半導体用語集
塗布ムラ コメット スプラッシュバック カップ内ミスト
英語表記：coat defect comet splash back mist in bowl
レジスト塗布後に顕在化する欠陥。面板検査装置で検出し得るような異物の付着や気泡の混入に起因する微細なものから、肉眼で確認できるほど巨大な膜厚変異までを含めて言う。代表例として、レジスト中の気泡や異物により発生したレジスト表面に彗星上に現れるコメット、レジスト塗布中に、ウェーハ表面から飛び出した余剰レジスト（スプラッシュバック、カップ内ミスト）のウェーハ上への再付着などが挙げられる。
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