半導体用語集

融液

英語表記:liquid phase

融液から結晶を成長させる場合、部分的に密度を高くして、核を発生させることができない。核を発生させるには、不純物粒子や、るつぼの壁のような、潜熱(液相から固相に転移する際に発生する熱)を吸収する物質、または、部分的に過飽和の融液が必要になる。たとえば、CZ法では核となるものは融液に入れて成長させることになり、結晶の成長は、ごくわずかな過冷却状態を作ることが、その駆動力となる。結晶と融液の界面での熱の流れは、結晶を通って温度差によって流れているが、結晶の成長速度は、潜熱を吸収する速度に関係している。


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