半導体用語集
有機物汚染
英語表記：organic contamination
CとHからなる有機化合物がウェーハ表面などに付着してコンタミネーションとなるものをいう。汚染源としてはレジスト残さ、皮膚などの人体剥離片、スラリーの溶液成分、大気中の浮遊物質など種々の物質が考えられ、一般的に物質の表面には有機物汚染が生じていると見てよい。有機物汚染は分子状不純物ないしは層状不純物として表面に付着しているので、その除去には化学洗浄が用いられる。また、紫外線やプラズマの照射は有機物の分解を促進するため、有機物汚染の除去に用いられる。
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