：developer temperature control
詳細
現像均一性
英語表記：CD utiiformity
詳細
現像均一性
英語表記：developing uniformity
CD uniformity
詳細
現像欠陥
英語表記：post-develop defect
詳細
現像前べーク
英語表記：post exposure bake
詳細
現像前べーク
英語表記：Post Exposure Bake
詳細
限外ろ過
英語表記：ultrafiltration
詳細
限外ろ過装置 UF装置
英語表記：ultrafiltration
equipment
詳細
個別半導体テストシステム ディスクりートテスタ
英語表記：discrete component
test system
discrete tester
詳細
固液界面
英語表記：interface between solid and melt
詳細
固化率
英語表記：solidification ratio
詳細
固相エピタキシャル成長装置
英語表記：solid phase epitaxial growth system
詳細
固相拡散
英語表記：solid-phase diffusion
詳細
固相拡散
英語表記：solid-phase diffusion
詳細
固相拡散法
英語表記：solid phase diffusion method
詳細
固体ソースMBE
英語表記：solid source MBE
詳細
固体蒸発源
英語表記：solid vaporizer
詳細
固定と粒
英語表記：bonded abrasive
詳細
固定電荷密度
英語表記：fixed charge density
詳細
固定砥粒
英語表記：fixed abrasive
詳細
固定砥粒パッド
英語表記：fixed abrasive pad
詳細
固定砥粒研磨
英語表記：fixed abrasive polishing
詳細
固溶度
英語表記：solid solubility
詳細
故障モード
英語表記：failure mode
詳細
故障モデル・法則
英語表記：failure model and law
詳細
故障解析
英語表記：failure analysis
詳細
故障解析手順
英語表記：failure analysis procedure
詳細
後処理室
英語表記：post-treatment chamber
詳細
後洗浄
英語表記：post-cleaning process
詳細
後段加速方式
英語表記：post acceleration
詳細
後腐食
英語表記：after corrosnon
詳細
誤作動防止バルブ制御システム
英語表記：error operation free
valve control
system
詳細
交互測定機能 シリアル測定機能
英語表記：multiplex test
function
sirial test function
詳細
光CVD装置
英語表記：photo assisted CVD system
詳細
光パラメトリック効果
英語表記：optical parametric effect
詳細
光ブリーチ効果
英語表記：photo bleaching
詳細
光リソグラフィ
英語表記：photolithography
詳細
光化学洗浄装置 UVオゾン洗浄装置 紫外線オゾン洗浄装置
英語表記：photo-chemical cleaning equipment
詳細
光学式表面粗さ測定
英語表記：optical surface roughness measurement
詳細
光学的特性
英語表記：optical properties
詳細
光干渉型膜厚測定法
英語表記：PITM: Photo Interferometry for Film Thickness Measurement
詳細
光干渉膜厚測定
英語表記：interferrometry thickness measurement
詳細
光気相エピタキシャル成長装置
英語表記：photo assisted vapor phase epitaxial growth system
詳細
光起電力効果
英語表記：photo-voltaic effect
詳細
光起電力効果
英語表記：photo voltaic effect
詳細
光輝焼鈍管 BA管
英語表記：bright annealing
pipe
詳細
光近接効果
英語表記：optical proximity effect
詳細
光散乱トモグラフ法
英語表記：light scattering tomography
詳細
光散乱法
英語表記：light scattering
詳細
光散乱法
英語表記：light scattering method
詳細
光像法
英語表記：light figure method
詳細
光弾性応力解析法
英語表記：photoelastic stress-strain analysis method
詳細
光電効果
英語表記：photo-electric effect
詳細
光電子回折
英語表記：PED: Photoelectron Diffraction
詳細
光電子広がり
英語表記：photoelectron scattering, range
詳細
光電子分光法
英語表記：PES: Photoelectron Spectroscopy
詳細
光電子放出効果
英語表記：photo-emission effect
詳細
光電導効果
英語表記：photo-conductive effect
詳細
光電方式
英語表記：photoelectric sensing method
詳細
光電流法 P(H)C
英語表記：photo current method
詳細
光導電効果
英語表記：photo-conductive effect
詳細
光誘起電流 光励起電流 OBIC
英語表記：optical beam
induced current
詳細
光容量法
英語表記：photo capacitance method
詳細
光励起
英語表記：photo-excited cleaning
詳細
光励起アッシング装置
英語表記：photo excited ashing system
詳細
光励起エッチング装置
英語表記：photo excited
etching system
詳細
光励起発光法 PL
英語表記：photo luminescence method
詳細
光露光プロセス
英語表記：photolithography process
詳細
光露光装置
英語表記：optical aligner
詳細
厚さむら 5点厚さむら
英語表記：thickness variation five points thickness
詳細
向流再生式イオン交換装置
英語表記：counterflow
regeneration
ion exchange
equipment
詳細
孔明きパネル
英語表記：perforated panel
詳細
工ステルイ化率
英語表記：ester rate
詳細
工ッチング耐性
英語表記：dry etch resistance
詳細
工ッチング反応機構
英語表記：etching reaction mechanisms
詳細
工作主軸
英語表記：work spindle
詳細
工作主軸台
英語表記：work head
spindle head
head stock
詳細
工程間搬送
英語表記：interbay
transportation
詳細
工程情報（管理）
英語表記： process information
詳細
工程内搬送
英語表記：intrabay
transportation
詳細
広がり抵抗測定法
英語表記：spread resistance
measurement
method
詳細
広がり抵抗法 SR
英語表記：spreading resistance method
詳細
広域X線吸収微細構造（EXAFS）
英語表記：Extended X-ray Absorption Fine Structure(EXAFS)
詳細
抗折強度
英語表記：die strength
詳細
構造敏感
英語表記：structure sensitivity
詳細
降伏応力
英語表記：yield stress
詳細
降伏現象
英語表記：breakdown phenomenon
詳細
高さセンサ
英語表記：height sensor
詳細
高アスペクト比形状
英語表記：high aspect ratio profile
詳細
高エネルギーイオン注入装置 高電圧イオン注入装置
英語表記：high energy ion implanter
high voltage ion implanter
詳細
高スループット化
英語表記：high throughput
詳細
高圧ジェット洗浄
英語表記：high pressure water jet cleaning
詳細
高圧電子顕微鏡法 HVEM
英語表記：high voltage electron microscopy
詳細
高圧熱酸化装置
英語表記：high pressure hermal oxidation furnace
詳細
高圧噴射洗浄装置 高圧ジェットスプレー
英語表記：high pressure jet
spray
詳細
高温リフロー スパッタリング
英語表記：high temperature reflow sputtering
詳細
高温薬液循環ろ過装置
英語表記：hot acid circulation and filtration system
詳細
高音測定機能
英語表記：hot testing function
詳細
高周波
プラズマCVD装置
英語表記：RF plasma enhanced CVD system
詳細
高周波スパッタリング
英語表記：high frequency sputtering
詳細
高周波パッケージ
英語表記：high frequency package
詳細
高周波ボンディング
英語表記：high frequency
ultrasonic bonding
詳細
高周波マッチングシステム
英語表記：high frequency matching system
詳細
高周波ワークコイル
英語表記：radio frequency workcoil
詳細
高周波信号測定機能
英語表記：radio frequency
mesurement
詳細
高周波増幅器
英語表記：high frequency amplifier
詳細
高周波電極 陰極
英語表記：RF electrode
詳細
高周波電源
英語表記：high frequency power supply
詳細
高周波電源
英語表記：RF generator
詳細
高周波電源モニタ
英語表記：high frequency power supply monitor
詳細
高周波特性
英語表記：high frequency characteristic
詳細
高周波放電
英語表記：high frequency discharge
詳細
高周波誘導加熱真空蒸着装置
英語表記：induction heating evaporation system
詳細
高周波誘導加熱法
英語表記：radio frequency heating method
詳細
高性能多層配線
英語表記：high performance multi-level interconnections
詳細
高速アッシング
英語表記：high rate ashing
詳細
高速ナロービード溶接
英語表記：high speed one pass
welding
詳細
高速化
英語表記：throughput increase
詳細
高速昇降温炉
英語表記：fast thermal process system
詳細
高速成膜
英語表記：high deposition rate
詳細
高速反射電子線回折法
英語表記：Reflection High Energy Electron Diffraction: RHEED
詳細
高低音測定機能
英語表記：hot and cold testing
function
詳細
高電圧ターミナル
英語表記：high voltage terminal
詳細
高電圧露光
英語表記：high acceleration voltage
exposure
詳細
高不純物濃度化
英語表記：high impurity concentration
詳細
高風速バーンイン装置
英語表記：high wind velocity
burn-in system
詳細
高密度プラズマCVD
英語表記：high density plasma enhanced CVD
詳細
高密度プラズマCVD
英語表記：HDP CVD : High Density Plasma CVD
詳細
高密度プラズマエッチング
英語表記：High Density Plasma Etching
詳細
高誘電率膜
英語表記：high dielectrics constant film
詳細
合わせ精度
英語表記：overlay accuracy
詳細
合成高分子製逆浸透膜 複合膜
英語表記：synthetic polymer
composite reverse
osmosis membrane
thinfilm composite
membrane
詳細
黒鉛炉原子吸光分析計 フレームレス原子吸光分析計
英語表記：graphite furnace
atomic absorption
spectrometer
詳細
混床式イオン交換塔
英語表記：mixed bed column
詳細
混床式ポリッシャ
英語表記：mixed bed polisher
詳細
混晶半導体
英語表記：alloy semiconductor
詳細
混変調測定
英語表記：intermodulation
measurement
詳細
混流型クリーンルーム
英語表記：miXed flow clean
room
詳細
左回転 CCW
英語表記：counter clock wise
詳細
差圧ダンパ
英語表記：pressure setting
damper
詳細
差圧検出器
英語表記：differential pressure
sensor
詳細
差動トランス終点検出法
英語表記：liner variable diferential tranceducer end point detection
詳細
差動増幅器
英語表記：Differential amplifier
詳細
砂ろ過器 急速ろ過機
英語表記：sand filter
rapid sand filter
詳細
再結合ライフタイム
英語表記：recombination lifetime
詳細
再現性
英語表記：repeatability
詳細
再生ウェーハ
英語表記：reclain wafer
詳細
再生レベル
英語表記：regeneration level
詳細
再生廃水中和装置
英語表記：regeneration waste
water neutralizing
equipment
詳細
最小パルス幅
英語表記：minimum pulse
width
詳細
最小検出パルス幅
英語表記：minimum detectable
pulse width
詳細
最大チャージ量
英語表記：Charge size crucible capacity
詳細
最大粒子
英語表記：maximum grain size
詳細
最尤法
英語表記：maximum likelihood method
詳細
細線
英語表記：thin wire
fine wire
詳細
皿状ピット
英語表記：shallow pit saucer
詳細
三重ウェル
英語表記：triple well
詳細
三値ドライブ
英語表記：three level drive
詳細
散乱電子
英語表記：scattering electron
詳細
酸化・拡散/不純物ドーピング技術
英語表記：oxidation・ diffusion/impurity dopin g technologies
詳細
酸化マンガンスラリー
英語表記：manganese oxideslurry
詳細
酸化還元装置
英語表記：oxidation reduction
equipment
詳細
酸化還元電位
英語表記：oxidation reduction potential
詳細
酸化還元電位計
英語表記：oxidation reduction
potential(ORP)
