半導体用語集
ユースポイント配管 端末配管
英語表記：distribution piping for ultrapure water
サブシステムで精製した超純水をユースポイントに供給するための配管システム。配管には、温度抵抗率計、流量許、圧力計等のセンサおよびコントローラが取り付けられ、流量計、圧力、温度がコントロールされる超純水水質維持のため、適当な超純水配管剤を使用し、滞留部分の無い構造とし、適当な流速で超純水を流す必要がある。通常はサブシステムからユースポイントへ送水し、再びサブシステムへ戻る連続した配管とし、リバースリターン方式が多く用いられる。この方式は、供給配管と戻り配管を区別し、逆流を防止して超純水水質の維持をはかっている。
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