半導体用語集
特定フロン
英語表記：chloro fluoro carbon hydro chloro fluoro carbon
オゾン層を破壊する物質に関するモントリオール議定書付属書AグループI（第一種特定フロン）に属するCFCｰ11（CCl3F）、CFCｰ12（CCl₂F₂）、CFCｰ113（C₂Cl3F3）、CFCｰ114（C₂Cl₂F4）、CFCｰ115（C₂ClF5）を示す場合と、同付属書BグループⅡ（第二種特定フロン）の10種を含める場合がある。
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