詳細
酸化種
英語表記：oxidation seed
詳細
酸化増速、減速拡散
英語表記：oxidation-enhanced、retarded diffusion
詳細
酸化物半導体
英語表記：oxide semiconductor
詳細
酸拡散
英語表記：acid diffusion
詳細
酸素ドナー
英語表記：oxygen donor
詳細
酸素プラズマ耐性
英語表記：02 plasma resistance
詳細
酸素析出
英語表記：precipitation of oxygen
詳細
酸素析出
英語表記：oxygen
precipitation
詳細
酸素析出物
英語表記：oxygen precipitate
詳細
酸素析出物
英語表記：oxide precipitate
詳細
酸素濃度モニタ
英語表記：oxygen concentration monitor
詳細
酸窒化酸化 N₂O酸窒化
英語表記：oxynitridation in N₂O(NO)
詳細
残存空気
英語表記：residual air
詳細
残留オゾン処理装置
英語表記：ozone gas processor
詳細
残留塩素計
英語表記：residual chlorine
meter
詳細
残留溶媒量
英語表記：remanung solovent
詳細
残留粒子数
英語表記：numbers of unremovable particle
詳細
仕事関数
英語表記：work function
詳細
仕上研磨 ファイナル スーパーファイナル
英語表記：final polishing final super final
詳細
四探針法
英語表記：four point probe method
詳細
指数分布
英語表記：exponential distribution
詳細
紫外線殺菌器 UV殺菌器
英語表記：ultraviolet sterilizer
詳細
紫外線酸化装置
英語表記：ultraviolet-ray
oxidation
equipment
詳細
試験周波数 動作周波数
英語表記：test frequency
operating frequency
詳細
磁気カップリング 回転導入
英語表記：magnetic coupled feedthrough
詳細
磁気中性線放電
英語表記：magnetic neutral loop discharge
詳細
磁気抵抗
英語表記：magnetoresistance
詳細
磁気浮上搬送
英語表記：magnetic levitation transfer
詳細
磁気浮上搬送
英語表記：magnetic levitation
transfer
詳細
磁場
英語表記：magnetic field
詳細
磁場スキャン
英語表記：magnetic scan
詳細
磁場測定器
英語表記：magnetic field
measuring
instrument
詳細
磁場中引上法 磁場印加引上法 MCZ法
英語表記：magnetic field applied Czochralski crystal growth method
詳細
磁性半導体
英語表記：magnetic semiconductor
詳細
自家発電設備
英語表記：non-utility
generation facility
詳細
自己スパッタリング
英語表記：self sputtering
詳細
自己バイアス電圧
英語表記：self-bias voltage
詳細
自己診断機能 ダイアグ
英語表記：self diagnostic
function
詳細
自己整合コンタクト
英語表記：SAC : Self-Aligned Contact
詳細
自己整合技術
英語表記：self-alignment technology
詳細
自己平坦膜
英語表記：self planarization film
詳細
自公転治具 プラネタリ治具
英語表記：rotary and revolutionary
詳細
自然酸化除去
英語表記：native oxide removal
詳細
自然酸化膜
英語表記：native oxide
詳細
自然酸化膜
英語表記：native oxide
詳細
自然放出
英語表記：spontaneous emission
詳細
自走ロボット
英語表記：automatic guided
vehicle with robot
詳細
自動圧力制御
英語表記：automatic pressure control
詳細
自動圧力制御
英語表記：automatic pressure control
詳細
自動温度制御システム
英語表記：automatic temperature control system
詳細
自動化
英語表記：automatically calibration
詳細
自動継手締め付け工具
英語表記：automatic joint
fastening tool
詳細
自動欠陥レビュー／分類 ADR／ADC
英語表記：auto defect review/ classification
詳細
自動公転機能
英語表記：spin and rotation
詳細
自動消火装置
英語表記：automatic fire extinguisher
詳細
自動焦点合わせ
英語表記： auto focusmg
詳細
自動直径制御システム
英語表記：automatic diameter control system
詳細
自動定寸装置
英語表記：automatic sizing device
詳細
自動定寸装置
英語表記：adaptive controller
automatic thickness controller
詳細
自動貼合わせ機能 PTPA
英語表記：automatic probe to
pad alignment
function
probe to pad
alignment
詳細
自動排熱機構 オートダンバ
英語表記：automatic exhaust
air mechanism
詳細
自動搬送システム AMHS
英語表記：automatic
transportation
system
automated material
handling system
詳細
自発反応
英語表記：spontaneous reaction
詳細
自由キャリア吸収
英語表記：free carrier absorption
詳細
湿式排ガス処理装置
英語表記：wet type exhaust
gas abatement
equipment
詳細
質量分析器
英語表記：Mass Analyzer
詳細
質量分析計
英語表記：mass analyzing system
詳細
質量分析能力
英語表記：mass analyzing capability
詳細
実効インダクタンス
英語表記：effective inductance
詳細
実装プロセス
英語表記：mount process, mounting process
詳細
実装技術
英語表記：packaging technology
詳細
実装信頼性
英語表記：reliability of assembly
詳細
実装装置
英語表記：mounting equipment
詳細
斜光照明
英語表記：oblique lighting
詳細
斜入射干渉計方式
英語表記：grading incidence interferometer method
詳細
斜入射照明
英語表記：off—axis illumination
詳細
遮光帯
英語表記：shielding light band
詳細
主放電
英語表記：main discharge
詳細
手押し台車 PGV MGV
英語表記：pushcart
personnel guided
manual guided
veicleh
詳細
種子結晶
英語表記：seed crystal
詳細
種棒切断 種子切断
英語表記：seed cut
詳細
受変電設備
英語表記：electrical
transmission and
distribution
systems
詳細
寿命データ解析
英語表記：life data analysis
詳細
寿命分布
英語表記：lifetime distribution
詳細
樹脂封止
英語表記：resin encapsulation
詳細
樹脂流動解析
英語表記：flow simulation of molding compound
詳細
収束イオンビーム法 FIB
英語表記：focused ion beam
詳細
周辺部除外領域
英語表記：edge exclusion
詳細
周辺露光 ウェーハ周辺露光 選択露光
英語表記：optical edge bead remover
詳細
周辺露光装置
英語表記：wafer edge eXPOSUre
詳細
修正キャリヤ
英語表記：dressing carrier
conditioning carrier
詳細
終点検出
英語表記：endpoint detector
詳細
終点検出
英語表記：end point detection
詳細
終点検出
英語表記：end point momtoring
詳細
終点検知
英語表記：end point detection
詳細
集積ガスユニット
英語表記：integrated gas unit
詳細
集積化部品
英語表記：integrated
components
詳細
集束イオンビーム
英語表記：FIB : Focused Ion Beam
詳細
集束イオンビーム（FIB）法
英語表記：Focused Ion Beam
詳細
集束イオンビーム露光
英語表記：focused ion-beam exposure
詳細
集中監視盤 中央監視制御
英語表記：central monitoring
and control system
詳細
縦型ステッパ
英語表記：vertical stepper
詳細
縦型ブリッジマン法
英語表記：ertical Bridgman method
詳細
縦型減圧CVD装置
英語表記：vertical low pressure CVD system
詳細
縦型実装パッケージ
英語表記：vertical mount package
詳細
縦型装置
英語表記：vertical type reactor
system
詳細
重ね合せ精度 レジストレーション精度
英語表記：overlay accuracy
詳細
重ね合わせ精度
英語表記：overlay accuracy
詳細
重金属汚染
英語表記：heavy metal contamination
詳細
重金属汚染
英語表記：pollution of heavy metal
詳細
重金属廃水処理装置
英語表記：heavy metal waste
water treatment
equipment
詳細
重金属不純物
英語表記：heavy metal impurity
詳細
重力式ろ過器
英語表記：gravity filter
詳細
縮小レンズ光学系
英語表記：reduced lens-optical system
詳細
縮小転写イオン光学系
英語表記：ion optics for projection 10n beam lithography
詳細
縮小倍率
英語表記：reduction ratio
詳細
縮小露光
英語表記：reduction exposure, El-TV lithography
詳細
縮小露光系
英語表記：image reduction system
詳細
出力パターンセンス法
英語表記：sensitizing pattern
generation method
詳細
循環ろ過システム
英語表記：recirculation filtration system
詳細
循環ろ過式洗浄槽
英語表記：bath with filter for circulating solution
詳細
準水系洗浄装置
英語表記：semi-aqueous cleaning equipment, washing equipment
詳細
純水タンク
英語表記：pure water storage
tank
詳細
純水リンス
英語表記：pure water rinsmg
詳細
純水冷却
英語表記：deionized water cooling
詳細
書き込みエラー 消去エラー
英語表記：write error
erase error
詳細
書き込みフェイル 消去フェイル
英語表記：write fail
erase fail
詳細
書き込み許容エラー 回数 消去許容エラー
英語表記：write error
allowance
erase error
allowance
詳細
徐冷ゾーン
英語表記：cooling zone
詳細
除鉄・除マンガン装置
英語表記：deiron demanganese
equipment
詳細
除電装置
英語表記：charge neutralizer
詳細
小型リング
英語表記：compact ring
詳細
少量危険物貯蔵庫
英語表記：store room for small
quantity dangerous
詳細
昇温脱離ガス分析法
英語表記：TDGA: Thermal Desorption Gas Analysis
詳細
昇降温プロファイル
英語表記：temperature up and down profile
詳細
焼却装置
英語表記：incineration
equipment
詳細
焦点・非点補正
英語表記：focus・astigmatism revision
詳細
焦点深度 DOF
英語表記：depth of focus
D.O.F
詳細
照射損傷
英語表記：irradiation damage
詳細
照射量補正
英語表記：dose modulation correction method
詳細
照度むら
英語表記：illumination uniformity
詳細
照明系
英語表記：illumination system
詳細
照明条件差
英語表記：effects of difference of illumination conditions
詳細
省エネルギー設備
英語表記：energy saving
system
詳細
省レジスト技術
英語表記：reduced resist consumption
詳細
衝突・無衝突減衰
英語表記：collision・nonーcollision attenuation
詳細
衝突周波数
英語表記：collision frequency
詳細
衝突断面積
英語表記：collision cross section
詳細
上向流ろ過器
英語表記：up-flow filter
詳細
上定盤
英語表記：upper lapping plate
詳細
上面／下面研削幅
英語表記：upper/ lower surface grinding width
詳細
常圧CVD装置
英語表記：atmospheric pressure CVD system
詳細
常圧気相エピタキシャル成長装置
英語表記：atmospheric pressure vapor phase epitaxial growth system
詳細
常圧熱酸化装置
英語表記：atmospheric thermal oxidation furnace
詳細
蒸気乾燥装置
英語表記：vapor drying equipment
詳細
蒸着法
英語表記：evaporation method for bump formation
詳細
蒸発材料
英語表記：evaporation material
詳細
蒸発残さ計
英語表記：non-volatile residue
analyzer
詳細
蒸発濃縮装置
英語表記：evaporator
詳細
色差分離処理
英語表記：YC separate
詳細
色再現性試験
英語表記：color linearity
詳細
触針式表面粗さ測定
英語表記：stylus surface roughness measurement
詳細
触媒湿式酸化処理装置
英語表記：catalyzed wet
oxidation equipment
詳細
触媒樹脂脱酸素装置
英語表記：oxyducgen reduction
equipment with
catalytic resin
詳細
信号処理演算回路
英語表記：Signal processing operating circuit
詳細
信頼性管理
英語表記：reliability management
詳細
信頼性試験
英語表記：Reliability test
詳細
