半導体用語集
ミラーレンズ投影露光装置
英語表記：mirror-lens projection aligner
投影光学系が反射及び屈折系で構成されている露光装置。等倍の投影光学系を用いたミラーレンズ等倍投影露光装置、縮小投影光学系を用いたミラーレンズ縮小投影露光装置がある。
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