ULPAフィルタ
英語表記：ultra low penetration
air filter
ULPA filter
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UVドライ酸化
英語表記：UV dry oxidation
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UV照射装置
英語表記：UV irradiatiion equipment
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ユースポイント
英語表記：point of use
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ユースポイント配管 端末配管
英語表記：distribution piping for ultrapure water
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ユーティリティ
英語表記：utilities
utility program
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ユーティリティ ボックス
英語表記：utility box
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表面粗さ
英語表記：surface nucro-roughness
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有機SOG
英語表記：Spin On organic Glass
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有機シリコン酸化膜
英語表記：organic silicon dielectrics
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有機金属CVD装置 MOCVD装置 OMCVD装置
英語表記：vertical low pressure CVD system
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有機金属気相エピタキシャル成長装置 MOVPE装置 OMVPE装置
英語表記：metal organic vapor phase epitaxial growth system MOVPE system organo-metalic VPE system
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有機高分子膜
英語表記：organic polymer
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有機酸系スラリー
英語表記：organic acid slurry
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有機物汚染
英語表記：organic contamination
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有機物汚染
英語表記：organic contamination
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有磁場マイクロ波プラズマ
英語表記：magnetic field microwave plasma
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有転位化
英語表記：first dislocation generation
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有転位結晶
英語表記：normal single crystal
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有転位単結晶
英語表記：dislocation single
crystal
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誘引漏洩 誘引リーク
英語表記：induction leakage
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誘起欠陥・損傷
英語表記：damage, defect
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誘電率
英語表記：dielectric constant
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誘導結合プラズマエッチング装置
英語表記：induced combination plasma etching equipment
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誘導結合プラズマエッチング装置
英語表記：inductively coupled plasma etching system
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遊離と粒
英語表記：loose abrasive
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遊離砥粒研磨
英語表記：loose abrasive polishing
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融液結晶成長（成長機構）
英語表記：liquid phase crystal growth
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融解潜熱
英語表記：heat of fusion
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