半導体用語集
有転位単結晶
英語表記：dislocation single crystal
結晶成長において、一般に、直径が小さい場合は、成長界面（固液界面）の形状は下に（融液に向かって）凸の形をとり、直径が大きくなると上に（結晶に向かって）凸の形状をとる。上に凸の場合は、有転位化すると転位は、結晶外周部の表面に逃げていくことができない。そのため、応力緩和のために、リネージュ構造という、二次的な構造を形成する。これは、小傾角粒界といい、二つの単結晶が、小さな角度で隣接している状態である。これが、大直径になると大傾角粒界となり、多結晶成長へと至る。よって、一度有転位化すると、大直径になると大傾角粒界となり、多結晶成長へと至る。よって、一度有転位化すると、大直径結晶の場合は有転位成長を維持することは難しく、現在使われている口径では、ほとんどが多結晶化する。なお、有転位化した場合には、結晶表面に出ていた品壁線が消滅するため、外観上から容易に判断できる。有転位化した場合には、その時点の固化率にもよるが、CZ法の場合は、再溶融して引上げをやり直すことができる。
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