信頼性試験
英語表記：reliability test
詳細
信頼性設計と予測
英語表記：reliability design and prediction
詳細
振動ピックアップ
英語表記：vibration pickup
詳細
振動レベル計
英語表記：vibration level meter
詳細
振動解析終点検出法
英語表記：end point detection by vibration analysis
詳細
振動周波数分析器
英語表記：vibration frequency
analyzer
詳細
振動励起
英語表記：vibrational excitation
詳細
新線送り量
英語表記：length of fresh wire feeding
詳細
浸漬式エッチング装置
英語表記：immersion wet
etching system
詳細
深い不純物準位
英語表記：deep level
詳細
深冷空気分離装置
英語表記：cryogenic air separator
詳細
真空ロボット
英語表記：robot for using in vacuum
詳細
真空乾燥装置
英語表記：vacuum drying equipment
詳細
真空紫外光吸収分光
英語表記：vacuum ultra violet absorption spectroscopy
詳細
真空紫外光電子分光法
英語表記：UPS: Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy
詳細
真空紫外線照射除電装置
英語表記：deep ultraviolet charge neutralizer
詳細
真空紫外発光分析
英語表記：vacuum ultra Violet emission
spectroscopy
詳細
真空蒸着装置
英語表記：vacuum evaporation
詳細
真空掃除システム セントラルバキュームクリーニング
英語表記：central vacuum cleaning system
詳細
真空脱気塔
英語表記：vacuum degagifier
詳細
真空法
英語表記：high vacuum method
詳細
真性半導体
英語表記：intrinsic semiconductor
詳細
真性半導体
英語表記：intrinslC semiconductor
詳細
真性半導体
英語表記：intrinsic semiconductor
詳細
親水性
英語表記：hydrophilicity
詳細
親水性表面
英語表記：hydrophilic surface
詳細
進捗管理システム
英語表記：work in process
tracking system
詳細
酢酸セルローズ製逆浸透膜 CA膜
英語表記：cellulose acetate
reverse osmosis
membrance
詳細
図形演算処理
英語表記：pattern operation
詳細
垂直プロービングカード
英語表記：vertical probing card
詳細
垂直立上げ
英語表記：swift start-up system
詳細
水圧ホーニング装置
英語表記：water jet horning
machine
詳細
水系洗浄装置
英語表記：aqueous cleaning equipment
詳細
水素ターミネーション 水素終端化
英語表記：hydrogen termination
詳細
水素プラズマ曝露
英語表記：hydrogen plasma exposure
詳細
水分圧
英語表記：H2O partial pressure
詳細
水平ブリッジマン法 温度傾斜法
英語表記：horizontal Bridgman
詳細
水平ローダ
英語表記：horizontal loader
詳細
寸法シフト
英語表記：measure shift
詳細
寸法シフト 寸法変換量 CDロス
英語表記：pattern shift
critical dimension
loss
詳細
寸法ドリフト
英語表記：pattern size drift
詳細
寸法測定
英語表記：dimension measurement
詳細
制御空気源装置
英語表記：control-air source
equipment
詳細
成形タイム
英語表記：molding time
詳細
成形金型 マルチブランジャ金型 コンベンショナル金型
英語表記：molding die
multiple plunger
molding die
conventional
molding die
詳細
成長の異方性
英語表記：anisotropy of growth
詳細
成長結晶最大直径
英語表記：growing crystal diameter
詳細
成長縞
英語表記：growth striation
詳細
成膜均一性
英語表記：process uniformity
詳細
整流特性
英語表記：rectifying characteristic
詳細
正・負イオン交互照射
英語表記：positive/negative Ions
詳細
清浄度 清浄度レベル
英語表記：cleanliness
cleanliness level
詳細
清浄度クラス
英語表記：cleanliness class
詳細
清浄度回復能
英語表記：cleanliness recovery
characteristic
clean down
capability
詳細
清浄度管理
英語表記：cleanliness control
詳細
生菌数 細菌数
英語表記：number of micro
organisms
number of bacteria
詳細
生産スケジュール
英語表記：production cchedule
詳細
生産管理
英語表記：production management
詳細
生産管理システム
英語表記：production
management
system
詳細
生産方式
英語表記：manufacturing method
詳細
生産用真空設備
英語表記：process vacuum
system
詳細
生物脱窒素装置
英語表記：biological nitrogen
removal equipment
詳細
精製速度
英語表記：refining speed
詳細
精密ろ過膜 メンブレンフィルタ MF
英語表記：micro filter
membrane filter
詳細
製造・加工装置
英語表記：packaging equipment
詳細
製品安全データシート MSDS
英語表記：material safety data
sheet
詳細
静圧軸受
英語表記：static pressure bearing
詳細
静電スキャン
英語表記：electrostatic scan
詳細
静電ダメージ
英語表記：electrostatic damage
詳細
静電チャック
英語表記：electrostatic chuck
詳細
静電チャック
英語表記：electrostatic clampless holder
詳細
静電チャックサセプタ
英語表記：static electric chuck sucepter
詳細
静電気テスタ 静電気チェッカ
英語表記：static electricity tester
詳細
静電靴
英語表記：static-dissipative
shoes
詳細
静電除去機
英語表記：static eliminator
詳細
静電電位計
英語表記：electrostatic
potentiometer
詳細
静電容量方式
英語表記：capacitive sensing method
詳細
脆性モード研削法
英語表記：ductile mode grinding
詳細
析出酸素量
英語表記：amount of oxygen precipitation
詳細
石英るつぼ
英語表記：quartz crucible
詳細
石英管洗浄装置
英語表記：quartz tube cleaning equipment
詳細
積算形電気移動度分析器 EAA
英語表記：integral mobility
analyzer
electrical aerosol
analyzer
詳細
積層パッド
英語表記：stacked pad
詳細
積層欠陥
英語表記：stacking fault
詳細
積層欠陥
英語表記：stacking fault
詳細
積分型A/D変換器
英語表記：integrating A/D converter
詳細
積和演算器
英語表記：multiply and accumulate arithmetic logic unit
詳細
赤外干渉法
英語表記：infrared interference method
詳細
赤外吸収
英語表記：infrared absorption
詳細
赤外吸収分光法 IR
英語表記：infrared absorption spectroscopy
詳細
赤外線アニール装置
英語表記：infrared annealer
詳細
赤外線トモグラフ IR-LST
英語表記：infrared laser scaltering tomograph
詳細
赤外線リフローはんだ付け（IRリフロー法）
英語表記：Infrared reflow soldering
詳細
赤外線リフロー装置
英語表記：infrared rays reflow equipment
詳細
赤外線干渉終点検出法
英語表記：end point detection by infrared interferomety
詳細
赤外線顕微鏡法
英語表記：infrared microscopy
詳細
赤外線集中加熱法
英語表記：infrared heating method
詳細
赤外全反射分光法
英語表記：attenuated total reflection
詳細
赤外分光法
英語表記：infrared spectroscopy
詳細
切屑分離装置
英語表記：coolant separator
詳細
切断機
英語表記：slicing machine
詳細
接合リーク特性
英語表記：junction leak characteristic
詳細
接触ばっ気装置
英語表記：biological contact
aeration equipment
詳細
接触角
英語表記：contact angle
詳細
接触子 コンタクト
英語表記：contactor
詳細
接続精度
英語表記：butting accuracy
詳細
接地設備
英語表記：ground earth
詳細
接地電極 陰極
英語表記：ground electrode
anode
詳細
接着SOIウェーハ 張り合わせSOIウェーハ
英語表記：bonding silicon on insulator wafer
詳細
設計アルゴリズム
英語表記：design algorithm
詳細
設備移動管理システム
英語表記：equipment utilization
management
system
詳細
絶縁破壊（TDDB）試験
英語表記：Time Dependent Dielectric Breakdown measurement
詳細
浅い接合
英語表記：shallow junction
詳細
浅い接合形成
英語表記：shallow junction
詳細
洗浄/前処理
英語表記：cleaning for contact/via hole
詳細
洗浄・乾燥装置
英語表記：cleaner and dryer
詳細
洗浄技術
英語表記：cleaning technology
詳細
洗浄装置
英語表記：cleaning system
詳細
洗浄装置
英語表記：cleaning equipment
詳細
洗浄装置
英語表記：cleaning equipment
詳細
洗浄装置
英語表記：cleaner, cleaning zone, cleaning booth
詳細
洗浄表面計測
英語表記：evaluation Of cleaned surface
詳細
洗浄評価
英語表記：cleaning evaluation
詳細
洗浄方式
英語表記：cleaning process
詳細
線欠陥試験
英語表記：line defect test
詳細
線接触型ポリシング装置
英語表記：linear contact polishing machine
詳細
線幅精度
英語表記：line width accuracy
詳細
選択CVDプロセス
英語表記：selective CVD process
詳細
選択W-CVD機構
英語表記：mechanism Of selective W-CVD
詳細
選択・非選択CVD
英語表記：selective CVD, blancket CVD
詳細
選択エッチング
英語表記：selective etching
詳細
選択エピタキシャル成長
英語表記：Selective Epitaxial Growth .SEG
詳細
選択エピ成長
英語表記：selective epitaxial growth
詳細
選択拡散
英語表記：selective diffusion
詳細
選択鏡面エッチング
英語表記：selective nurror surface etching
詳細
選択研磨
英語表記：selective polishing
詳細
選択研磨
英語表記：selective polishing
詳細
選択成長
英語表記：selective growth
詳細
選択破れ
英語表記：selective break
詳細
選択比
英語表記：Selectivity Etching Ratio
詳細
遷移層
英語表記：transition layer
詳細
遷移領域
英語表記：transition layer
詳細
前処理装置
英語表記：pretreatment
equipment
詳細
前洗浄
英語表記：pre-cleaning process
詳細
前段加速方式
英語表記：preacceleration
system
詳細
全自動引上システム
英語表記：fully autommatic growing system
詳細
全室温洗浄プロセス
英語表記：total room temperature wet cleaning process
詳細
全展開処理
英語表記：flat operations
詳細
全反射蛍光X線分析
英語表記：Total Reflection X-ray Fluorescence
詳細
全反射蛍光X線分析法 TXRF TRXRF
英語表記：total reflection X-ray fluorescence analysis
詳細
全面基準
表面基準
英語表記：front side reference
詳細
塑性変形
英語表記：plastic
deformation
詳細
疎水性
英語表記：hydrophobicity
詳細
疎水性表面
英語表記：hydrophobic surface
詳細
疎密形状差
英語表記：difference in profile between isolated and nested
詳細
疎密効果
英語表記：effects of pattern density
詳細
粗じん用エアフィルタ
英語表記：coarse particle air
filter
詳細
粗研
英語表記：coarse grinding
詳細
粗粒
英語表記：grain grits macro grits
詳細
素材移動ストローク
英語表記：material lift travel
詳細
素子分離用絶縁膜
英語表記：isolation dielectrics
詳細
組成制御
英語表記：control of composition
詳細
層間絶縁膜
英語表記：inter-layer dielectrics
詳細
層間絶縁膜
英語表記：ILD : Inter - Level Dielectric、
IMD : Inter-Metal Dielectric
詳細
層間絶縁膜形成方法と特性
英語表記：ILD deposition and ILD characteristics
詳細
捜査式投影露光装置
英語表記：scanning projection aligner
詳細
挿入型パッケージ
英語表記：through-hole mount type package, insertion type package
詳細
挿抜機 インサータリムーバ ローダアンローダ
英語表記：inserter remover
詳細
早送り速度
英語表記：fast traverse
