半導体用語集
レンズ投影露光装置
英語表記：lens projection aligner
投影光学系が屈折系で構成されている露光装置。投影光学系に縮小光学系を採用したものを、レンズ縮小投影露光装置、また、投影光学系に等倍の投影光学系を採用したものを、レンズなど等倍投影露光装置という。
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