といし軸
英語表記：wheel spindle
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と粒
英語表記：abrasive grains
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と粒率
英語表記：grain volume percentage
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トータルオーバレイ精度
英語表記：total overlay accuracy
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トータルメタルロス
英語表記：total metal loss
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トップリング
英語表記：toppuringu
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トップリング 強制駆動機構
英語表記：top ring forced drive
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トライオード型RIE装置
英語表記：triode reactive ion etching system
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トランジスタ
英語表記：Transistor
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トランスインピテダンス増幅器
英語表記：trans impedance amplifier
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トランスデューサ
英語表記：transducer
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トランスファモールド
英語表記：transfer molding
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トランスファ出力 射出力
英語表記：transfer force
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トランバース滴下
英語表記：transverse dispense
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トリガ端子
英語表記：trigger terminal
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トリクロルシラン：SiHCl3
英語表記：tri-clorosilane
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トリハロメタン
英語表記：trihalomethanes
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トルク電流終点検出法
英語表記：torque current end point detection
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トレースガスモニタ
英語表記：trace gas monitor
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トレー搬送
英語表記：tray handling
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トレンチエッチング
英語表記：trench etching
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トレンチファースト
英語表記：trench first
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トレンチ内ドーピング
英語表記：doping in trench
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トレンチ分離
英語表記：shallow trench isolation
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トンネル効果
英語表記：tunnel effect
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塗布シリコン酸化膜
英語表記：SOG : Spin 0n Glass
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塗布ムラ コメット スプラッシュバック カップ内ミスト
英語表記：coat defect
comet
splash back
mist in bowl
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砥粒
英語表記：abrasive grain
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砥粒の分級
英語表記：abrasive classification
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投影レンズ
英語表記：proJection lens
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投影光学系
英語表記：projection optical system
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投影飛程
英語表記：projected range
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投影露光装置
英語表記：projection aligner
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等倍露光
英語表記：proxnnity ion beam lithogra・ phy
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等方性エッチング
英語表記：isotropic etching
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統計的加熱
英語表記：statistical heating
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透過型電子顕微鏡 TEM
英語表記：transmission electron microscope
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透視変換
英語表記：Transformation
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特殊な信号処理演算器
英語表記：special signal processing arithmetic logic unit
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特殊な数値表現
英語表記：Special numerical value expression
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特殊高圧ガス
英語表記：specified high
pressure gas
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特殊材料ガス 半導体製造用材料ガス
英語表記：specific material gas
material gas for
semiconductor
fabrication
詳細
特殊材料ガス用パーティクルカウンタ
英語表記：special gases
particle counter
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特定フロン
英語表記：chloro fluoro carbon
hydro chloro fluoro
carbon
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特定化学物質
英語表記：specific chemical
substances legally
designated
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