詳細
槽間移送時間
英語表記：bath-to-bath transport time
詳細
相関二重サンプリング CDS
英語表記：correlated double
sampling
詳細
相互拡散
英語表記：interdiffusion
詳細
相対湿度
英語表記：relative humidity
詳細
相対速度
英語表記：relative velocity
詳細
総型方式面取り加工
英語表記：form chamfering
詳細
総合インデックススピード
英語表記：total index speed
詳細
総合タイミング精度 OTA
英語表記：overall timing
accuracy
詳細
総量規制
英語表記：total quantity
restriction
詳細
装置信頼性
英語表記：equipment reliability
詳細
装置整備性
英語表記：equipment
maintainability
詳細
装置有用性
英語表記：equipment
availability
詳細
走査ステップ式投影露光装置
英語表記：step-and-scan projection aligner
詳細
走査型オージェ電子顕微鏡 SAM
英語表記：scanning Auger electron microscope
詳細
走査型トンネル顕微鏡（STM）
英語表記：STM: Scanning Tunneling Microscope
詳細
走査型トンネル顕微鏡法 STM
英語表記：scanning tunneling microscopy
詳細
走査型プローブ顕微鏡 SPM
英語表記：SPM: Scanning Probe Microscope
詳細
走査型電子顕微鏡 SEM
英語表記：scanning electron microscope
詳細
走査型電子顕微鏡法
英語表記：scanning electron microscopy
詳細
走査透過型電子顕微鏡 STEM
英語表記：scanning transmission electron microscope
詳細
像面照度
英語表記：illumination intensity at image plane
詳細
増し張り
英語表記：blade retension
詳細
側壁スペーサ
英語表記：side-wall spacer
詳細
側壁保護膜
英語表記：sidewall passivation films
詳細
側壁保護膜
英語表記：Sidewall Protection Film
詳細
側壁保護膜
英語表記：sidewall
protection film
詳細
測長走査型電子顕微鏡法
英語表記：critical dimension scanning electron microscopy
詳細
速度オーバシュート
英語表記：velocity overshoot
詳細
多ビットメモリ
英語表記：Multiple Level Cell
詳細
多ビットメモリ 対応機能
英語表記：multi-bit memory
application
function
詳細
多極プラズマ スパッタリング装置
英語表記：thermoionic sputtring system
詳細
多極石英管型 プラズマCVD装置
英語表記：multi parallel plate electrode plasma enhanced CVD system
詳細
多結晶SiCVD
英語表記：polycrystalline SiCVD
詳細
多結晶シリコン
英語表記：polycrystalline silicon
詳細
多結晶シリコン
英語表記：polycrystalline silicon
詳細
多重ビーム露光
英語表記：multi-beam exposure
詳細
多重干渉効果
英語表記：effects Of multiple interference
詳細
多重干渉効果 定在波効果
英語表記：multiple interference
effect
swing curve effect
standing wave effect
詳細
多重描画
英語表記：multiphase printing
詳細
多層IVH基板
英語表記：multilayer Interstitial Via Hole printed board
詳細
多層レジストプロセス
英語表記：multi-layer resist process
詳細
多層レジスト法
英語表記：multilayer resist method
詳細
多層配線
英語表記：multi level interconnection
詳細
多層配線
英語表記：Multi-level Interconnection
詳細
多層配線化
英語表記：multi-level interconnection
詳細
多層膜プロセス
英語表記：multilayer process
詳細
多層膜ミラー
英語表記：multilayer mirror
詳細
多層膜ミラー光学系
英語表記：multilayer mirror optics
詳細
多槽浸漬式洗浄装置
英語表記：multibath wet cleaning equipment
詳細
多段アニール
英語表記：multi step annealing
詳細
多段熱処理
英語表記：multi steps annealing
詳細
多値化認識 2値化認識
英語表記：gray scale pattern
recognition
binary scale pattern
recognition
詳細
太線
英語表記：thick wire
heavy wire
詳細
太陽電池級多結晶シリコン：SOG-Si
英語表記：Solar Grade-Silicon
詳細
体積一定ルール
英語表記：volume constant rule
詳細
対向ターゲット型スパッタリング装置 FTS装置
英語表記：facing target sputtering system
詳細
対数正規グラフ 対数正規プロット
英語表記：log-normal graph
log-normal plot
詳細
対数正規確率紙
英語表記：lognormal probability paper
詳細
対数正規分布
英語表記：log-normal distribution
詳細
耐圧型インライン電気伝導度計
英語表記：in-line type electrical
conductivity meter
(with standing high
pressure)
詳細
耐震設備
英語表記：earthquake resisting
device
詳細
耐熱性
英語表記：thermal resistance
詳細
帯域溶融法 ゾーンメルティング法
英語表記：zone melting method
詳細
帯間光学間接遷移
英語表記：interband optical indirect transition
詳細
帯間光学直接遷移
英語表記：interband optical direct transition
詳細
帯電電位
英語表記：charged electric
potential
詳細
滞在時間効果
英語表記：effects of gas residence time
詳細
代替搬送
英語表記：alternative
transportation
詳細
代表図形法
英語表記：representative figure method
詳細
台形フォーマット
英語表記：algorithm based on trapezoid
詳細
大ビーム電流
英語表記：large beam current
詳細
大気圧イオン化質量分析計
英語表記：atmospheric press
pressure ionization
mass
詳細
大型液晶ディスプレイ用露光装置
英語表記：aligner for large liquid crystal display substractes
詳細
大直径化
英語表記：large wafer
diameter
詳細
大電流 イオン注入装置
英語表記：high current ion implanter
詳細
大面積化
英語表記：enlargement Of the exposure field
詳細
脱気モジュール
英語表記：degas module
詳細
脱水べーク
英語表記：dehydration bake
詳細
脱水ベーク デハイドレーションベーク
英語表記：dehydration bake
詳細
脱炭酸塔
英語表記：decarbonator
詳細
単結晶
英語表記：Single Crystal
詳細
単結晶成長機構
英語表記：mechanism of single crystal growth
詳細
炭化ケイ素（シリコンカーバイド）
英語表記：Silicon Carbide : SiC
詳細
短チャネル効果
英語表記：Short Channel Effect
詳細
短時間アニール
英語表記：Rapid Thermal Annealing
詳細
端面のそり
英語表記：ingot cutting face bow
詳細
弾道性伝導
英語表記：ballistic transport
詳細
断熱版
英語表記：heat insulation plate
詳細
断面均熱
英語表記：radial temperature uniformity
詳細
段差緩和性
英語表記：step height reduction
詳細
地球温暖化
英語表記：global warming
詳細
置換型拡散
英語表記：substitutional diffusion
詳細
逐次サンプリング法 連続サンプリング法
英語表記：secquential
sampling method
詳細
窒化ガリウム
英語表記：Gallium nitride
詳細
窒化ホウ素
英語表記：Boron Nitride : BN
詳細
窒化酸化膜
英語表記：nitrided oxide
詳細
窒素イオン注入
英語表記：N ion implantation
詳細
窒素ガス脱気装置
英語表記：nitrogen gas
bubbling deaerator
詳細
窒素シール
英語表記：nitrogen seal
詳細
窒素添加
英語表記：nitrogen doping
詳細
中空糸型限外ろ過膜 キャピラリ型限外ろ過膜
英語表記：hollow fiber type
ultrafiltration
詳細
中継ボード
英語表記：extension board
詳細
中心面
英語表記：medium surface
詳細
中性ビームエッチング
英語表記：neutral beam etching
詳細
中性子照射ドーピング
英語表記：NTD:Neutron
Transmutation
Doping
詳細
中性子照射放射化分析
英語表記：neutron bombardment radioactive analysis
詳細
中性線ループ放電
英語表記：neutral roop discharge
詳細
中性能エアフィルタ
英語表記：medium efficiency
particulate air filter
詳細
中性粒子質量分析法
英語表記：SNMS: Sputtered Neutral Mass Spectrometry
詳細
中電流 イオン注入装置
英語表記：medium current ion implanter
詳細
注入スピード 射出スピード
英語表記：transfer speed
injection speed
詳細
注入圧力 射出圧力
英語表記：transfer pressure
詳細
注入室
英語表記：implant chamber process chamber
target chamber
詳細
注入発光法 EL
英語表記：electro luminescence method
詳細
注入誘起ゲッタリング
英語表記：injection-induced
gettering
詳細
超音波、メガソニック
英語表記：ultrtasomc, megasomc
詳細
超音波センサー終点検出法
英語表記：end point detection by ultrasonic sensor
詳細
超音波ホーン
英語表記：ultrasonic horn
詳細
超音波ワイヤボンディング
英語表記：ultrasonic wire bonding
詳細
超音波ワイヤボンディング 超音波ワイヤボンダ
英語表記：ultrasonic wire
bonding
ultrasonic wire
bonder
詳細
超音波顕微鏡法
英語表記：acoustic microscopy
詳細
超音波出力密度
英語表記：ultrasonic power density
詳細
超音波洗浄
英語表記：ultrasonic cleaning
詳細
超音波洗浄装置
英語表記：ultrasonic cleaning equipment
詳細
超音波探査装置
英語表記：scanning acoustic
tomograph
詳細
超音波浮上搬送装置
英語表記：ultrasonic floating
transportation
詳細
超音波風速計
英語表記：ultrasonic
anemometer
詳細
超音波併用熱圧着ワイヤボンディング
英語表記：ultrasonic and thermo compression wire bonding
詳細
超音波併用熱圧着ワイヤボンディング 超音波併用熱圧着ワイヤボンダ
英語表記：thermosonic wire
bonding
thermosonic wire
bonder
詳細
超音波方式
英語表記：ultrasonic sensing method
詳細
超加速寿命試験
英語表記：super accelerating
life test
詳細
超解像露光技術
英語表記：super¯resolution method' resolution enhancement technology
詳細
超高エネルギーイオン注入
英語表記：ultra-high energy ion 1mplantation
詳細
超高周波
英語表記：ultra high frequency
詳細
超高精度EB描画
英語表記：Super high accuracy EB writi mg
詳細
超純水
英語表記：de-ionized water
詳細
超純水
英語表記：ultrapure water
詳細
超純水製造装置 超純水装置
英語表記：ultrapure water
system
詳細
超純水配管材
英語表記：piping materials for ultrapure water
詳細
超純水用帯電防止器
英語表記：antistatic charge
equipment for
ultrapure water
詳細
超熱ビーム法
英語表記：hyperthermal beam method
詳細
超微粒子
英語表記：Ultrafine particles
詳細
長寸法精度
英語表記：placement accuracy
詳細
直接置換式洗浄装置
英語表記：direct displacement type cleaning equipment
詳細
直接描画
英語表記：direct writing
詳細
直流（DC）スパッタリング
英語表記：DC sputtering
詳細
直流放電
英語表記：DC discharge
詳細
直列系
英語表記：series system
詳細
通信プロトコル
英語表記：communication protocol
詳細
通信プロトコル
英語表記：communication
protocol
詳細
低エネルギーイオン注入
英語表記：low energy ion implantation
詳細
低圧プラズマ
英語表記：IOW pressure plasma
詳細
低圧遠隔 スパッタリング
英語表記：long throw sputtering
詳細
低圧紫外線酸化装置 TOC-UV
英語表記：ultraviolet oxidation
unit with low
pressure mercury
lamp
詳細
低圧式吸着型ガス供給システム
英語表記：safety delivery
system
詳細
低温エッチング
英語表記：low temperature etching
詳細
低温エピタキシャル成長
英語表記：low temperature epitaxial growth
詳細
低温液化ガスフィルタ
英語表記：cryogenic liquefled
