半導体用語集
特殊材料ガス 半導体製造用材料ガス
英語表記：specific material gas material gas for semiconductor fabrication
半導体デバイスの各製造工程で使用されるガス。成膜においては膜の材料となるもの、加工およびクリーニングにおいては構成材料の除去に使用されるものをいう。
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