半導体用語集

特定フロン

英語表記:chloro fluoro carbon hydro chloro fluoro carbon

オゾン層を破壊する物質に関するモントリオール議定書付属書AグループI(第一種特定フロン)に属するCFCー11(CCl3F)、CFCー12(CCl₂F₂)、CFCー113(C₂Cl3F3)、CFCー114(C₂Cl₂F4)、CFCー115(C₂ClF5)を示す場合と、同付属書BグループⅡ(第二種特定フロン)の10種を含める場合がある。


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