gas filter
詳細
低温焼結基板
英語表記：low temperature fired ceramics
詳細
低温測定機能
英語表記：cold testing function
詳細
低次元電子ガス
英語表記：Low dimensional electron gas
詳細
低速電子線回析法 LEED
英語表記：low energy electron diffraction method
詳細
低速電子線回折法
英語表記：low energy electron diffraction
詳細
低電圧化
英語表記：low voltage operation
詳細
低熱抵抗パッケージ
英語表記：low thermal resistance package
詳細
低誘電率材料
英語表記：low dielectric materials
詳細
低誘電率層間絶縁膜
英語表記：low dielectric constant film, low-κfilm, low-ɛ film
詳細
低誘電率層間絶縁膜 low-ｋ
英語表記：diamonnd CVD
詳細
低誘電率層間絶縁膜形成方法と特性
英語表記：low-E film deposition and film characteristics
詳細
低誘電率膜
英語表記：low dielectric constant film
詳細
低誘電率膜
英語表記：dielectric constant film
詳細
低溶存酸素純水
英語表記：low dissolved oxygen concentration water
詳細
停止精度
英語表記：stopping accuracy
詳細
定電流回路
英語表記：constant-current circuit
詳細
定盤自動修正機構
英語表記：automatic flatness controller
詳細
定盤揺動機構
英語表記：table oscillation
詳細
抵抗ストリング
英語表記：Resistor String
詳細
抵抗ストリングD/A変換器
英語表記：resistor string D/A converter
詳細
抵抗温度係数
英語表記：temperature coemcient of resistance
詳細
抵抗加熱ヒータ
英語表記：resistance heating element
詳細
抵抗加熱真空蒸着装置
英語表記：resistance heating evaporation system
詳細
抵抗加熱法
英語表記：resistance heating method
詳細
抵抗加熱炉
英語表記：resistance heating furnace
詳細
抵抗率 比抵抗値
英語表記：resistivity
詳細
抵抗率計 比抵抗系
英語表記：resistivity meter
詳細
梯子型抵抗D/A変換器
英語表記：Ladder-type resistor D/A converter
詳細
梯子型抵抗D/A変換器
英語表記：Ladder-type resistor D/A converter
詳細
逓倍PLL
英語表記：clock multiplying PLL
詳細
天井パネル
英語表記：ceiling panel
詳細
天井フィルタシステム
英語表記：ceiling filter system
詳細
天井軌道走行型搬送車 OHS OHT
英語表記：ceiling -track
guided vehicle
overhead -track
guided vehicle
overhead shuttle
overhead hoist
transport
詳細
添加不純物の増速拡散
英語表記：enhanced diffusion
of dopant
詳細
添加不純物の表面酸化による増速拡散。酸化増速拡散
英語表記：oxidation
enhanced
diffusion of
dopant, OED:
Oxidation
Enhanced
Diffusion
詳細
添加不純物の偏析現象
英語表記：segregative phenomena of impurity doping
詳細
貼り合わせ
英語表記：wafer bonding
詳細
転位の運動速度
英語表記：velocity of dislocation motion
詳細
転位の固着
英語表記：locking of
dislocation
詳細
転位クラスタ
英語表記：dislocation cluster
詳細
転位ループ
英語表記：dislocation loop
詳細
転位密度
英語表記：dislocation density
詳細
転位密度 EPD
英語表記：dislocation density etch pit density
詳細
転写ローラ
英語表記：offset cylinder
詳細
点欠陥の拡散係数
英語表記：fiffusion
coefficient of
point defect
詳細
点欠陥の凍結
英語表記：quenching of point
defect
詳細
点欠陥試験
英語表記：point defect test
詳細
点欠陥導入熱処理
英語表記：thermal treatment
injecting point
defect
詳細
伝送変換装置
英語表記：transmission
converter
詳細
伝導体
英語表記：Conduction band
詳細
電圧コントラスト 電位コントラスト
英語表記：voltage contrast
potential contrast
詳細
電圧印加電圧測定 VSVM、VFVM
英語表記：voltage source
voltage
measurement
詳細
電圧印加電流測定 VSIM、VSM、VFIM、VFM
英語表記：voltage source (force)urrent
詳細
電圧制御発振器(VCO)
英語表記：Voltage Controlled Oscillator
詳細
電圧比較器(コンパレータ)
英語表記：comparator (comparator)
詳細
電位測定
英語表記：potential contrast
詳細
電解めっき
英語表記：electro plating
詳細
電解イオン水
英語表記：electrolytic ionized
water
electrolysis ionized
water
詳細
電解イオン水
英語表記：electrolytic ionized water
詳細
電解イオン水製造装置
英語表記：electrolytic ionized
water(EIW)
production
equipment
詳細
電解インプロセスドレッシング研削Elid 研削
英語表記：grinding with electrolytic inprocess dressing
詳細
電解研磨 EP管
英語表記：electro polishing
詳細
電解複合研磨 ECB研磨
英語表記：electro chemical
buffing
詳細
電界イオン顕微鏡法
英語表記：field ion microscopy
詳細
電界イオン水洗浄
英語表記：electrolytic ionized water
詳細
電界処理
英語表記：electro deflssh
詳細
電界放射
英語表記：field emission
詳細
電界放射型顕微鏡法
英語表記：field emission microscopy
詳細
電気めっき法
英語表記：electroplating method for bump formation
詳細
電気トーチ
英語表記：electric flame off
詳細
電気光学効果
英語表記：electro-optic effect
詳細
電気再生式イオン交換装置
英語表記：electrodeionization
equipment
continuous
deionization
詳細
電気的特性
英語表記：electronic properties
詳細
電気伝導
英語表記：electrical conduction
詳細
電気特性終点検出法
英語表記：end point detection by electric resistance
詳細
電気二重層
英語表記：electric double layer
詳細
電気炉アニール装置
英語表記：furnace annealer
詳細
電極材料
英語表記：electrode material
詳細
電源変動
英語表記：power supply fluctuation
詳細
電子なだれ効果
英語表記：electron avalanche effect
詳細
電子の脱出深さ
英語表記：escape depth Of electron
詳細
電子エネルギー損失分光法
英語表記：electron energy loss spectroscopy
詳細
電子サイクロトロン 共鳴 ECR
英語表記：electron cyclotron resonance
詳細
電子シェーディング効果
英語表記：electron shading
effect
詳細
電子スピン共嗚法
英語表記：electron spin resonance
詳細
電子ビーム
英語表記：Electron Beam
詳細
電子ビーム アニール装置
英語表記：electron beam annealer
詳細
電子ビームセルマスク
英語表記：electron beam cell mask
詳細
電子ビームテストシステム 電子ビームプローバ
英語表記：final-wafer test
post test
詳細
電子ビーム加熱真空 蒸着装置
英語表記：electron beam evaporation system
詳細
電子ビーム形状
英語表記：beam profile
詳細
電子ビーム露光装置
英語表記：electron beam exposure system
詳細
電子ピームリソグラフィ
英語表記：electron beam lithography
詳細
電子プローブ EPMA
英語表記：electron probe micro analysis
詳細
電子プローブ微小分析法
英語表記：electron probe micro analysis
詳細
電子温度
英語表記：electronic temperature
詳細
電子顕微鏡法
英語表記：electron microscopy
詳細
電子光学鏡筒洗浄
英語表記：column cleaning, electric optical column cleaning
詳細
電子光学系
英語表記：electron optics
詳細
電子工業用薬品
英語表記：electronic chemicals
詳細
電子式調圧器
英語表記：electric
autopressure
regulator
詳細
電子衝撃イオン化
英語表記：electronic bombard ionization
詳細
電子衝撃加熱蒸着
英語表記：electron beam evaporation
詳細
電子衝撃型
英語表記：electron bombardment X-ray SO urce
詳細
電子線ホログラフィ法
英語表記：electron holography
詳細
電子線リソグラフィ
英語表記：Electron Beam lithography
詳細
電子線回折法
英語表記：electron diffraction
詳細
電子阻止能
英語表記：electronic stopping
詳細
電子励起脱離
英語表記：Electron Stimulated Desorption : ESD
詳細
電磁レンズ
英語表記：magnetic lens
詳細
電磁障害 EMI
英語表記：electro magnetic interference
詳細
電磁波測定器
英語表記：EMI locater
electro-magnetic
wave interference
equipment
詳細
電着ブレード 電鋳ブレード
英語表記：electroformed diamond blade
詳細
電流セル型D/A変換器
英語表記：current cell D/A converter
詳細
電流セル型D/A変換器
英語表記：A/D Converter
詳細
電流ミラー回路
英語表記：current-mirror circuit
詳細
電流印加電圧測定 ISVM、ISM、IFVM、IFM
英語表記：current source
詳細
電流密度依存性グラフ
英語表記：dependence of life
time on current
density plot
詳細
塗布シリコン酸化膜
英語表記：SOG : Spin 0n Glass
詳細
塗布ムラ コメット スプラッシュバック カップ内ミスト
英語表記：coat defect
comet
splash back
mist in bowl
詳細
砥粒
英語表記：abrasive grain
詳細
砥粒の分級
英語表記：abrasive classification
詳細
投影レンズ
英語表記：proJection lens
詳細
投影光学系
英語表記：projection optical system
詳細
投影飛程
英語表記：projected range
詳細
投影露光装置
英語表記：projection aligner
詳細
等倍露光
英語表記：proxnnity ion beam lithogra・ phy
詳細
等方性エッチング
英語表記：isotropic etching
詳細
統計的加熱
英語表記：statistical heating
詳細
透過型電子顕微鏡 TEM
英語表記：transmission electron microscope
詳細
透過型電子顕微鏡法
英語表記：transmission electron microscopy
詳細
透視変換
英語表記：Transformation
詳細
同期移動
英語表記：synchronized drive
詳細
同期抽出PLL
英語表記：clock recovery PLL
詳細
同時 スパッタリング装置
英語表記：co-sputtering system
詳細
同時スイッチングノイズ
英語表記：simultaneouse switcing noise
詳細
同時測定機能 並列測定機能
英語表記：parallel test function
詳細
同軸マグネトロン スパッタリング装置
英語表記：coaxial magnetron sputtering system
詳細
同軸円筒型 プラズマCVD装置
英語表記：coaxial cylindrical plasma enhanced CVD system
詳細
同軸型直衝突低速イオン散乱分光法
英語表記：CAICISS: Co-Axial Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy
詳細
同軸落射照明
英語表記：coaxial lighting
詳細
瞳フィルタ法
英語表記：pupil filter
詳細
銅配線
英語表記：copper conductor
詳細
特殊な信号処理演算器
英語表記：special signal processing arithmetic logic unit
詳細
特殊な数値表現
英語表記：Special numerical value expression
詳細
特殊高圧ガス
英語表記：specified high
pressure gas
詳細
特殊材料ガス 半導体製造用材料ガス
英語表記：specific material gas
material gas for
semiconductor
fabrication
詳細
特殊材料ガス用パーティクルカウンタ
英語表記：special gases
particle counter
詳細
特性インピーダンス
英語表記：characteristic impedance
詳細
特定フロン
英語表記：chloro fluoro carbon
hydro chloro fluoro
carbon
詳細
特定化学物質
英語表記：specific chemical
substances legally
designated
詳細
内周刃式切断機
英語表記：inner diameter saw
詳細
内部クロック周期
英語表記：internal clock period
詳細
内部応力
英語表記：internal stress
詳細
内部燃焼装置
英語表記：internal torch unit
詳細
内分泌かく乱化学物質環境ホルモン
英語表記：endocrine disruptors
environmental
hormones
詳細
捺印視認性
英語表記：marking visibility
詳細
軟X線照射除電装置
英語表記：soft-X-ray charge
neutralizer
詳細
二酸化炭素消火設備
英語表記：carbon dioxide gas
extinguishing
system
詳細
二次イオン質量分析法 SIMS
英語表記：secondary ion mass spectroscopy
詳細
二次欠陥
英語表記：secondary defect
詳細
二次電子像観測機能
英語表記：secondary electron
image
詳細
二次粒子
英語表記：Secondary particle
詳細
二重るつぼ法
英語表記：double crucible method
詳細
二重ジャケット 冷却水配管
英語表記：double jacket
condensing water
system
double jacket
cooling water
piping system
詳細
二重ルツボ法
英語表記：double crucible
method
詳細
二重拡散
英語表記：double diffusion
詳細
二段RO装置
英語表記：double pass RO
詳細
二段といし 多段といし
英語表記：two-stage wheel multi-stage wheel
詳細
二面テーパコレット
英語表記：two sided channel collet
詳細
入室者管理
英語表記：access control
詳細
入出庫最適順番制御
英語表記：due in-out sequence
control
詳細
入力応答速度
英語表記：input slew rate
詳細
認識範囲
英語表記：capture range
詳細
認識率
英語表記：hit rate
recognition rate
詳細
熱CVD装置
英語表記：thermal CVD system
詳細
熱い電子
英語表記：hot electron
詳細
熱圧着ワイヤボンディング
英語表記：thermo compression wire bonding
詳細
熱応力
英語表記：thermal stress
詳細
熱解析
英語表記：thermal analysis
詳細
熱回収設備
英語表記：heat recovery system recuperator
詳細
熱拡散
英語表記：thermomigration
詳細
熱拡散
英語表記：Thermal diffusion
詳細
熱拡散過程
英語表記：diffusion process
詳細
熱拡散装置
英語表記：thermal diffusion furnace
詳細
熱源設備
英語表記：energy plant
詳細
熱交換器
英語表記：heat exchanger
詳細
熱酸化
英語表記：thermal oxidation
詳細
熱酸化装置
英語表記：thermal oxidation furnace
詳細
熱酸化不動態処理 CRP処理
英語表記：thermal oxidation
passivation
詳細
熱酸化膜
英語表記：Thermal Oxide Film
詳細
熱酸化炉
英語表記：Thermal Oxidation Furnace
詳細
熱刺激電流法
英語表記：thermally stimulated current method
詳細
熱処理ウェーハ
英語表記：annealed wafer
詳細
熱処理炉
英語表記：heat treatment furnace
詳細
熱衝撃試験
英語表記：thermal shock test
詳細
熱線流速計
英語表記：hot wire
anemometer
詳細
熱窒化
英語表記：thermal nitridation
詳細
熱抵抗
英語表記：Thermal resistance
詳細
熱抵抗の測定
英語表記：measurement of thermal resistance
詳細
熱抵抗の定義
英語表記：definition of thermal resistance
詳細
熱的洗浄
英語表記：thermal cleaning
詳細
熱電変換素子
英語表記：thermoelectric transducer
詳細
熱風乾燥装置
英語表記：hot air (gas)drying equipment
詳細
熱膨張係数
英語表記：thermal expansion
coefficient
詳細
熱履歴
英語表記：thermal budget
詳細
燃焼式排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas
abatement
equipment by
incineration
process
詳細
濃縮水
英語表記：RO reject water
詳細
波形デジタイザ
英語表記：waveform digitizer
詳細
波形モード
英語表記：waveform mode
詳細
波形測定機能
英語表記：waveform
measurement
詳細
波動カットオフ
英語表記：vibration cut off
詳細
波面収差
英語表記：wave aberration
詳細
破壊応力
英語表記：fracture stress
詳細
破断モード
英語表記：shearing mode
failure mode
neck breaking
second bond off
詳細
廃液自動切替システム
英語表記：waste fluid separator
詳細
廃水処理・回収装置
英語表記：waste water
treatment and
reclamation system
詳細
排ガス回収装置
英語表記：exhaust gas
recovery system
詳細
排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas treatment equipment
詳細
排気圧力制御
英語表記：exhaust pressure
control
詳細
排水回収処理装置
英語表記：waste water
reclamation system
詳細
排泥装置
英語表記：sludge removal
equipment
詳細
配管接合技術
英語表記：pipeline jointing technique
詳細
配線金属
英語表記：wiring metal
詳細
配線信頼性
英語表記：reliability of interconnections
詳細
配線信頼性
英語表記：interconnect reliability
詳細
配線抵抗
英語表記：interconnect resistance
詳細
配線容量
英語表記：interconnect capacitance
詳細
秤量槽レス薬液供給装置
英語表記：measuring tank-less chemical supply system
詳細
薄膜化
英語表記：approach for thin film
詳細
薄膜形成装置
英語表記：thin film deposition system
詳細
薄膜多層基板
英語表記：thin film multi layer substrate
詳細
薄膜堆積法
英語表記：thin film deposition methods
詳細
薄膜半導体
英語表記：thin film semiconductor
詳細
発光過程
英語表記：light emission process
詳細
発光効率
英語表記：light emission efficiency
詳細
発光分析
英語表記：optical emission spectroscopy
詳細
発振回路
英語表記：oscillator circuit
詳細
発生ライフタイム
英語表記：generation lifetime
詳細
発生再結合電流
英語表記：generation recombinatlon current
詳細
抜き取り検査
英語表記：sampling inspection
詳細
半影ボケ
英語表記：penumbral blur, blur
詳細
半乾式排ガス処理装置
英語表記：semi dry type
exhaust gas
abatement
equipment
詳細
半導体パッケージのシミュレーション
英語表記：simulation of semiconductor package
詳細
半導体級多結晶シリコン：EGｰSi
英語表記：Electronic Grade-Silicon
詳細
半導体材料
英語表記：semiconductor materials
詳細
半導体接着ウェーハ 貼り合わせウェーハ
英語表記：semiconductor bonding wafer
詳細
反応室 成長室 リアクタ
英語表記：reaction chamber deposition chamber reactor
詳細
反応性 スパッタリング装置
英語表記：reactive sputtering system
詳細
反応性イオン エッチング装置 RIE装置 反応性スパッタ エッチング装置
英語表記：reactive ion etching
system
RIE system
reactive sputter etching system
詳細
反応性イオンエッチング
英語表記：Reactive Ion Etching: RIE
詳細
反応性イオンエッチング装置
英語表記：reactive 10n etching equil)ment
詳細
反応性イオンビーム エッチング装置 RIBE装置
英語表記：reactive ion beam
etching system
RIBE system
詳細
反応性スパッタリング
英語表記：reactive sputtering
詳細
反応性プラズマ過程
英語表記：reactive plasma process
詳細
反応性プラズマ計測
英語表記：Reactive plasma measurement
詳細
反応副生成物
英語表記：reaction byproducts
詳細
反応律速
英語表記：reaction controlled
詳細
反射型電子顕微鏡法
英語表記：reflection electron microscopy
詳細
反射高速電子線回析法 RHEED
英語表記：reflection high energy electron diffraction method
詳細
反射防止プロセス
英語表記：Anti-reflection process
詳細
反射防止膜
英語表記： anti-reflective coating
詳細
反射防止膜
英語表記：anti-reflective coat
詳細
搬送リードタイム
英語表記：transportation
leadtime
詳細
搬送ロボット
英語表記：transport robot
詳細
搬送情報（管理）
英語表記：material movement
information
transportation
information
詳細
搬送量 FROM／TO量
英語表記：transportation amount
詳細
比研磨量・圧力比
英語表記：specific amount of stock removal
詳細
比摩耗量・圧力比
英語表記：specific amount of pad wear
詳細
非クロムエッチング
英語表記：non Cr etching
詳細
非一方向流型クリーンルーム 乱粒型クリーンルーム
英語表記：non-unidirectional
flow clean room
turbulent flow clean
room
詳細
非鏡面ウェーハ
英語表記：non mirror wafer
詳細
非晶質カルコゲナイド
英語表記：amorphous chalcogenide thin films
詳細
非常用照明設備
英語表記：emergency light
system
詳細
非水系洗浄装置
英語表記：non-aqueous cleaning equipment, washing equipment
詳細
非接触給電方式
英語表記：non-contact power
supply
詳細
非接触型テストシステム
英語表記：noncontact test
system
詳細
非弾性散乱過程
英語表記：non elastic dispersron process
詳細
非定在波型超音波発生装置
英語表記：non-standing wave type ultrasonic generator
詳細
非同期テスト
英語表記：asynchronous test
詳細
非同期プロセッサ
英語表記：asynchronous processor
詳細
非放射再結合
英語表記：nonradiative recombination
詳細
飛行時間型二次イオン質量分析法
英語表記：TOF-SIMS: Time-Of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry
詳細
微細構造内洗浄
英語表記：cleaning of fine patterned surface
詳細
微細配線基板
英語表記：fine pitch printed circuit board, fine pitch substrate
詳細
微振動対策設備
英語表記：anti-vibration device
詳細
微分型電気移動度分析器 DMA 静電式エアロゾル分級器
英語表記：differential mobility
analyzer
詳細
微粉
英語表記：powder macro grits
詳細
微粒子 パーティクル
英語表記：particulatesmall particleparticle
詳細
微粒子衝撃
英語表記：particle scrubbing
詳細
微粒子数
英語表記：number of particles
詳細
微量イオン
英語表記：trace level ion
詳細
標準化
英語表記：standardization
詳細
標準粒子発生器
英語表記：standard particle
generator
詳細
表面EXAFS
英語表記：surface EXAFS (surface Extended X-ray Absorption Fine Structure)
詳細
表面XANES
英語表記：surface XANES (surface X-ray Absorption Near-Edge Structure)
詳細
表面・界面
英語表記：surface and interface
詳細
表面エキシトン
英語表記：surface exciton
詳細
表面エネルギー
英語表記：surface energy
詳細
表面ダングリングボンド
英語表記：surface dangling bond
詳細
表面パーティクル測定
英語表記：particle distribution measurement
詳細
表面フォノン
英語表記：surface phonon
詳細
表面プラズモン
英語表記：surface plasmon
詳細
表面プラズモン励起
英語表記：surface plasmon excitation
詳細
表面プロファイル計測終点検出法
英語表記：end point detection by surface profile mesurement
詳細
表面ポラりトン
英語表記：surface polariton
詳細
表面マイクロラフネス
英語表記：surface roughness
詳細
表面ラフネス散乱
英語表記：surface roughness scattering
詳細
表面移動度
英語表記：surface electron mobility
詳細
表面汚染
英語表記：surface
contamination
詳細
表面拡散
英語表記：surface migration
詳細
表面拡散
英語表記：surface diffusion
詳細
表面格子
英語表記：surface lattice
詳細
表面格子欠陥
英語表記：surface lattice defect
詳細
表面緩和
英語表記：surface relaxation
詳細
表面基準研磨
英語表記：polish reference to front surface of the water
詳細
表面現象
英語表記：surface phenomena
詳細
表面光起電位（SPV）法
英語表記：Surface Photo Voltage method
詳細
表面光起電力法 SPV
英語表記：surface photovoltaic method
詳細
表面効果
英語表記：surface effect
詳細
表面構造
英語表記：surface structure
詳細
表面構造
英語表記：Surface structure
詳細
表面再結合
英語表記：surface recombination
詳細
表面再構成
英語表記：surface reconstruction
詳細
表面再配列と緩和
英語表記：surface reconstruction and relaxation
詳細
表面散乱
英語表記：surface scattering
詳細
表面実装型パッケージ
英語表記：surface mount type package
詳細
表面修飾
英語表記：surface decoration
詳細
表面準位
英語表記：surface states
詳細
表面障壁
英語表記：surface barrier
詳細
表面清浄度
英語表記：surface cleanliness
詳細
表面粗さ
英語表記：surface nucro-roughness
詳細
表面粗さ
英語表記：surface roughness
詳細
表面相転移
英語表記：surface phase transition
詳細
表面張カ
英語表記：surface tension
詳細
表面電位
英語表記：surface potential
詳細
表面電位
英語表記：surface potential
詳細
表面電気伝導
英語表記：surface electric conduction
詳細
表面電子構造
英語表記：surface electronic structure
詳細
表面濃度
英語表記：surface concentration
詳細
表面波プラズマ
英語表記：surface wave plasma
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表面波共鳴現象
英語表記：surface wave resonance phenomenon
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表面反応
英語表記：surface reaction
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表面反応
英語表記：surface reaction
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表面不溶化、難溶解層
英語表記：surface insolubility, insoluble layer
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表面付着粒子測定機 表面欠陥測定機
英語表記：optical detector of
particle on
surfaces
surface scanner
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表面偏析
英語表記：surface segregation
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表面保護テープ
英語表記：protection tape
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描画ソフト
英語表記：control software of e-beam writer
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描画方式
英語表記：exposure strategy
詳細
描画領域
英語表記：main field area
詳細
品質管理システム
英語表記：quality control
system
詳細
不活性化絶縁膜
英語表記：passivasion dielectrics
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不純物拡散
英語表記：impurity diffusion
詳細
不純物拡散
英語表記：Impurity diffusion
詳細
不純物拡散
英語表記：Impurity Diffusion
詳細
不純物再分布
英語表記：impurity redistribution
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不純物順位
英語表記：impurity level
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不純物添加（ドーピング）
英語表記：impurity doping
詳細
不純物伝導
英語表記：impurity conduction
詳細
不純物導入
英語表記：impurity doping
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不純物濃度
英語表記：impurity concentration
詳細
不純物濃度依存酸化
英語表記：impurity density dependence oxidation
詳細
不純物半導体
英語表記：impurity semiconductor
詳細
不純物分布
英語表記：Impurity profile
詳細
不純物捕獲
英語表記：impurity trap
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不織布
英語表記：unwoven fabric
詳細
不良モード
英語表記：failure mode
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不良回析メモリ フェイルメモリ
英語表記：failure analysis
memory
詳細
付着粒子汚染
英語表記：surface
contamination
by particulate
詳細
浮上分離装置 加圧浮上装置
英語表記：floatation
equipment
詳細
浮遊電位
英語表記：floating potential
詳細
負荷回路
英語表記：load circuit
詳細
負荷電源ライン選択リレー
英語表記：load power supply
selector
詳細
部分一括露光
英語表記：character projection
詳細
複数ステーション同期試験
英語表記：multi-station
synchronous probe
test
詳細
複葉回収 バッチ回収
英語表記：batch wafers retrieval
詳細
物理吸着
英語表記：physisorption
詳細
物理洗浄
英語表記：physical cleaning
詳細
物理的スパッタリング
英語表記：physical sputtering
詳細
物理的気相成長
英語表記：PVD : Physical Vapor Deposi・ tion
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分画分子量
英語表記：cut-off molecular
weight
詳細
分解せん断応力
英語表記：resolved shear
stress
詳細
分解式排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas
abatement
equipment by
decomposition
process
詳細
分光エリプソメトリ
英語表記：SE: Spectro Ellipsometry
詳細
分散型プロセス入出力装置
英語表記：distributed process
input output control
equipment
詳細
分子線エピタキシー法
英語表記：Molecular Beam Epitaxy : MBE
詳細
分子線エピタキシャル成長装置
英語表記：molecular beam epitaxial growth system
詳細
分子量分散
英語表記：molecular weight dispersion
詳細
分数量子ホール効果
英語表記：fractional quantum Hall effect
詳細
分析スリット
英語表記：resolving aperture
詳細
分析マグネット
英語表記：analyzing magnet
詳細
噴流式エッチング装置
英語表記：overflow cup etching system
詳細
平コレット フラットノズル
英語表記：flat collet
flat nozzle
詳細
平均径
英語表記：mean diameter
詳細
平均自由行程
英語表記：mean free path
詳細
平行平板型
英語表記：parallel plate type
詳細
平行平板型RIE装置
英語表記：arallel plate reactive ion etching system
詳細
平行平板型 プラズマCVD装置
英語表記：diode parallel plate plasma enhanced CVD system
詳細
平行平板型エッチング装置
英語表記：parallel flat Plane type etching eqmpment
詳細
平衡偏析係数
英語表記：equilibrium segregation coefficient
詳細
平坦化
英語表記：planarization
詳細
平坦化
英語表記：Planarization
詳細
平坦化 プラナリゼーション
英語表記：planarization
詳細
平坦度 フラットネス
英語表記：flatness
詳細
平坦度（TTV）
英語表記：Total Thickness Variation
詳細
平板マグネトロン スパッタリング装置
英語表記：planar magnetron sputtering system
詳細
平面円筒研削盤
英語表記：surface & cylindrical grinding machine
詳細
平面円筒複合研削盤
英語表記：surface & cylindrical double(triple)head grinding machine
詳細
並列処理
英語表記：parallel processing
詳細
閉管法
英語表記：closed-tube method
詳細
壁との相互作用
英語表記：plasma¯wall interactions
詳細
偏光解析法（エリプソメトリ）
英語表記：ELL: Ellipsometry
詳細
偏向整定時間
英語表記：deflection settling time
詳細
偏向歪
英語表記：field distortion
詳細
偏心小円運動ポリシング装置
英語表記：eccentric small circular movement polishing system
詳細
偏析誘起ゲッタリング
英語表記：segregation -
induced gettering
詳細
変形照明
英語表記：modified illumination
詳細
変形照明 斜入射照明
英語表記：modified
illumonation
oblique incidence
illunination
詳細
片面チップ部品リフローソルダリング
英語表記：single sided reflow soldering, process
詳細
片面ポリシング機
英語表記：single side polishing machine
詳細
片面ラップ盤
英語表記：single side lapping machine
詳細
片面研磨装置
英語表記：single side polisher
詳細
片面実装
英語表記：single sided mounting
詳細
保安フィルタ 安全フィルタ
英語表記：safety filter
詳細
保管庫 クリーンストッカー
英語表記：stocker
詳細
補誤差関数分布
英語表記：complementary error function distribution
詳細
倣いマスタ
英語表記：copy master
詳細
倣い研削
英語表記：copy grinding
詳細
倣い方式面取り加工
英語表記：copy chamfering
詳細
放射光
英語表記：synchrotron radiation, synchrotron orbital radiation
詳細
放射再結合
英語表記：radiative recombination
詳細
放射線損傷
英語表記：radiation damage
詳細
放射率補正
英語表記：emissivity correction
詳細
方向性形状
英語表記：anisotropic profile
詳細
芳香族エーテル
英語表記：aromatic ethers
詳細
芳香族炭化水素
英語表記：aromatic hydrocarbon
詳細
飽和吸湿量
英語表記：content of saturated moisture absorption
詳細
防食剤
英語表記：corrosion inhibitors
詳細
防塵マスク
英語表記：clean mask
dust free mask
詳細
防塵マット 粘着マット
英語表記：sticky mat
詳細
防塵手袋
英語表記：clean glove
dust free glove
詳細
防爆型冷蔵庫
英語表記：explosion -proof
refrigerator
詳細
魔鏡トポグラフィ
英語表記：magic mirror topography
詳細
埋め込み酸化膜
英語表記：buried oxide
詳細
埋め込み配線
英語表記：buried wiring
詳細
枚葉回収
英語表記：individual wafer retrieval
詳細
枚葉研磨
英語表記：single wafer polishing
詳細
枚葉式
英語表記：single wafer processing
詳細
枚葉式ポリシング機
英語表記：single wafer polishing machine
詳細
枚葉式研磨装置
英語表記：single wafer type polisher
詳細
枚葉式洗浄装置
英語表記：single wafer processing cleaner
詳細
枚葉洗浄
英語表記：single wafer cleaning
詳細
膜厚制御
英語表記：thickness control
詳細
膜厚測定法
英語表記：film thickness measurement
詳細
膜式前処理装置 膜除濁装置
英語表記：pretreatment
equipment with
membrance filter
詳細
膜式廃水処理装置
英語表記：waste water
treatment
equipment with
membrane filter
詳細
膜脱気装置
英語表記：membrane deaerator
詳細
膜疲労特性
英語表記：fatigue property
詳細
未充填
英語表記：incomplete filling
詳細
密着性強化剤塗布 アドヒージョン処理 HMDS処理
英語表記：adhesion promoter coating
vapor primer coating
詳細
密閉循環式冷却水設備
英語表記：closed circuit
condensing water
system closed circuit
cooling water
system
詳細
無機系
英語表記：Inorganic type
詳細
無欠陥領域
英語表記：denuded zone
詳細
無塵衣 クリーンルーム用衣服 防塵衣
英語表記：clean garments
dust free garments
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無停電電源装置 UPS
英語表記：uninterruptible
power supply
詳細
無転位単結晶
英語表記：non-dislocation
single crystal
詳細
無転移結晶
英語表記：dislocation free crystal
詳細
面圧逃げ
英語表記：surface pressure recess
詳細
面圧力分布測定
英語表記：surface pressure distribution measurement
詳細
面間均一性
英語表記：wafer to wafer non-uniformity
詳細
面積欠陥試験
英語表記：area defect test
詳細
面積密度法
英語表記：pattern area density map method
詳細
面粗さ
英語表記：surface roughness
詳細
面内均一性
英語表記：within wafer non-uniformity
詳細
面内均一性 wiw
英語表記：within wafer
詳細
模型装置
英語表記：horizontal type reactor system
詳細
目抜け
英語表記：separate feeling
詳細
薬液再生装置
英語表記：chemical reprocessor
詳細
薬液収納部 ケミカルキャビネット
英語表記：chemical cabinet
詳細
薬液用フィルタ
英語表記：chemical filter
詳細
薬品供給配管
英語表記：chemical distribution
piping
詳細
薬品自動希釈混合装置
英語表記：automatic chemical diluting and mixing equipment
詳細
薬品自動希釈混合装置
英語表記：automatic chemical
diluting and (mixing)
equipment
詳細
薬品自動供給装置
英語表記：automatic chemical
supply(dispense)
system
詳細
薬品注入装置 凝集用薬品注入装置
英語表記：chemicals feeding
unit
詳細
薬品濃度計
英語表記：chemical
concentration meter
詳細
薬品容器
英語表記：chemical container
詳細
有機SOG
英語表記：Spin On organic Glass
詳細
有機シリコン酸化膜
英語表記：organic silicon dielectrics
詳細
有機金属CVD装置 MOCVD装置 OMCVD装置
英語表記：vertical low pressure CVD system
詳細
有機金属気相エピタキシャル成長装置 MOVPE装置 OMVPE装置
英語表記：metal organic vapor phase epitaxial growth system MOVPE system organo-metalic VPE system
詳細
有機高分子膜
英語表記：organic polymer
詳細
有機酸系スラリー
英語表記：organic acid slurry
詳細
有機物汚染
英語表記：organic contamination
詳細
有機物汚染
英語表記：organic contamination
詳細
有磁場マイクロ波プラズマ
英語表記：magnetic field microwave plasma
詳細
有転位化
英語表記：first dislocation generation
詳細
有転位結晶
英語表記：normal single crystal
詳細
有転位単結晶
英語表記：dislocation single
crystal
詳細
誘引漏洩 誘引リーク
英語表記：induction leakage
詳細
誘起欠陥・損傷
英語表記：damage, defect
詳細
誘電率
英語表記：dielectric constant
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誘導結合プラズマエッチング装置
英語表記：induced combination plasma etching equipment
詳細
誘導結合プラズマエッチング装置
英語表記：inductively coupled plasma etching system
詳細
誘導結合プラズマ質量分析法(ICP-MS)
英語表記：Inductively Coupled Plasma - Mass Spectrometry
詳細
誘導放出
英語表記：stimulated emission, induced emission
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遊離と粒
英語表記：loose abrasive
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遊離砥粒研磨
英語表記：loose abrasive polishing
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融液結晶成長（成長機構）
英語表記：liquid phase crystal growth
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融解潜熱
英語表記：heat of fusion
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予備整備
英語表記：preventive
maintenance
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容量アレー型D/A変換器
英語表記：Capacitive array D/A converter
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容量アレー型D/A変換器
英語表記：capacitor array D/A converter
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容量センサー終点検出法
英語表記：end point detection by capacity sensor
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溶液気化CVD
英語表記：vaporized solution source CVD
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溶存酸素
英語表記：dissolved oxygen
詳細
溶存酸素計
英語表記：dissolved oxygen
analyzer
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溶融アルミナ
英語表記：fused alumina
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陽極結合
英語表記：anode coupling
詳細
陽極酸化
英語表記：anodic oxidation
詳細
陽電子消滅
英語表記：positron annihilation
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理想表面
英語表記：ideal surface
詳細
裏面デポ抑制
英語表記：exclusing backside deposition
詳細
裏面汚染転写
英語表記：backside contaminants transfer
詳細
裏面加工歪層
英語表記：backside damage
layer
詳細
裏面基準
背面基準
英語表記：back side reference
詳細
裏面基準研磨
英語表記：polish reference to back surface of the wafer
詳細
裏面研削
英語表記：back side grinding
詳細
裏面光沢度
英語表記：back surface luster
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律速過程
英語表記：rate-determining process
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立軸回転テーブル形平面研削盤
英語表記：vertical spindle rotary table surface grinding machine
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流動性CVD
英語表記：self-flow CVD
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流量検出器
英語表記：flow sensor
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硫酸過酸化水素水混合溶液
英語表記：sulfuric acid/ hydrogen peroxide mixture
詳細
硫酸過酸化水素洗浄 SPM洗浄 ピラニア洗浄
英語表記：sulfuric acid
hydrogen peroxide
cleaning
SPM Cleaning
piranha cleaning
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硫酸再生装置
英語表記：sulfuric acid
reprocessor
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粒子静電電荷量測定器
英語表記：electrostatic charge
meter for particle
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粒状活性炭
英語表記：granular activated
carbon
詳細
粒状多結晶シリコン
英語表記：grain type poly-crystal silicon
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粒度
英語表記：grain size grits
詳細
粒度分布
英語表記：particle-size distribution
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両テレセントリックレンズ
英語表記：double telecentricity lens
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両極性拡散
英語表記：two Poles diffusion
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両性不純物
英語表記：amphoteric impurity
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両面チップ部品／両面リフローソルダリング
英語表記：Double-sided chip components/double-sided reflow soldering
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両面ポリシング機
英語表記：double side polishing machine
詳細
両面ラップ盤
英語表記：double side lapping machine
詳細
両面研削盤
英語表記：double head grinding machine
詳細
両面研磨
英語表記：double side polishing
詳細
両面研磨装置
英語表記：double side polisher
詳細
両面実装
英語表記：double sided mounting
詳細
両面露光装置
英語表記：double sided aligner
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量子ホール効果
英語表記：quantum Hall effect
詳細
量子化誤差
英語表記：digitized error
詳細
輪帯照明
英語表記：annular illumination
詳細
累積ハザード紙
英語表記：cumulative hazard paper
詳細
累積故障確率
英語表記：cumulative failure
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冷却チラー
英語表記：cooling chiller
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冷却技術
英語表記：cooling technology
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冷却水管理
英語表記：cooling water
control
詳細
冷却水設備
英語表記：condensing waste
system
cooling water
system
詳細
冷却塔 クーリングタワー
英語表記：cooling tower
詳細
励起子吸収
英語表記：Exciton absorption
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連続アニール
英語表記：multi cycle annealing
詳細
連続チャージCZ装置
英語表記：continuously
charged CZ
equipment
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連続チャージ法
英語表記：continuously
charged
Czochralski
method
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連続チャージ法 連続溶融法
英語表記：continuously charged CZ method
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連続フェイルチェック機能
英語表記：continuous failure
check function
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露光機差
英語表記：pattern difference between exposure tools
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露光後ベーク PEB 定在波除去ベーク
英語表記：post-exposure-bake
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露光時間
英語表記：exposure time
詳細
露光波長
英語表記：exposure wavelength
詳細
露光雰囲気
英語表記：exposure environment
詳細
露光方式
英語表記：exposure method
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露光余裕度
英語表記：exposure latitude
詳細
露店温度検出器
英語表記：dew point
temperature sensor
詳細
露店計
英語表記：dew point meter
詳細
漏液センサ
英語表記：liquid spill sensor
詳細
漏水検出器
英語表記：water leakage
sensor
詳細
劈開面
英語表記：cleavage plane
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輻射シールド
英語表記：radiation shield
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閾値電圧：Vth
英語表記：Threshold Voltage
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